• 제목/요약/키워드: electrical contacts

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구리의 선택적 전착에서 결정 입자의 크기가 전기적 접촉성에 미치는 영향 (Effect of the particle size on the electrical contact in selective electro-deposition of copper)

  • 황규호;이경일;주승기;강탁
    • 한국결정성장학회지
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    • 제1권2호
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    • pp.79-93
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    • 1991
  • 초 고집적 회로의 시대로 접어들면서 지금까지의 금속선 형성 기술 및 배선 재료에 많은 문제점들이 나타나고 있다. 알루미늄의 대체 재료로서 검토되고 있는 구리를, 전기 화학적 방법에 의해 미세 접촉창에 선택적으로 충전함으로써 새로운 금속선 형성 기술을 제시하고자 하였다. 0.75M의 황산구리 수용액을 전해액으로 사용하여 p형 (100) 규소 박판위에 구리 전착막을 형성한 후 Alpha Step, 주사 전자 현미경, 4-탐침법을 사용하여 막의 두께, 입자 크기, 비저항을 측정함으로써 전착 시간, 전류 밀도, 첨가물로 사용한 젤라틴 농도가 전착막의 성질에 미치는 영향에 대해 조사하였다. 평균 전착 속도는 전류 밀도가 $ 2A/dm^2$일 때 0.5-0.6\mu\textrm{m}$/min 였고 구리 입자의 크기는 전류밀도 증가에 따라 증가하였다. 입자 크기 $4000{\AA}$이상에서 얻어진 비저항값은 3-6 Ω.cm였다. 젤라틴을 첨가하여 입자의 크기를 $0.1\mu\textrm{m}$이하로 감소시킴으로써 크기 $1\mu\textrm{m}$이하의 접촉장에 구리를 선택적으로 충전시키는데 성공하였다.

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질소 분극면을 갖는 N형 질화물반도체의 접촉저항 감소를 위한 산소 플라즈마 효과에 관한 연구 (Study of Oxygen Plasma Effects to Reduce the Contact Resistance of n-type GaN with Nitrogen Polarity)

  • 남태양;김동호;이완호;김수진;이병규;김태근;조영창;최연식
    • 한국진공학회지
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    • 제19권1호
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    • pp.10-13
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    • 2010
  • 본 논문은 N-face n-type GaN 표면에 산소 플라즈마 처리에 의해서 오믹전극과 접촉 저항을 낮추기 위한 연구를 하였다. 120초 산소 플라즈마 처리후 Ti (50 nm) / Al (35 nm)을 증착한 결과 오믹 전극을 구현하였으며, $1.25{\times}10^{-3}\;{\Omega}cm^2$의 접촉저항을 보였다. 이는 산소 플라즈마 처리가 기존의 플라즈마 처리와 같이 질소결원이 발생하였기 때문이다. 이를 통해 쇼트키장벽 높이(SBH)이 낮아지게 되었고, 오믹 전극및 플라즈마 처리를 안 한 경우보다 더 낮은 접촉저항의 결과를 획득하였다.

감은사지 3층석탑(서탑)의 지반 특성을 위한 지구물리탐사 (GEOPHYSICAL EXPLORATION FOR THE SITE CHARACTERISTICS OF THE WESTERN THREE-STORY STONE PAGODA IN GAMEUM TEMPLE)

  • 서만철;최희수;이찬희;오진용
    • 지구물리
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    • 제6권1호
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    • pp.39-46
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    • 2003
  • 경상북도 경주시 양북면 용당리 감은사지터에 위치한 쌍둥이 3층석탑(전체높이 약 13.4 m, 기단폭 6.78 m x 4.4 m)은 682년에 건립된 국내 최대 3층 석탑으로 국보급 문화재이다. 3층석탑의 서탑(이하 감은사지서탑)은 1959년에 해체 수리되었으나, 현재는 석탑 석재인 화강섬록암의 심한 풍화가 관찰되며, 탑의 구조적 불균형에 의하여 생겨난 하중의 편중으로 일부 옥개석 사이가 역 V자형으로 벌어져 있다. 일반적으로 석탑 안정성 진단을 위해서는 석탑과 인근의 지반환경을 이해하는 것이 필수적이다. 이 연구에서는 감은사지서탑 주변에서 탄성파탐사와 전기비저항탐사의 복합 지구물리탐사를 실시하였다. 웨너법에 의한 천부층의 전기비저항 수평 분포는 55∼350 Ωm의 범위인데, 대체로 석탑 남서측면이 상대적으로 높은 비저항인 반면 북동측은 100 Ωm이하의 낮은 비저항 지역으로서 연약지반으로 해석된다. 이는 동측 방향으로의 구조적인 기울임이 관찰된 석탑의 변위측정 결과와 부합한다. 탄성파 굴절법 탐사에 의하면 석탑인근의 약 3 m 두께의 최상부층의 탄성파 P파 속도범위는 200∼700 m/s이다. 복합지구물리 탐사결과 나타난 감은사지서탑의 기초는 약 11 m x 11 m의 장방형 형태로 약 3 m 깊이까지 분포하는 것으로 해석된다.

