공정조건에 따른 함몰된 다결정실리콘/실리콘($n^{+}$ ) - 실리콘(p) 접합의 특성
(Properties of Recessed Polysilicon/Silicon($n^{+}$ ) - Silicon(P) Junction with Process Condition)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 1994년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.152-153
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- 1994