• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.480.1-480.1
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• 2014

In this study, we suggest the new emitter formation applied solid phase epitaxy (SPE) growth process using rapid thermal process (RTP). Preferentially, we describe the SPE growth of intrinsic a-Si thin film through RTP heat treatment by radio-frequency plasma-enhanced chemical vapor deposition (RF-PECVD). Phase transition of intrinsic a-Si thin films were taken place under $600^{\circ}C$ for 5 min annealing condition measured by spectroscopic ellipsometer (SE) applied to effective medium approximation (EMA). We confirmed the SPE growth using high resolution transmission electron microscope (HR-TEM) analysis. Similarly, phase transition of P doped a-Si thin films were arisen $700^{\circ}C$ for 1 min, however, crystallinity is lower than intrinsic a-Si thin films. It is referable to the interference of the dopant. Based on this, we fabricated 16.7% solar cell to apply emitter layer formed SPE growth of P doped a-Si thin films using RTP. We considered that is a relative short process time compare to make the phosphorus emitter such as diffusion using furnace. Also, it is causing process simplification that can be omitted phosphorus silicate glass (PSG) removal and edge isolation process.

• 한국전자파학회논문지
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• 제10권3호
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• pp.449-459
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• 1999

전파흡수체의 전자파산란 문제는 전송선로 근사방법과 유효매질 이론을 적용하여 매우 간단하게 표현할 수 있다. 이러한 방법은 전자장 수치해석 방법이 엄청난 계산이 필요한 것에 비해 매우 직관적이고, 간단하므로 전파흡수체 설계에 널리 사용되어져 왔다. 이 논문에서는 이러한 방법 자체가 가지는 근사의 한계 때문에 발생하는 적용한계를 유한요소법을 이용하여 검토하였다. 전송선로 근사방법은 λ 2p인 영역(여기에서, p는 전파흡수체의 배열주기, λ는 관심주파수 상한에서의 파장)에서 유효하다. 따라서 높은 물성을 갖거나 물리적 크기가 큰 구조의 전파흡수체는 흔히 이러한 조건을 만족치 않으며, 전자파 산란을 직접 수치해석적으로 계산해야 한다.

• 신재생에너지
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• 제4권2호
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• pp.68-73
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• 2008

It is very important that constitution of good hetero-junction interface with a high quality amorphous silicon thin films on very cleaned c-Si wafer for making high efficiency hetero-junction solar cells. For achieving the high efficiency solar cells, the inspection and management of c-Si wafer surface conditions are essential subjects. In this experiment, we analyzed the c-Si wafer surface very sensitively using Spectroscopic Ellipsometer for < ${\varepsilon}2$ > and u-PCD for effective carrier life time, so we accomplished < ${\varepsilon}2$ > value 43.02 at 4.25eV by optimizing the cleaning process which is representative of c-Si wafer surface conditions very well. We carried out that the deposition of high quality hydrogenated silicon amorphous thin films by RF-PECVD systems having high density and low crystallinity which are results of effective medium approximation modeling and fitting using spectroscopic ellipsometer. We reached the cell efficiency 12.67% and 14.30% on flat and textured CZ c-Si wafer each under AM1.5G irradiation, adopting the optimized cleaning and deposition conditions that we made. As a result, we confirmed that spectroscopic ellipsometry is very useful analyzing methode for hetero-junction solar cells which need to very thin and high quality multi layer structure.

• 한국결정학회:학술대회논문집
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• 한국결정학회 2002년도 정기총회 및 추계학술연구발표회
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• pp.40-41
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• 2002

차세대 반도체 및 나노소자 산업에 대한 국제적 기술은 고밀도 직접화의 추세에 따라서 .게이트 산화막의 두께가 급속히 작아지는 추세이다. 지금까지 이산화규소(A1₂O₃)가 게이트 산화막으로 주로 사용되어 왔으나 점차 SiON 혹은 high k 박막으로 바뀌고 있다. 본 연구에서는 차세대 반도체 소자에 사용될 게이트 산화막 물질인 SiON 박막과 Al₂O₃박막에 대한 SE(Spectroscopic Ellipsometry)분석 모델을 확립하였고, SE 측정결과를 TEM, MEIS, XRR의 결과들과 비교하였다. SiON 박막의 굴절률 값은 Si₃N₄와 SiO₂가 물리적으로 혼합되어 있다고 가정하여 Bruggeman effective medium approximation을 사용하여 구하였다. 동일한 시료를 절단하여 TEM, MEIS, 그리고 XRR에 의하여 SiON 박막의 두께를 측정하였으며, 그 결과 SE와 XRR에 의해 얻어진 박막두께가 TEM과 MEIS의 결과 값보다 약 0.5 nm 크게 주어짐을 알 수 있었다(Table 1 참조). 본 연구결과는 비파괴적이며 비접촉식 측정방법인 SE가 2～4nm 두께의 초미세 SiON 박막의 두께와 N 농도의 상대적 값을 빠르고 쉽게 구할 수 있는 유용한 측정방법 임을 보여주었다. 기존의 게이트 산화물인 SiO₂를 대체할 후보 물질들 중의 하나인 A1₂O₃의 유전함수를 구하기 위하여 8 inch, p-type 실리콘 기판 위에 성장된 5 nm, 10 nm, 및 20 nm 두께의 A1₂O₃ 박막의 유전함수와 두께를 측정하였다. 이 시료들에 대한 SE data는 vacuum-UV spectroscopic ellipsometer를 사용하여 세 개의 입사각에서 0.75 eV에서 8.75 eV까지 0.05 eV 간격으로 측정되었다. A1₂O₃ 박막의 유전함수와 두께를 얻기 위하여 공기층/A1₂O₃ 박막/Si 기판으로 구성된 3상계 모델을 사용하였다. Si 기판에 대한 복소 유전함수는 문헌상의 값(1)을 사용하였고, A1₂O₃ 박막의 유전함수는 5개의 미지상수를 갖는 Tauc- Lorentz(TL) 분산함수(2)를 사용하였다. A1₂O₃ 박막의 경우 두께가 증가함에 따라서 굴절률이 커짐을 알 수 있었다.

