• 제목/요약/키워드: direct scan method

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전도성 AFM 탐침에 의한 YBa2Cu3O7-x 스트립 라인의 산화피막 형성 (Anodization Process of the YBa2Cu3O7-x Strip Lines by the Conductive Atomic Force Microscope Tip)

  • 고석철;강형곤;임성훈;한병성;이해성
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제17권8호
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    • pp.875-881
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    • 2004
  • Fundamental results obtained from an atomic force microscope (AFM) chemically-induced direct nano-lithography process are presented, which is regarded as a simple method for fabrication nm-scale devices such as superconducting flux flow transistors (SFFTs) and single electron tunneling transistors (SETs). Si cantilevers with Pt coating and with 30 nm thick TiO coating were used as conducting AFM tips in this study. We observed the surfaces of superconducting strip lines modified by AFM anodization' process. First, superconducting strip lines with scan size 2 ${\mu}{\textrm}{m}$${\times}$2 ${\mu}{\textrm}{m}$ have been anodized by AFM technology. The surface roughness was increased with the number of AFM scanning, The roughness variation was higher in case of the AFM tip with a positive voltage than with a negative voltage in respect of the strip surface. Second, we have patterned nm-scale oxide lines on ${YBa}-2{Cu}_3{O}_{7-x}$ superconducting microstrip surfaces by AFM conductive cantilever with a negative bias voltage. The ${YBa}-2{Cu}_3{O}_{7-x}$ oxide lines could be patterned by anodization technique. This research showed that the critical characteristics of superconducting thin films were be controlled by AFM anodization process technique. The AFM technique was expected to be used as a promising anodization technique for fabrication of an SFFT with nano-channel.

하인두암에서의 하부경계 파악을 위한 자기공명영상활영술의 유용성 (The Efficacy of MRI for Evaluation of Inferior Margin of Hypopharyngeal Cancer)

  • 진영완;이동엽;홍남표;송영호;최희석;안회영
    • 대한기관식도과학회지
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    • 제6권1호
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    • pp.7-15
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    • 2000
  • Background and Objectives:Submucosal spread of hypopharyngeal canceris frequently incriminated for the high incidence of local recurrence after resection. Although mucosal spread is better detected by means of direct visualization, submucosal spread is better evaluated by using cross-sectional imaging rather than endoscopy. This study was designed to evaluate the efficacy of MRI in diagnosing involvement of inferior margin of hypopharyngeal cancer. Materials and Method : Eight patients with hypopharyngeal cancer underwent MRI prior to surgery. And postoperative histopathopogic involvement of tumor was compared with the preoperative MRI axial scan. Results : In preoperative MRI findings, involvement of pyriform sinus apex was 6 cases(definitive 5 cases, probable 1 cases), that of esophageal inlet was 1 case(probable), that of cervical esophagus was 1 case(probable). In postoperative histopathologic findings, the results were same. Conclusion : MRI evaluation for patient with hypopharyngeal cancer ensures accurate staging and provides essential information about the tumor involvement of inferior margin. And there is needed to be thin section thickness in evaluation of inferior margin of hypopharyngeal cancer.

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요로감염 영아에서 일차성 방광요관역류 (Factors Related to the Resolution of Primary Vesicoureteral Reflux)

