• 한국결정성장학회지
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• 제8권2호
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• pp.307-314
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• 1998

졸-겔법을 이용하여 PZT박막을 제조하였다. 출발물질로는 Pb-acetate trihydrate, Zr-normal propoxide와 Ti-ispropoxide를 사용하였으며, 용매로는 2-Methoxyethanol과 iso- Propanol을 사용하였다. 기판에 따른 Pb 이온 및 Si 이온의 확산을 고찰하기 위해 bare Si와 열산화된 $SiO_2/Si$ 그리고 산화된 기판 위에 졸-겔 spin-coating법으로 $TiO_2$를 입힌 $TiO_2/SiO_2/Si$ 기판을 사용하였다. 박막의 치밀화 및 기판과의 접착상태는 SEM을 이용하였고, 상생성 온도는 XRD, 그리고 Pb 이온 및 Si 이온의 확산 정도는 ESCA를 사용하였다. 기판으로 bare Si 및 $SiO_2/Si$를 사용한 경우, $700^{\circ}C$에서 perovskite상을 얻을 수 있었으며, SiO2/Si 기판을 사용하여 Si의 막으로의 확산을 다소 방지할 수 있었다. $TiO_2/SiO_2/Si$기판을 사용한 경우, $500^{\circ}C$에서 perovskite상을 얻을 수 있었고, Pb 이온 및 Si 이온의 확산을 방지할 수 있었다.

• 공업화학
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• 제18권4호
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• pp.330-336
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• 2007

본 연구에서는 $BF_3$를 함유한 키랄성 코발트 살렌 촉매를 합성하고 비대칭촉매특성을 평가하였다. 촉매의 구조를 결정하기 위하여 NMR, UV 및 ESCA분석을 수행하였다. 합성한 촉매는 여러 종류의 에폭사이드 유도체의 가수분해 속도차에 의한 비대칭 고리열림반응에 적용하여 그 활성과 선택성을 조사하였다. 살렌과 $BF_3$의 비를 다르게 하여 합성한 촉매는 전혀 다른 촉매 활성을 나타내었으며, 그 비를 2 : 1로 하여 합성한 2분자구조의 살렌착체 촉매는 물을 친핵체로 하는 라세믹 에폭사이드의 고리 열림을 통하여 99 %ee 이상의 매우 높은 광학선택성을 보였다. 특히 2분자형의 살렌 촉매는 단분자형의 촉매에 비하여 촉매량을 적게 첨가하여도 현저히 향상된 촉매활성을 나타내었고 얻어진 생성물의 분리과정에서 라세믹화를 유발시키지 않았다. 본 연구에서 적용한 촉매시스템은 키랄 에폭사이드 및 1,2-디올 중간체의 제조에 매우 효과적이었다.

• 공업화학
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• 제10권2호
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• pp.225-230
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• 1999

Li(DPM)을 원료로 hot wall 수평 관형 반응기를 이용하여 질소-산소 및 아르곤-산소의 분위기에서 $Li_2O$ 고체박막을 LPMOCVD법으로 합성하였다. XRD와 ESCA 분석으로부터 질소-산소 분위기에서는 $Li_2CO_3$막이, 아르곤-산소의 분위기에서는 $Li_2O$막이 성장하였음을 알아냈다. 성막된 산화리튬과 리튬카보네이트는 기판의 실리콘 성분과 반응하여 실리케이트를 형성하였다. 마이크로 trench법과 Monte Carlo 시뮬레이션에 의해 기상반응 속도상수 및 표면반응 속도상수가 얻어졌으며 이를 이용한 성막속도 계산치와 실험치를 비교한 결과 실험조건범위 내에서 잘 일치하였다.

• 한국결정학회지
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• 제6권2호
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• pp.111-117
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• 1995

화학증착법에 의해 TiO2 박막을 Si-wafer(100)위에 제조하였다. Titanium tetraisopropoxide (TTIP)를 출발물질로 하여 200-500℃의 온도범위에서 증착을 행하였다. 증착된 박막의 두께는 Ellipsometry 및 SEM을 사용하여 측정하였으며, 산소의 함량에 따른 증착층의 성분분석은 ESCA를 사용하였다. TiO2 박막의 증착속도는 산소의 함량에 따라 증가하였고, 반응가스인 산소를 공급하지 않았을 때 증착층내에 불순물로 탄소가 존재하였으며, 증착층의 성분은 내부로 갈수록 TiO2에서 Ti로 변하였다. 산소를 600scm 공급하였을 때 증착층내에 소량의 탄소가 존재하였으며, 증착층의 성분은 내부로 갈수록 TiO2에서 TiO, Ti로 됨을 알 수 있었다. 산소를 1200scm공급하였을 때 증착층내에 탄소가 존재하지 않았으며, 증착층 성분은 표면에는 TiO2를 이루나 증착층 내부로 갈수록 Ti복합화합물을 이루고 있었다.

