Development of Analysis Simulation Tool of High-Energy Ion Implantation Process for GSI MOS Transistor (GSI급 MOS Transistor 개발을 위한 HEI (High-Energy Ion Implantation) 공정 분석 시뮬레이터 개발)
-
- Proceedings of the IEEK Conference
- /
- 대한전자공학회 1999년도 하계종합학술대회 논문집
- /
- pp.946-949
- /
- 1999