  • 정재원;우미경;구자국
    • Childhood Kidney Diseases
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    • 제13권1호
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    • pp.40-48
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    • 2009
  • 목 적 : 영아기 VUR은 다른 시기에 비해 그 유병률이 높으며 여러 가지 상반된 특징들을 가지고 있는데 영아에서는 VUR의 소실율이 크지만, 역류가 지속되면, 신결손, 신실질 내의 위축, 신기능의 저하 등 심각한 후유증을 초래할 수 있으므로 영아기 VUR의 소실에 영향을 미치는 인자들을 알아보고자 본 연구를 시행하였다. 방 법 : 2002년 7월부터 2007년 7월까지 인제대학교 상계백병원 소아 청소년과에서 요로 감염으로 진단받은 1세 미만인 183명의 영아들을 대상으로 하였다. 임상적인 증상과 검사실 소견 및 요로감염 원인 균주를 조사하였고, 환아들에게 신초음파, DMSA 신스캔 및 VCUG를 시행하였으며, 이후 추적 DMSA 신스캔과 VCUG를 통해 VUR 등급, 성별, VUR 양측성 유무 및 신반흔과 VUR의 소실율의 상관 관계를 분석하였다. 결 과 : VUR이 있는 영아 51명중 I-II등급이 18명, III등급은 10명, 나머지 23명은 IV-V등급이었다. 여아들의 경우 급성기 DMSA 신스캔에서 신결손 소견과 VUR 등급간에 유의한 상관 관계를 보였으나(P<0.001), 남아의 경우 통계학적 유의성이 없었다(P=0.849). 추적 DMSA를 시행한 결과, 남아에서 여아보다 신반흔 발생이 많았으며, VUR 등급이 높을수록, 신반흔 발생이 많았다(P<0.001). 수신증 등의 초음파 이상 소견의 빈도는 남아, 여아 모두에서 두 군간에 유의한 차이를 보이지 않았다. 51명의 VUR 환아들에게 추적 VCUG를 실시하였다. VUR을 보인 51명의 환아에서 남아 37명 중에 25명(67.6%), 여아는 전체 14명 중에서 11명(78.6%)에서 VUR이 소실되어 성별에 따른 VUR 소실율의 유의한 차이는 보이지 않았다. 여아의 경우 VUR 등급에 따른 VUR 소실율의 차이를 보이지 않았으나(P=0.581), 남아의 경우 VUR이 심할수록 VUR 소실율이 낮았다(P=0.025). 남아는 VUR가 일측성인 경우, 양측성인 경우보다 의미 있게 높은 VUR 소실율을 나타내었으나, 여아의 경우 유의한 차이를 보이지 않았다. 또한, 신반흔이 없는 경우 유의하게 VUR 소실율이 신반흔이 있는 경우보다 높았다(P<0.001). 결 론 : 영아기 일차성 VUR 환아들에 있어 신반흔이 없는 경우 VUR 소실율이 높았고, 남아의 경우 VUR 등급이 낮으며, 일측성 VUR인 경우 VUR 소실율이 높았으나, 여아의 경우에는 VUR 등급 및 VUR의 양측성 유무가 VUR 소실과 유의한 상관 관계가 없었다.

갑상선암의 임상적 고찰 (A Clinical Analysis of the Thyroid Cancer)

  • 박기민;강형길;김이수;이봉화
    • 대한두경부종양학회지
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    • 제13권2호
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    • pp.213-220
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    • 1997
  • Background: Thyroid cancer is a relatively rare neoplasm and its incidence varies geographically and ethnically around the world. Thyroid cancer is the most common endocrine malignancy, but it has a wide spectrum of biologic behavior, histologic appearance, and management. Purpose: The purpose of the study was to analyse and evaluate all aspects of the clinical consideration in thyroid cancer. Method: Between 1986 and 1995, a retrospective analysis of 77 thyrod cancer patients admitted at the Department of Surgery, Hangang Sacred Heart Hospital, Hallym University was made to assess clinical entities. Result: By the pathological classification, the papillary carcinoma was the most common type(83.1%). Male to female ratio was 1 : 5.4 and most prevalent age group was noted from fourth decade to fifth decade(46.8%). The most common duration of illness between the appearance of the symptoms and the treatment was below 6 months(44.2%), and the most common symptom was the palpable mass at the anterior portion of the neck(96.1%). Most cases of the thyroid cancer were appeared as cold nodule in the $^{99m}$Tc-thyroid scan(95.7%). In the site of tumor location, the right and left lobe was distributed similarly. In the extent of tumor, incidence of intrathyroidal location was 41.6%, and that of the metastasis to the cervical lymph nodes was 44.2% and that of the direct capsular invasion was 27.3%, and incidence of both involved case was 13%. Surgical procedures were total thyroidectomy alone in 27 cases(35.1%) or with modified neck dissection in 6 cases(7.8%), or with radical neck dissection in 2 cases (2.6%), near total thyroidectomy alone in 22 cases(28.6%), ipsilateral lobectomy with isthmectomy alone in 12 cases(15.6%) or with modified neck dissection in 1 case(1.3%), and biopsy only in 7 cases(9.1%). The most common postoperative complications were transient hypoparathyroidism(5.2%) and transient unilateral recurrent laryngeal nerve paralysis(5.2%). Conclusion: The major problem of management of thyroid cancer include a wide spectrum of clinical behaviour of this tumor entity, the lack of reliable prognostic factors and lack of an objective assessment of the various treatment modalities. But because of showing the favorable prognosis for most thyroid cancer, appropriate and aggressive management should be recommended.