• 천문학논총
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• 제30권2호
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• pp.397-399
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• 2015

Recently, cosmic voids have been recognized as a powerful cosmological probe. A number of studies have focused on the effects of the gravitational lensing by voids on the temperature (and in some cases polarization) anisotropy of the Cosmic Microwave Background (CMB) background at relatively large to medium scales, l ~ 1000. Many of these studies attempt to explain the unusually large cold spot in CMB temperature maps and dynamical evidence of dark energy via detections of late-time integrated Sachs Wolfe (ISW) effect. Here, the effects of lensing by voids on the CMB temperature anisotropy at small scales, up to l = 3000, will be investigated. This work is carried out in the light of the benefits of adding large catalogues of cosmic voids, to be identified by future large galaxy surveys such as EUCLID and LSST, to the analysis of CMB data such as those from Planck mission. Our numerical simulation utilizes two methods, namely, the small-de ectionangle approximation and full ray-tracing analysis. Using the fitted void density profiles and radius (RV ) distribution available in the literature from N-body simulations, we simulated the secondary temperature anisotropy (lensing) of CMB photons induced by voids along a line of sight from redshift 0 to 2. Each line of sight contains approximately 1000 voids of effective radius $RV_{,eff}=35h^{-1}Mpc$ with randomly distributed radial and projected positions. Both methods are used to generate temperature maps. The two methods will be compared for their accuracy and effciency in the implementation of theoretical modeling.

• Parasites, Hosts and Diseases
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• 제29권3호
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• pp.235-244
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• 1991

강원도 원주 지역 학등에 대하여 환경을 달리하는 4군을 adhesive cellotape anal swab 법으로 충란 검출률을 조사하였고 감염 집단에 대하여 구충제의 반착 투여로 감염률의 감소 현황과 재감염 을 관찰하였다. 1. 충란 검출률(1회 검사)은 19.9%(1,262명중 251명 양성, 남 19.7%, 여 20.1%)였으며 지역과 환경이 다른 산간 지역 13.0%, 농촌 지역 11.9%, 중 도시 15. l%, 집단생활 아동 61.9%로 나타났다. 2. 국민학생은 저학년(유치만 및 1,2학년생)에서 검출률(26.2∼32.2%)이 높았고 그 외는 최저 (6학년 생) 13.6%이었다. 3. 반복 검사(4∼5일 간격 3회)에 의한 누적 검출률은 높았으나(최초 58.5%에서 70.8%로) 매회의 검출률은 비슷한 비율(50.0%∼59.2%)을 보였다. 4. 반복검사 3회의 누적 검출률(70.8%, 130명 검사) 중 계속 양성자는 평균 39.2%이었다. 그리고 충란 검출률이 높은 군(87.5%)일수록 그 비율(71.9%)은 높았다. 5. 충란 양성자 17명에서 구충제 투여로 2,609마리 (성비는 12.4 : 1)의 충체를 수집하였다. 이는 평균 153마리 (4∼824범위) 감염에 해당된다. 6. 집단에 대하여 매회 충란 양성자에만 구충제를 투여 (3주간격 6회)한 바 양성률은 최초 54.8% (180명중)에서 15주 후에 2.3%로 감소되었으나 완전한 구충 효과는 얻지 못하였다. 그러나 매회 전 집단(양성자, 음성자 같이)에 대한 구충제 투여 (3주간격)에서는 4회 (9주째) 검사때 전부 음성으로 나타났다. 7. 국민학교 학생 양성자의 형제자매 중 충란 검출률은 70.0%(40명 중 28명)이었다. 가족 단위로는 69.7%의 같은 비율로 높았다. 이상으로 요충 감염은 아직까지 높은 상태임을 알았고 예방을 위한 집단 구충에는 전 집단에 대한 3회 이상의 반복구충이 효과적이었다. gas layers is also made. Low resolution spectral intensities at the boundary are obtained for uniform, parabolic and boundary layer type temeprature profiles using the obtained for uniform, parabolic and boundary layer type temperature profiles using the obtained WSGGM's with 9 gray gases. The results are compared with the narrow band spectral intensities as obtained by a narrow band model-based code with the Curtis-Godson approximation. Good agreement is found between them. Local heat source strength and total wall heat flux are also compared for the cases of Kim et al, which again gives promising agreement.면적 306~453$\textrm{cm}^2$, 유색계의 경우 수당면적 340~453$\textrm{cm}^2$ 일 때 경제능력을 제대로 발휘할 수 있고 경제성이 있는 것으로 나타났다. 첨가구가 높은 경향이 있었다8.4%. 79.7% 그리고 80.2%였다. 5. 체중구성요소들의 중상비율간의 상관근도는 계통간를 차이를 보이지 않았다. 체중구성요소중 체중과 상관정도가 높은 부위들은 방혈양, 두부, 각부, 흉부, 퇴경부등이였다. 복부지방(%)은 어느 계종에서나 주로 불가식내장과 높은 유의상관을 보였으나, 가식부위와의 상관정도는 매우 낮게 나타났다.ctivity of these