• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• 제44권2호
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• pp.409-418
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• 1997

배 경 : 기관지 결핵은 임상적으로 진단이 쉽지 않아 조기 진단과 적절한 치료가 이루어지지 않았을 경우 기도협착 및 이에 수반된 원위부 폐의 허탈로 합병증을 남길 수 있다. 기관지 협착을 방지 또는 치료하기 위해 부신피질 스테로이드 병행투여되기도하나 3세 이상의 항결핵 화학요법만으로도 기관지 결핵의 치료가 충분하며, 스테로이드 병용군과 비교할 때 차이가 없다는 보고도 나오고 있다. 이에 저자들은 기관지 결핵 환자에서 부신피질 스테로이드 병용 치료의 효과를 증명하기 위해 기관지 협착이 있는 초치료 환자를 대상으로 하여 무작위로 스테로이드 투여군과 비투여군으로 나누어 전향적 연구를 시행하였다. 방 법 : 기관지 내시경을 시행하여 기관지 세척액 항산균 도말과 배양검사, 기관지 병변의 조직검사를 시행하였다. isoniazid 400mg, rifampin 450mg, ethambutol 800mg, pyrazinamide 1500mg을 경구로 투약하고 40mg을 2개월간 병용 투여후 1개월에 걸쳐 감량하였다. 치료 후 2개월째와 9개월째에 기관지 내시경을 시행하여 기관지 결핵병변의 위치, 육안적 분류의 형태, 협착의 정도를 측정하였다. 결 과 : 대상환자는 25명이었으며 이들에서 관찰된 병변은 모두 47병변이 있었다. 이중 부신피질스테로이드 투여 군은 27병변이 있었고 비투여 군운 20병변이 있었다. 스테로이드 투여군에서는 호전이 없었던 경우가 10개 병변이었으며 25%의 호전을 보인 경우가 5개, 50%의 호전을 보인 경우가 3개, 75%의 호전을 보인 경우가 2개병변에서 있었고, 부신피질 스테로이드 투여군에서는 호전이 없었던 경우가 3개 병변이었으며 25%의 호전을 보인 경우가 3개, 50%의 호전을 보인 경우가 9개, 75%의 호전을 보인 경우가 2개 병변에서 있었고, 100%의 호전을 보인 경우도 2개에서 있었다.(p < 0.05) 육안적 분류에 따른 아형별로 살펴보면 부종형인 경우 부신피질 스테로이드 비투여 군에서는 호전이 없었던 경우가 6개 병변이었으며 25%의 호전을 보인 경우가 1개병변에서 있었고, 부신피질 스테로이드 투여군에서는 호전이 없었던 경우가 1개 병변이었으며 25%의 호전을 보인 경우가 2개, 50%의 호전을 보인 경우가 5개에서 었었다.(p<0.05) 결 론 : 기관지 결핵의 육안적 분류상 침윤형의 형태보다는 부종형 기관지결핵의 기관지협착을 완화시키는 데에 부신피질스테로이드의 효과가 있을 것으로 생각되며 향후 적절한 스테로이드 용량 및 투여기간에 대한 연구가 필요할 것으로 사료된다.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• 제41권6호
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• pp.624-631
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• 1994