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위성 통신용 선박 탑재 능동 위상배열 안테나 시스템 (Shipboard Active Phased Array Antenna System for Satellite Communications)

  • 전순익;채종석;오승엽
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제13권10호
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    • pp.1089-1097
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    • 2002
  • 본 논문에서는 선박에 탑재하여 해상에서 이동 중 위성통신을 수행하는 능동 위상배열 안테나 시스템의 설계, 제작 및 시험을 소개한다. 안테나와 시스템은 광역 하이브리드 추져, 송수신 겸용 안테나 소자, 비대칭 배열, 송수신간의 간섭 억압, 및 주파수 스캔 효과를 보상하는 위상제어 기술 등의 새로운 구조와 기술을 적용한다. 안테나는 32$\times$4 이차원 배열을 가진 송수신 겸용 안테나이다. 안테나는 두개의 빔을 가진다. 안테나 사용 주파수는 수신 7.25 - 7.75 GHz 송신 7.9 - 8.4 GHz이다. 안테나 지향 이득은 수신 35.4 dBi와 송신 35.7 dBi이며, 최대 54 %의 효율을 가진다. 전자 빔 스캔 범위는 앙각 $\pm$35$^{\circ}$와 방위각 $\pm$4$^{\circ}$이다. 안테나는 방위각 360$^{\circ}$ 무한회선과 앙각 $\pm$$10^{\circ}$의 기계적 제어가 가능한 하이브리드 추적 운동을 할 수 있다. 안테나 3 dB 빔폭은 2.2$^{\circ}$이며, 부엽 레벨 -14 dB와 교차편파 억압 송신 21 dB의 특성을 가진다. 안테나는 근역전계 측정 시설을 이용하여 측정하였다. 시스템 성능은 선박 모의 운동 시뮬레이터 위에서 위성 중계기 시뮬레이터를 사용하여 시험하였다. 운동 상태에서 위성 추적 성능은 추적 오차가 3 dB 이내이다. 안테나 시스템은 변조된 위성방송 신호를 주파수 변환하여 안테나 시스템의 변조 신호 송수신 시험에 사용하였다.

개방형 BIM 기반 IFC 모델을 이용한 실내공간정보 시각화 도구개발 및 활용방안 연구 (A Study on the Development and Utilization of Indoor Spatial Information Visualization Tool Using the Open BIM based IFC Model)

  • 류정림;문선기;추승연
    • Spatial Information Research
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    • 제23권5호
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    • pp.41-52
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    • 2015
  • 2013년 국토교통부는 부가가치와 활용도가 높은 실내공간정보를 국가 핵심 공간정보로 구축 관리하기 위하여 '기본공간정보'로 추가 지정하였으며, 이에 전국의 실내공간정보를 구축하고 관리할 수 있는 법률적 근거와 계기가 마련되었다. 하지만 측량/촬영 및 레이저스캐닝을 이용하여 실내공간정보를 구축할 경우 실내공간의 매핑으로 시각적 서비스차원의 활용은 유리하지만 시간적, 인적, 물적 자원의 소비가 크고 속성정보의 입력을 위해 추가적인 정보가공을 필요로 하는 등 유지관리 측면과 국내 AEC/FM 분야 정보의 활용이 제한적이라고 판단된다. 이에 본 연구에서는 개방형 BIM 기반의 IFC 모델을 이용하여 실내공간정보를 추출하고 이를 데이터 시각화 기술과 연계하여 이해와 표현이 쉬운 실내공간정보 시각화 방안을 마련함으로써 실내공간정보의 활용성을 높이고자 하였다. 시각화 도구는 Autodesk사의 Revit 내부 프로그램인 IFC Exporter의 오픈소스를 이용하여 실내공간정보를 추출하였으며 실내공간정보의 시각화를 위해서는 Direct3D Library를 사용하였다. 생성된 실내공간정보 객체는 XML 포맷과 상호호환이 가능하며 시설물 유지관리 분야의 COBie 연계, 항공촬영 혹은 UAV를 활용한 공간데이터베이스 구축, 대규모 군사작전 시뮬레이션, 재해/재난 발생 시 대규모 피난 시뮬레이션 등에 활용될 수 있다. 본 연구에서 제시한 실내공간정보 시각화 방안은 국가의 공간정보정책방향에 부합하고 기존 데이터에서 추출하여 생성함으로써 정보생산의 단계가 간편하다. 또한, IFC 기반의 실내공간정보 객체로써 상호운용성이 높고 정보의 편집이 용이하며 데이터의 경량성 측면에서 우수하다.

