This paper presents performance analyses of three types of the cylindrical-type ER(electro-rheo-logical) valves, which have different electrode length and width but same electrode area. Following the composition of silicone oil-based ER fluid, the field-dependent yield stresses are obtained from experimental investigation on the Bingham property of the ER fluid. The ER valve which is dependent on the applied electric field is devised and its theoretical model is derived. On the basis of the pressure-drop analysis, three types of the ER valves are designed and manufactured. After experimentally evaluation field-dependent pressure drops, PI controller is formulated to achieve tracking control on desired pressure drop. The controller is then experimentally implemented and tracking control performance is presented in order to demonstrate superior controllability of the ER valve. In addition, the response characteristic of the ER valve with respect to the excitation frequency of the electric fiedls is provided to show the feasibility of practical application.
In order to develope the uniform Plasma source which is able to make polymer or glass surface modification, the d.c glow discharge characteristics for the hemisphere -cylindrical electrode system with external d.c magnetic field are investigated. Single probe method has been used for detecting plasma parameters. We make uniform plasma generated to the external of electrode between hemisphere and cylindrical electrode. The surface treatment of metal and insulate has been performed by this uniform plasma.
In this paper, we have studied the basic discharge characteristics of ac-type cylindrical microcavity structure. The structure has a two electrodes, which are positioned in the bottom of the cavity and in the side wall of the cylinder, respectively. The discharge showed asymmetric phenomena depending on the position of a cathode electrode. When the bottom electrode was a cathode, the discharge was stronger even though the area of the cathode was smaller than that of the anode. Simulation results revealed that the focused electric field toward the bottom electrode increased ion density in the space which in turn strengthened the cathode sheath and ionization process.
유리관에 삽입된 주사기 바늘을 이용한 플라즈마 제트 장치의 특성을 조사하였다. 원통형 주사기 바늘 전극에 교류 고전압을 인가하고, 유리관 끝에 설치된 접지전극의 형태에 따른 플라즈마의 방출 특성을 조사하였다. 접지전극이 없는 경우 방전 개시 전압이 약 3 kV이며, 플라즈마 방사 길이는 약 10 mm이다. 또한 높은 방전 개시 전압으로 인하여 플라즈마 방사 길이 및 전류 최소량의 제어가 어렵다. 내부접지 전극의 경우는 방전 개시 전압이 약 1 kV로 낮다. 그러나 플라즈마 전류가 내부에 위치한 접지 전극으로 흐르기 때문에 유리관 끝으로부터 플라즈마가 방출되지 않는다. 외부접지 전극의 경우는 인가전압 1~2 kV에서, 방전 전류 1~4 mA이며 플라즈마 방사 길이를 0~10 mm의 범위에서 용이하게 제어된다.
In this paper, a double cylindrical type superposed silent discharge type ozonizer which internal electrode can be produced a vacuum has been designed and manufactured Discharge and ozone generation characteristics have been investigated in accordance with output voltage of power supply, flow-rate, discharge power and vacuum of internal electrode.
In this paper, the discharge characteristics of ac-type cylindrical discharge devices with diameters (D) in the $50{\sim}400{\mu}m$ range have been investigated numerically. The cylindrical devices have much lower breakdown voltages compared to the coplanar electrode structures. The breakdown voltage of the cylindrical structures increases with the decrease of diameters in $50{\sim}100{\mu}m$ range. In $100{\sim}200{\mu}m$ range, however, the breakdown voltage decreases slightly with the decrease of diameters. Also, as the diameter gets smaller, the electron heating efficiency is greatly improved.
전기비저항 탐사 방법은 매질의 표면에 관입된 두 전극의 전위차와 전류와의 관계를 통해 전기 저항을 측정하고, 형상 계수를 이용하여 매질의 고유한 특성인 전기비저항을 계산한다. 현장 및 실대형 크기의 전기비저항 실험은 전극과 매질 사이의 접촉 면적이 적고, 전극 간 거리가 충분하기 때문에 계산상 편의를 위해서 동일한 표면적을 가진 반구형으로 치환하여 전기비저항을 산정한다. 하지만, 실내 소규모 크기의 전기비저항 실험은 전극의 지오메트리(전극의 관입 깊이, 전극사이의 거리, 전극의 길이와 반지름 크기)로 인해서, 등전위면과 전류 흐름이 달라지게 되므로, 궁극적으로 전기비저항값의 오차를 야기한다. 본 연구는 기존 연구에서 유도된 4가지 전극 형상(반구, 원기둥, 반구형 팁을 가진 원기둥, 콘형 팁을 가진 원기둥)에 따른 전기 저항 이론식을 정리하고, 전극 형상을 고려한 전기 저항 수치 해석을 실시하였으며, 이론식과 수치 해석 결과들의 비교를 통해서 개발된 수치 해석 모듈을 검증하였다. 또한, 각 전극 형상에 따른 전극 주변과 전극사이에 형성된 전기 저항 분포를 분석하였다. 추가적으로, 현장 전기비저항 탐사에서 주로 사용되는 콘형 팁을 가진 원기둥 전극의 전기적 특성에 따른 전류 흐름 분포를 고찰하였다.
The performance of the DRAM is strongly dependent on the purity and surface roughness of the TIT (TiN/Insulator/ TiN) capacitor electrodes. Hence, in the present study, we evaluate the effects of organic contamination and change of surface roughness on the cylindrical TIT capacitor electrodes during the wet cleaning process by various analytical techniques such as TDMS, AFM, XRD and V-SEM. Once the sacrificial oxide and PR (Photo Resist) are removed by HF, the organic contamination and surface oxide films on the bottom Ti/TiN electrode become visible. With prolonged HF process, the surface roughness of the electrode is increased, whereas the amount of oxidized Ti/TiN is reduced due to the HF chemicals. In the 80nm DRAM device fabrication, the organic contamination of the cylindrical TIT capacitor may cause defects like SBD (Storage node Bridge Defect). The SBD fail bit portion is increased as the surface roughness is increased by HF chemicals reactions.
Reference electrodes are generally implemented for the purpose of monitoring the cathodic protection potentials of buried or immersed metallic structures. In the market, many types of reference electrodes are available for this purpose, such as saturated calomel, silver/silver chloride and copper/copper sulfate. These electrodes contain a porous ceramic junction plate situated in the cylindrical body bottom to permit ionic flux between the internal electrolyte (of the reference electrode) and the external electrolyte. In this work, the copper/copper sulfate reference electrode was modified by replacing the porous ceramic junction plate for a metallic platinum wire. The main purpose of this modification was to avoid the ion copper transport from coming from the inner reference electrode solution into the surrounding electrolyte, and to mitigate the copper plating on the coupon surfaces. Lab tests were performed in order to compare the performance of the two mentioned reference electrodes. We verified that the experimental errors associated with the measurements conducted with developed reference electrode would be negligible, as the platinum surface area exposed to the surrounding electrolyte and/or to the reference electrolyte are maintained as small as possible.
With the development of micro machining, it becomes an important part to fabricate an electrode which has tens of ${\mu}m$ or less. There are two methods to get a narrow hole; non-contact type such as EDM(Electro-discharge machining) and contact type such as punching. A punch which has a tapered shape with a cylindrical tip is fabricated in this paper. To make this punch, a method which was used to fabricate a cylindrical shape by electrochemical process was applied. The control factors for the shape and their limits are verified through an experiment.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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