연구배경: 1729년 Micheli가 Aspergillus genus를 처음 기술하였고, Sluyter가 이 진균에 의한 인체감염을 최초로 보고한 이래 국균증에 대한 많은 보고가 있었다. 국균증은 폐결핵, 기관지확장증 등 만성 폐질환에 속발하거나, 장기간 항생제나 항암제투여, 부신피질호르몬제 사용 및 악성종양 등 면역기능이 약화된 환자에서의 기회감염이 대부분이다. 최근 국내에서도 각종 항생제 및 부신피질호르몬제의 남용으로 진균의 기회감염이 증가하고 있는 추세이며, 국균증의 진단에 있어서 임상증상과 증후, 흉부 방사선소견 및 객담소견에 의존하여 조기진단이 어려운 경우가 많고, 타 질환으로 진단되어 장기간 불필요한 치료를 한 예가 많았다. 방법: 1980년부터 1994년까지 한양대학교병원에 입원하였던 폐 국균증환자 52예를 후향적으로 검토하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 결과: 1) 대상환자의 평균연령은 45.6세이었고, 연령분포는 19세에서 78세 사이였으며, 30대와 40대가 50%를 차지하였다. 남여비는 1.1:1 이었다. 2) 주증상은 객혈이 22예로 가장 많았고, 농성객담, 혈담, 발열, 호흡곤란, 및 흉통 등의 순이었다. 3) 흉부 방사선소견상 전형적인 균구(fungus ball)를 보인 경우는 28예로 가장 많았고 나머지는 비특이적인 소견을 보였다. 4) 객담 배양검사에서 국균이 배양된 경우는 객담 배양검사를 시행하였던 37예중 8예이었으며, 21예에서 경피적 폐 세침흡인검사와 기관지내시경을 이용한 폐 조직생검을 실시하였으며 이들 모두에서 국균이 검출되었다. 진균혈청검사는 국균종형에서 시행한 17예중 15예에서 양성반응을 보였고, 침윤형에서 시행한 3예중 1예에서 양성반응을 보였다. 5) 대상환자중 36예가 폐결핵으로 진단받고 항결핵 화학요법을 받은 경력이 있었고, 이들의 평균 치료기간은 27.3개월이었으며, 객담도말검사와 술후 병리조직검사상 결핵을 증명할 수 있었던 경우는 14예였다. 6) 호발부위는 우상엽 18예, 좌상엽 10예 등이었으며, 수술은 폐엽절제술을 시행한 경우가 21예로 가장 많았다. 7) 선행질환으로는 폐결핵이 23예로 가장 많았고 기관지확장증, 항암 화학요법, 당뇨병, 부신피질호르몬제 사용, 기관지폐렴과 폐암이 있었다. 8) 52예의 환자중 폐절제술을 시행한 환자는 37예이었고, 4예에서는 Amphotericine-B 정주요법으로 치료받았으며, Miconazole 정주요법과 기관지동맥색전술을 각각 1예에서 시행하였고, 1예는 도판을 이용한 공동내 Amphotericine-B 주입을 시행하였으며 8예는 치료를 받지 않았다. 결론: 이상의 결과로 국균종형의 국균증은 결핵균음성 개방성 공동에 속발하는 경우가 많았으며, 결핵병변이 있는 환자가 객혈을 한 경우에 폐결핵의 재발로 생각하여 재치료를 시행한 경우가 많았는데, 이 경우 폐 국균증의 가능성을 고려하여야 할 것으로 사료된다.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• 제45권6호
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• pp.1154-1166
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• 1998

배 경 : 현재 우리나라에서 사용되어지고있는 여러 가지 재치료 결핵제재 조합의 치료효과를 비교함으로써 결핵 재치료시외 올바른 Regimen을 정립시키고자 실시하였다. 방 법 : 1994년 1월부터 1996년 11월까지 국립마산병원에 입원하였던 재치료 환자로서 2차약제를 처음 처방한 104명을 OFX+PTA+CS+PAS+Aminoglycoside주사제를 사용하는 처방군 48명과 PZA+PTA+CS+PAS+Aminoglycoside주사제를 사용하는 처방군 35명 그리고 PZA+OFX+PTA+PAS+Aminoglycoside주사제를 사용하는 처방군 21명으로 분류하여 일반적인 임상 특성 및 치료효과를 연구하였다. 결 과 : 연령분포는 전체적으로는 50세 이상이 36례(34.6%)로 가장 많았고 평균연령은 42.6세였다. 성별은 남자가 81례(77.9%)로 많았다. 동반질환이 있는 경우는 31례(29.8%)였고, 합병증이 있는 경우는 18례(17.3%), 가족력이 있는 경우는 29례(27.9%)로 나타났다. 