• 폴리머
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• 제33권1호
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• pp.84-90
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• 2009

니티놀(Nitinol) 합금(TiNi)은 혈관 스텐트로서 널리 사용되고 있다. 본 연구에서는 니티놀 합금의 혈액적 합성을 개선시키기 위해서 화학적인 표면개질을 행하였다. 먼저 니티놀의 표면을 금으로 코팅한 다음 시스턴(L-cysteine, C/N)을 화학흡착한 후 신규 합성한 양쪽성 이온 폴리에틸렌글리콜(PEG) (PEG-$N^+-SO_3{^-}$)을 그래프트 시켜서 TiNi-C/N-PEG-N-S를 제조하였다. 양쪽성 이온 PEG가 그래프트된 니티놀의 표면은 ATR-FTIR, ESCA 및 SEM을 통해서 확인하였고 친수성 표면은 물 접촉각의 감소를 통해서 입증하였다. 또한, 단백질 흡착 및 혈소판 점착과 혈액응고시간 측정과 같은 혈액적합성 평가 결과로부터 미처리 니티놀 합금에 비해서 표면개질된 니티놀 합금이 상대적으로 훨씬 우수한 혈액적합성을 나타내었다. 이는 그래프트된 친수성 PEG와 항응혈성 양쪽성 이온의 상승효과에 의해서 혈액적합성을 대폭 개선시킨 것으로 사료된다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2004년도 하계학술대회 논문집 C
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• pp.1820-1822
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• 2004

In this study, major research fields are classified as ozone generation system for dry cleaning wafer of etched silicon wafer, dry cleaning process of etched silicon wafer which includes SEM analysis and ESCA analysis. The following results are deduced from each experiment and analysis. The magnitudes of carbon and silicon were similar to the survey spectrum of silicon wafer which does not cleaning, but magnitude of oxygen was much bigger Because UV light activates oxygen molecules in the oxide film on the silicon wafer.

• 한국윤활학회:학술대회논문집
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• 한국윤활학회 2002년도 proceedings of the second asia international conference on tribology
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• pp.215-216
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• 2002

This paper describes the wear characteristics of WC-Co cemented carbides machined with Wire-cut or Die-sinking EOM. We prepared the specimens with different grades of grinding to remove the affected layer after the EDM. These specimens were experimented by block-on-cylinder type tribometer. The result indicated that although the hardness of the affected layer was lower than that of the bulk, wear resistance was increased. In order to investigate the cause of the increase in wear resistance of the affected layer, the layer was observed and analyzed by SEM and ESCA. We also discussed the mean free path of Co phase.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1991년도 추계학술대회 논문집 학회본부
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• pp.261-264
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• 1991

Titanium carbide(TiC) films were deposited on stainless-steel sheets using HCD(Hollow Cathode Discharge) reactive ion plating. Acetylene gas was used as the reactant gas. The characteristics of TiC films were examined by X-Ray diffraction, $\alpha$-step, ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis), and, AES(Auger Electron Spectroscopy). The results were discussed with regard to various deposition conditions(bias voltage, acetylene flow rate, temperature).

• 대한전기학회논문지
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• 제40권6호
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• pp.574-581
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• 1991

Damage in film capacitors has been investigated, using FTIR and ESCA, aiming to elucidate the nature of electrode removal and the possibility of base films to be damaged. Also, tests were conducted to investigate the effect of a long-term thermal aging at elevated temperatures. Unsuccessful clearing or grape-clustering processes can induce a long-term degradation which involves the chemical and morphological changes. Major changes are the oxidation and the decrease in surface crystallinity possibly arising from the corona discharge. An immediate deterioration of BOPP film may occur when the air entrapped between the film layers induces an extensive autocatalytic oxidative degradation. This type of immediate damage may result in a premature failure at an early stage of qualification test. As far as the nature of electrode removal is concerned, a permanent removal of electrode materials was observed in the main erosion area.

• 한국막학회:학술대회논문집
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• 한국막학회 1993년도 추계 총회 및 학술발표회
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• pp.61-62
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• 1993

고분자 분리막의 투과성과 선택성을 향상시키기 위하여 IPN막, 고분자/액정 복합막을 다양한 기능을 가진 재료가 개발되고 있다. 본 연구에서는 알칼리메탈이온을 분리하기 위하여 고분자 지지체에 운반체로써 crown ether(macro-cyclic polyether)류를 분산시킨 고분자/운반체 복합박막을 제조하였다. 고분자/운반체 복합박막은 고분자와 운반체의 혼합용액을 수면에 전개시켜 제조하였다. 고분자는 PVC(M.W 60000, Aldrich), PS(M.W 280000, Aldrich)와 CA(M.W 30000, Sigma)를 사용하였고, 운반체로는 crown ether 중 $K^+$이온과 선택성을 가지는 18-Crown-6(Sigma)를 사용, 고분자와 18-Crown-6의 증량분을 달리하는 혼합용액을 제조하였다. 이때 용매는 Tetrahydrofuran를 사용하였다. 수면에 생성된 박막을 다공성 지지막에 적층시킨 후 감압 건조시켜 복합막을 제조하였다. 고분자와 운반체가 혼합되어 있는 용액의 점도와 표면장력을 각각 fluid spectrometer와 tensionmeter를 사용, 용액이 수면위에서 완전한 막을 형성하면서 분산될 수 있는지 조사하였으며, 고분자 지지체에 분산 고정된 운반체의 분산형태와 표면농도를 조사하기 위하여 ESCA를 이용하였다.