간경화 환자에서의 저산소혈증과 Tc-99m-MAA 주사를 이용한 폐내단락 측정 (Hypoxemia In Liver Cirrhosis And Intrapulmonary Shunt Determination Using Tc-99m-MAA Whole Body Scan)

  • 이계영;김영환;한성구;심영수;김건열;한용철
    • Tuberculosis and Respiratory Diseases
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    • 제41권5호
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    • pp.504-512
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    • 1994
  • 연구배경 : 간경화 환자에서 심질환 또는 폐질환이 동반되지 않으면서 심각한 저산소혈증이 발생할 수 있다는 사실은 이미 오래전부터 알려져 있는 사실이다. 그 원인으로서 폐혈관 장애를 초래하는 것이 주된 역할을 하는 것으로 알려져 있는데 그 중에서도 특히 폐혈관 확정에 의한 폐내단락이 가장 중요한 기전으로 제시되고 있다. 폐내단락은 전모세혈관 수준에서 폐내혈관확장이 발생하거나 직접적인 동정맥 교통에 의해서 발생하는데 간경화 환자에서 흔히 관찰되는 피부 소견인 거미상 혈관종과 관련성이 있다. 이러한 폐내 모세혈관의 확장으로 인해 중심 혈류 속도가 빨라지고 모세혈관 통과 속도가 증가하여 결국은 폐확산 장애가 초래되는데 이러한 효과는 심박출량이 증가하는 과운동성 순환을 나타내는 간경화의 혈류학적 특성과 상승작용을 유발하여 저산소혈증이 발생한다. 또한 앙아위에서 기립자세로 체위변화를 하면 폐기저부위에서 중력에 의한 혈류량이 증가하여 폐내단락 효과가 배가되어 저산소혈증이 더욱 악화되므로 기립성 탈산소증과 편평호흡이 발생할 수도 있다. 그러나 이러한 소견들은 주정성 간경화와 원발성 담즙성 간경화를 주로하는 구미에서의 결과이고, B형간염과 이로 인한 간경화 및 간암의 유병율과 사망률이 세계적으로 가장 높은 우리나라에서는 이에 대한 연구가 거의 없는 실정이다. 이에 저자들은 후괴사성 간경화가 대종을 이루는 국내 간경화 환자에서의 저산소혈증과 기립성 탈산소증의 빈도를 조사하고 그 기전으로서 폐내단락의 중요성을 확인하기 위해 본 연구를 시행하였다. 방법 : 간경화 환자 중에서 심폐질환의 증거가 없고 복수, 상부위장관 출혈, 간성 혼수등과 같은 심한 합병증의 현증이 없는 비교적 안정상태에 있는 48명을 대상으로 하여 앙아위와 기립시 동맥혈분석검사를 시행하여 저산소혈증과 기립성 탈산소증의 빈도를 조사하고, 그 결과에 따라 저산소혈증군과 정상산서혈증군으로 분류하여 각각 폐기능검사 및 폐내단락율을 측정하기 위한 Tc-99m-MAA 주사를 실시하였다. 폐내단락율 계산은 뇌와 좌우신장의 혈류량은 전신 혈류량의 32%인 점을 기준하여 뇌와 좌우신장에서 측정된 방사성 계수를 전신 방사성 계수로 환산하고 이 값을 좌우폐의 방사성 계수와 합산한 후 이에 대한 전신 방사성 계수의 비율을 계산함으로써 결정하였다. 결과 : 동맥혈산소분압 80 mmHg 미만의 저산소혈증은 9명에서 관찰되어 18.8%의 빈도를 보였고 10 mmHg 이상의 기립성 탈산소증은 8명에서 관찰되어 16.7%의 빈도를 보였으나 동맥혈산소분양 60 mmHg 미만의 심각한 저산소혈증은 관찰되지 않았다. 동맥혈 산소분압은 거미상 혈관종이 관찰되는 환자군에서 유의하게 낮았으며 혈청학적 표지자와 간경화의 심한 정도를 반영하는 간기능검사 수치와는 유의한 상관관계는 없었다. 저산소혈증군과 정상산소혈증군으로 분류하여 시행한 폐기능검사 소견상 양군간에 유의한 차이는 없었으며 Tc-99m-MAA 전신주사를 이용한 폐내단락율은 저산소혈증군에서 $11.4{\pm}4.1%$로서 정상산소혈증군의 $4.1{\pm}2.0%$보다 유의하게(p<0.05) 높은 결과를 나타내었다. 결론 : 간경화 환자에서 저산소혈증은 적지 않은 빈도로 관찰되는 소견으로 그 기전으로는 폐내단락이 중요한 역할을 하는 것으로 생각되지만 후괴사성 간경화가 대종을 이루는 국내의 간경화 환자에서는 임상적으로 호흡곤란 및 청색증을 유발할 정도의 심각한 저산소혈증은 매우 드물다고 생각된다.

