Synthesis of Conducting Diamond-Like Carbon Films by Triode Magnetron Sputtering-Chemical Vapor Deposition (3극 마그네트론 스팟터링 화학 기상 증착법에 의한 도전성 다이아몬드성 탄소 박막의 합성)
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- Journal of the Korean institute of surface engineering
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- v.29 no.3
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- pp.149-156
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- 1996