초치료처방은 HERZ(S or K) 48례 (46.2%), HER(S or K) 41례(39.4%), 기타 15례(14.4%)의 순 이었으며, 입원전 항결핵 치료에서 규칙적으로 치료한 경우가 49례(47.1%)로 나타났다. 약제 내성검사결과 INH와 RFP 동시에 내성이 있는 경우가 68례 (65.4%)로 가장 많았고 RFP에 내성이 있는 경우는 12례(11.5%), INH에 내성이 있는 경우는 3례(2.9%)이었으며, 모든 약제에 감수성이 있는 경우도 3례(2.9%)이었다. 입원시 호소한 증상은 전체적으로 기침이 93례(89.4%)로 가장 많았고, 객담 72례(69.2%), 호흡곤란 39례(37.5%), 체중감소 35례(33.7%), 혈담 16례(15.4%)의 순 이었으며, 증상이 없는 경우도 1례(0.96%)있었다. 입원시 병변의 범위에 따른 분류는 전체적으로 중증이 73례(70.2%)로 가장 많았고 중등증 28례(26.9%), 경증 3례(2.9%)의 순 이었다. 약제에 대한 부작용용 위장장애 31례(29.8%), 관절통 22례(21.2%), 피부질환 12례(11.5%) 등의 순이었다. 객담도말검사상 균이 음전화된 경우는 89례(85.6%)로 Group I이 42례(87.5%), Group II가 28례(80.0%), Group III가 19례(90.5%)였고, 평균 균음전 기간은 4.0개월로 Group I이 4.0개월, Group II가 4.6개월, Group III가 3.0개월이었다. 결 론 : 재치료 병합치료에서 OFX는 PZA를 사용하지 못하는 환자에게 투여하여 PZA를 사용할 때와 유사한 결과를 얻었으며, CS를 사용할 수 없는 환자에게 OFX와 PZA를 복합 처방함으로써 좋은 결과를 얻을 수 있을 것으로 생각된다.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• 제48권6호
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• pp.853-869
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• 2000

연구배경 : 최근 세계적으로 결핵의 증가와 함께 다제내성 결핵의 조절이 문제가 되고 있으며, 결핵 및 약제갑수성의 신속한 진단과 새로운 약제의 개발이 시급하다. Rifabutin (RBU)은 rifampicin (RFP)과 같은 rifamycin계통의 약제로, 일부 다제내성 결핵에서 효과가 있음이 보고되어 있다. 소수의 국외 연구에서 RFP내성과 관련된 rpoB 유전자의 돌연변이 양상에 따라 rifamycin계통 약제의 감수성여부가 결정된다고 보고 되었다. 아직도 내성율이 높은 국내 현실에서 다제내성 결핵균의 rpoB 유전자 돌연변이 양상을 파악하고, RBU감수성을 나타내는 돌연변이 양상을 확인하여 RBU감수성 다제내성 결핵을 신속하게 확인할 수 있는 진단법의 기초자료를 구하고자 하였다. 방법 : 1997년 7월에서 1999년 6월 사이에 서울중앙병원을 방문한 65명의 다제내성결핵환자에서 얻은 균주를 대상으로 RBU감수성검사와 rpoB 유전자 염기서열결정법을 시행하여 그 결과를 비교하였다. 결과 : 다제내성 결핵균 65균주중 52균주에서 RBU약제감수성검사를 시행하였고, 56균주에서 rpoB 유전자 염기서열이 확인되었다. 44균주에서 rpoB 유전자 염기서열분석과 RBU약제감수성검사가 동시에 시행되었다. 염기서열이 확인된 56균주중 53균주(95%)에서 rpoB 유전자 돌연변이가 발견되었다. 발견된 60개 돌연변이중 531 코돈 돌연변이가 26개(43%)로 가장 많았으며, 7예에서는 돌연변이가 2가지씩 존재하였다. RBU감수성 균주는 10% (5/53) 이었다. RBU감수성 균주가 채취된 5명중 1명에서 RBU를 복용하였으나 균음전에는 실패하였다. RBU감수성 다제내성 결핵균과 관련된 rpoB 유전자 돌연변이는 526 코돈의 CAC - > AAC, GCC, TGC, 516 코돈의 GAC - > TAC 또는 GAG, 그리고 509 코돈의 AGC - > AGA 점돌연변이 이었다. 결론 : 국내 다제내성 결핵균에서 rpoB 유전자 돌연변이의 빈도 및 양상은 결핵의 유병율이 낮은 국외의 보고와 비슷하였으며, 일부는 RBU에 감수성을 나타내었다. RBU감수성올 나타내는 rpoB 유전자 돌연변이 양상을 이용하여 다제내성 결핵균에서 RBU감수성인 균주를 신속히 진단할 수 있을 것으로 사료되었다.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• 제49권2호