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졸-겔법으로 제조된 비정질의 텅스텐 산화물 박막과 황산 전해질 계면에서 일어나는 수소의 층간 반응에 대한 전기화학적 특성 (Electrochemical Characteristic on Hydrogen Intercalation into the Interface between Electrolyte of the 0.1N H2SO4and Amorphous Tungsten Oxides Thin Film Fabricated by Sol-Gel Method)

  • 강태혁;민병철;주재백;손태원;조원일
    • 공업화학
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    • 제7권6호
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    • pp.1078-1086
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    • 1996
  • 본 연구에서는 W-IPA(peroxo-polytungstic acid)를 출발 물질로 하는 졸 용액을 ITO(indium tin oxide)가 입혀진 유리판 위에 침적 도포(dip-coating) 방법으로 침적시키고, 이것을 겔화시킨 후에 열처리하여 전기 발색 소자 (electrochromic device, ECD)의 텅스텐 산화물 박막 전극을 만들어 이의 전기화학적인 특성을 고찰하였다. 가장 좋은 전기 화학적 특성을 나타내는 조건은 $2g/10mL(W-IPA/H_2O)$졸 용액에 15회 침적 도포하여 $230{\sim}240^{\circ}C$의 온도로 최종 열처리 한 텅스텐 산화물 박막 전극이었으며, 침적 횟수의 증가에 따라 산화 텅스텐 박막의 두께는 비례하여 증가하였고, 5회 침적 도포 이후에는 1회 침적 도포시 약 $60{\AA}$ 두께로 막이 생성됨을 알 수 있었다. 졸-겔법으로 제조된 텅스텐 산화물 박막 전극은 X-선 회절 분석에 의하여 비정질 구조, 주사 전자 현미경에 의하여 박막 표면은 균일한 것으로 조사되었다. 다중 순환 전류-전위 주사법에 의하여 작성된 전류-전위 곡선에 의하면 순환 횟수가 수백회 이상임에도 불구하고 소 발색은 뚜렷하게 나타났으나, 더욱 많은 순환 횟수에서는 전해질인 황산 수용액 중에서 텅스텐 산화물 박막의 박리 현상이 일어나 소 발색의 전류 밀도는 차츰 감소하였다. 전위 주사 속도를 변화시키면서 순환 전류-전위 주사법에 의하여 작성된 전류-전위 곡선으로부터 구한 전기화학적 특성 값을 이용하여 반응에 참여하는 수소 이온의 확산 계수를 구할 수 있었다.

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기관지천식환자에 있어서 고해상도 전산화단층촬영술을 이용한 기관지유발에 대한 기도의 반응 (Airway Responses to Bronchoprovocation Using High-Resolution Computed Tomography in Patients with Bronchial Asthma)