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SNS 몰: 전자상거래에서 적용할 수 있는 SNS의 기능 분석 및 활용에 관한 연구 (SNS Mall: A Study on the Analysis of SNS(Social Networking Service) Functions Applicable to Electronic Commerce for Building Regular Relationship with Customers)

  • 김미수;나영국
    • 한국인터넷방송통신학회논문지
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    • 제20권5호
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    • pp.1-7
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    • 2020
  • 소셜네트워킹서비스와 쇼핑몰을 결합하면 오프라인 거래에서처럼 단골 관계를 형성할 수 있다. 한번이라도 물품을 구매한 고객은 SNS의 팔로우(Follow) 기능을 이용하여 자동으로 단골고객으로 등록하여, 구매자와 생산자와의 관계가 일회성에 그치지 않고 향후에도 지속될 수 있게 하여 잠재고객이 되고, 장기적으로 재구매가 이루어지게 한다. 단골이 된 고객에게 생산자는 신상품 출하 시 객관적인 물품정보 외에 재배하는 동안의 농장 모습이나 농작물의 성장과정 등 생생한 근황과, 파종에서 수확까지의 숨겨진 이야기를 통해 자신이 농사지으며 전원생활을 하는듯한 감성을 자극한다. 소비자는 자신의 SNS 홈에서 기존의 단골 관계인 생산자의 파종, 농사, 수확, 신상품 등의 소식을 타임라인에서 확인하여 필요한 상품을 원클릭(one click)으로 구매할 수 있다. 생산자는 소비자에게 뉴스 및 할인 등의 정보를 제공하여 단골로 만드는 고객 관리가 가능하고, 저장법이나 요리법 등의 다양한 사용법을 안내하며 새로운 물품을 추천하거나 홍보를 할 수 있다. 이러한 장점은 기존의 전자상거래에서 상품의 판매와 홍보가 분리되어 링크를 통해 외부로 연결되어야 하는 문제에서 벗어나 판매와 홍보가 하나의 계정 안에서 수행하도록 하여 사이트 접근성을 높여준다. 이처럼 SNS의 인맥 마케팅 기능에 더하여 시스템은 생산자의 판매 물품을 자동 분류한 카테고리로 소비자의 SNS 홈 페이지에 쇼핑물의 기능을 제공하여 소비자가 원하는 상품을 검색하고 구매할 수 있으며 구매는 자동으로 소비자와 생산자를 단골관계로 연결해준다. 또한 구매자 간에도 구매한 상품에 대한 구매경험을 공유하고, 상품추천, 구매후기 작성 및 기존 구매후기의 재배포가 용이하다. 이처럼 서로 알지 못하던 구매자 사이의 소통도 가능하게 하여, 상품을 추천하고 소식을 확산시키는 것이 'SNS 몰'의 가장 큰 특징이다.

p-i-n 구조의 InSb 웨이퍼를 이용한 적외선 광다이오드의 제조 및 그 특성 (Fabrication and Characteristics of Infrared Photodiode Using Insb Wafer with p-i-n Structure)

  • 조준영;김종석;손승현;이종현;최시영
    • 센서학회지
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    • 제8권3호
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    • pp.239-246
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    • 1999
  • MOCVD로 성장된 p-i-n 구조의 InSb 웨이퍼를 이용하여 $3{\sim}5\;{\mu}m$ 영역의 적외선을 감지할 수 는 고감도 광기전력 형태의 적외선 광다이오드를 제조하였다. InSb는 녹는점과 표면원자들의 증발온도가 낮기 때문에 광다이오드의 접합계면과 표면의 절연보호막으로 $SiO_2$ 박막을 원격 PECVD를 이용하여 성장시켰다. 광다이오드의 저항성 접촉을 위해 In을 증착하였고 77K의 암상태에서 전류-전압 특성을 조사하였다. 영전위 저항과 수광면적의 적($R_0A$)이 $1.56{\times}10^6\;{\Omega}{\cdot}cm^2$의 높은 값을 가졌는데 이는 BLIP 조건을 만족하는 높은 값이었다. InSb 광다이오드에 적외선을 입사 했을때 $10^{11}\;cm{\cdot}Hz^{1/2}{\cdot}W^{-1}$의 매우 높은 정규화된 검지도를 나타내었다. 높은 양자효율과 검지도로 인해 제조된 InSb 적외선 단위 셀을 적외선 array에 그 적용이 가능할 것으로 보인다.

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