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• pp.169-178
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• 2000

연구배경 : 발열은 폐결핵 환자에서 흔히 볼 수 있는 임상증상 중 하나로서, 4제 병합 1차 항결핵요법($6HREZ_2$) 시작 후 90% 이상에서 1주 이내에 열이 소실되며, 2주 이상 지속되는 경우는 드문 것으로 보고되어 있다. 치료 후에도 열이 지속되는 경우 일부에서는 다른 감염의 동반, 약제 내성, 또는 약제열 등을 의심하여 조기에 약제를 변경하게 되고, 이로 인하여 치료기간이 연장되기도 한다. 아직 약제내성율이 높은 국내의 현실에서 치료에도 불구하고 열이 지속되는 폐결핵 환자의 원인 및 임상상을 알아보고, 적절한 치료지침을 만들기 위하여 본 연구를 수행하였다. 방법 : 1996년 1월부터 1999년 3월까지 서울중앙병원에 입원하여 폐결핵으로 진단된 후 4제 병합 1차 항결핵요법을 시작한 환자를 대상으로 후향적으로 의무기록을 조사하였다. 2주 이상 열이 지속된 환자를 대상으로 지속적 발열의 원인을 조사하였고, 이 중에서 지속적 발열의 다른 원인이 없으며 약제감수성인 환자를 "지속적 발열군"으로 정하였다 (22명). 진단 당시 발열이 없었던 환자(비발열군)와 치료 시작 후 2주이내에 열이 소설된 환자(열소실군)에서 무작위로 같은 숫자의 환자를 추출하여 각 군간에 임상상 및 검사소견을 비교하였다. 결과 : 598명의 폐결핵환자 중 28명 (4.8%)에서 치료에도 불구하고 2주 이상 열이 지속되었다. 134명 (22.4%)은 2주 이내에 열이 소설되었으며, 435명(72.7%)은 진단 당시부터 열이 없었다. 2주 이상 열이 지속된 28명 중 2명은 약제열, 3명은 다제내성결핵, 그리고 l명은 Mycobacterium kansasii 감염이 지속적 발열의 원인이었다. 나머지 22명은 약제감수성이면서 결핵 자체이외의 다른 발열의 원인이 없었다. 지속적 발열군은 비발열군 및 열소실군에 비하여 결핵발병의 위험인자가 많았고, 중성구의 증가 및 임파구의 감소와 빈혈 소견이 많았으며, 혈청단백질, 알부민 및 나트륨이 감소되어 있었고, 흉부방사선 소견상 폐침윤의 범위가 넓었으며, 3개 이상의 공동이 존재하는 빈도가 더 높아서, 장기적이고 진행된 폐결핵임을 시사하였다. 결론 : 아직 결핵의 유병율 및 약제 내성율이 높은 국내의 현실에도 불구하고 1차 항결핵약재 치료 후 지속적 발열의 주된 원인은 약제 내성보다는 진행된 폐결핵 자체가 원인이었다. 약제내성의 위험인자가 없고 진행된 폐결핵의 경우에는 성급한 약제변경에 신중을 기하여야 하겠다.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• 제49권2호
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• pp.198-206
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• 2000