  • 최병휘;강윤정;고형기;박인원;허성호;김양수;김영구;김건상;김종효
    • Tuberculosis and Respiratory Diseases
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    • 제42권6호
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    • pp.813-822
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    • 1995
  • 연구배경: 기도의 과민성과 더불어 반응성의 이상도 기관지천식의 병태생리에 관여한다. 고해상도 전산화 단층촬영술(HRCT)은 기관지조영술보다 비칩습적(non-invasive)이며, 더욱이 기도의 내강을 2차원적으로 측정이 기능하게 되어 훨씬 더 정확하고 신뢰있는 기도의 면적(dimension)을 얻을 수 있다. 방법: 기관지천식에서 메타콜린 기관지유발에 의한 기도 내강의 변화를 관찰하고자 HRCT(5000T CT, Shimadzu Co, Japan)를 이용하여 직접 기도의 반응을 영상화하였다. film scanner(TZ-3X scanner; Truvel Co, Chatsworth CA, USA)를 이용하여 scan 하고 a semiautomated region growing method로 면적을 측정 하였다. 5명의 기관지천식환자에서 $FEV_1$이 20%이상의 감소를 유발하여 기도 내강의 면적이 수축하는 정도를 측정하고, 유발전과 후에 기도의 크기와 폐의 구역에 따른 차이를 알아 보았다. 결과: 1) 메타콜린 흡입후 $FEV_1$이 24.2%에서 45.3%까지 의미있는 수축을 하였으며, 이들에서 기관지수축전후 비교할 수 있는 기도는 상폐야에서는 4개에서 8개, 하폐야에서는 2개에서 6개, 한 환자에서 9개에서 12개까지 면적의 측정이 가능하였다. 2) 메타콜린에 의한 기도의 수축률은 한 환자내에서도 차이가 많았다. 3) 평균 직경 2 mm(면적 $3.14\;mm^2$)이하의 소기도(43개)에서는 48.7%(8.3; SEM) 이였으며, 직경 2mm보다 큰 중심기도(10개)에서는 53.8%(4.4; SEM)으로 소기도에서 더 많은 수축률을 보이는 경향이었으나, 통계적으로 의미있지는 않았다.(p>0.05). 4) 상폐야의 기도(30개)의 수축은 44.3%(5.8; SEM)이었고, 하폐야의 기도(23개)는 56.7%(4.5; SEM)으로 차이가 없었다(p>0.05). 결론: 메타콜린에 의한 기도의 수축은 한 환자 내에서도 차이가 많으며, 폐의 구역이나 기도의 크기에 따른 차이도 없었다. 그 기전에 관하여는 연구가 필요할 것으로 생각된다.

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선형열처리를 이용한 Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) 기판쌍의 직접접합 (Direct bonding of Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) wafers using fast linear annealing method)

  • 이영민;송오성;이상연
    • 한국재료학회지
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    • 제11권5호
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    • pp.427-430
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    • 2001
  • 절연 특성이 기존의 SiO$_2$ 보다 우수한 500 두께의 SiN$_4$층을 두 단결정 실리콘사이의 절연막질로 채택하고 직접접합시켜 직경 10cm의 Si(100) /500 -Si$_3$N$_4$/Si (100) 기판쌍을 제조하였다. p-type (100) 실리콘기판을 친수성, 소수성을 갖도록 습식방법으로 세척한 두 그룹의 시편들을 준비하였다. 기판전면에 LPCVD로 500 $\AA$ 두께의 Si$_3$N$_4$∥Si(100) 기판을 성장시키고 실리론 기판과 고청정상태에서 가접시킨 후, 선형열원의 이동속도를 0.1mm/s로 고정시키고 선형 입열량을 400~1125w 범위에서 변화시키면서 직접접합을 실시하였다. 접합된 기판은 적외선 카메라로 계면 접합면적을 확인하고 razor blade creek opening 측정법으로 세정 방법에 따른 각 기판쌍 그들의 접합강도를 확인하였다. 접합강도가 측정된 기판쌍은 high resolution transmission electron microscopy (HRTEM )을 사용하여 수직단면 미세구조를 조사하였다. 입열량의 증가에 따라 두 그를 모두 접합율은 큰 유의차 없이 765% 정도로, 소수성 처리가 된 기판쌍의 접합강도는 1577mJ/$m^2$가지 선형적으로 증가하였으나, 친수성 처리가 된 기판쌍은 주어진 실험 범위에서 입열량의 증가에 따라 큰 변화 없이 2000mj/$m^2$이상의 접합 강도를 보였다 친수성 처리가 된 기판쌍의 수직단면 미세구조를 고분해능 투과전자현미경으로 각인한 결과 모든 시편의 실리콘과 Si$_3$N$_4$사이에 25 $\AA$ 정도의 SiO$_2$ 자연산화막이 존재하여 중간충 역할을 함으로서 기판접합강도를 향상시키는 것으로 판단되었다.

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