연구배경 : 골수이식후의 폐렴은 흔한 합병증이며 사망율이 높아 신속하고 정확한 원인율의 진단이 중요하며 이에 대한 기관지내시경 검사의 안전성과 유용성이 보고되고 있으나 국내에서는 이에 대한 보고가 드물었다. 저자들은 골수이식후 폐렴이 의심되는 환자를 대상으로 기관지내시경 검사를 시행하여 원인균의 동정과 임상적 특징을 조사분석하였다. 연구방법: 1997년 5월부터 2000년 4월까지 가톨릭대학교 성모병원에서 기관지내시경 검사를 시행한 골수이식후 폐렴 환자 52명을 대상으로 하였다. 총 56예에서 기관지폐포 세척액검사를 시행하여 virus 배양검사와 세균검사를 하였고 32예에서 protected specimen brush (PSB)를 이용한 정량세균 배양검사, 23예에서 경기관지 폐생검을 시행하였다. 결과 : 1) 대상환자의 평균연령은 31.3세(최소 17세에서 최고 45세)였고 남자가 37명, 여자가 15명이었다. 골수이식 방법은 혈연간 동종골수이식이 35명, 비혈 연간 동종골수이식에서는 15명, 자가 조혈포세포 이식이 2명이었다. 골수이식후 폐합병증 발생까지의 기간은 211.1 일이었으며 227일, 비혈연간 동종골수이식군에서는 169.9일, 그리고, 자가골수이식군에서는 236.5일이었다. 2) 총 56예중 33예(59%)에서 기관지폐포세척액검사로 진단이 가능했는데 cytomegalovirus와 pneumocystis carinii가 함께 발견된 폐렴이 11예(19.6%), cytomegalovirus 폐렴이 12예 (21.4%), pneumocystis carinii 폐렴이 7예(12.5%), 결핵이 2예(3.6%), $\alpha$-hemolytic streptococcus가 1예 (2.5%)에서 발견되었다. 3) 대상환자들의 X-선 소견은 대부분 전폐야를 고루 침범하는 미만성 폐침윤 병변으로 보였다. 이중 cytomegalovirus 폐렴은 주로 미세 결절성 병변을 나타냈고, pneumocystis carinii폐렴은 미만성 간유리음영을 주로 보였으며, cytomegalovirus와 pneumocystis carinii 혼합감염은 미세결절과 간유리음영이 섞여있는 모습이었다. 4) 조사대상 환자 56예종 13명 (23.2%)이 사망하였다. 사망원인은 cytomegalovirus 폐렴이 2명, pneumocytis carinii 폐렴이 2명, 두 병원균의 혼합 감염이 3명, 이식편대숙주반응이 1명, 백혈병의 진행이 1명, 원인불명의 호흡부전이 4명이었다. 5) 기관지내시경 검사에 의한 합병증은 경기관지폐생검후의 국소출혈 3예 (5.3%), 일시적인 저산소증 1예(1.7%)로 치명적인 합병증은 없었다. 결론 : 이상의 결과로 골수이식후 발생한 폐렴의 주된 원인이 cytomegalovirus와 pneumocystis carinii임을 알수 있었고, 진단에 있어 기관지폐포세척액 검사가 안전하고 유용한 방법일 것으로 생각된다.

• 한국산림과학회지
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• 제77권3호
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• pp.331-337
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• 1988

1986년(年) 7월(月)부터 10일(日)서까지 울대학교(大學校) 관악수목원(冠岳樹木園) 내(內)에서 24년생(年生) 리기테다소나무로 구성된 침엽수림분(針葉樹林分)과 14년생(年生) 신갈나무등으로 구성된 활엽수림분(闊葉樹林分)을 대상으로 삼림(森林)의 강우차단현상(降雨遮斷現像)을 구명(究明)하고자 수관통과량(樹冠通過量)과 수간류하량(樹幹流下量)을 측정(測定)하여 분석(分析)한 결과(結果)를 요약(要約)하면 다음과 같다. 1) 측정기간(測定其間)동안 내린 총강우량(總降雨量)은 77.38mm였으며, 수관통과우량(樹冠通過雨量)은 침엽수림(針葉樹林)에서 593.3mm(76.7%), 활엽수림(闊葉樹林)에서 663.1mm(81.8%)이었다. 임외강우량(林外降雨量)(P)과 수관통과우량(樹冠通過雨量)(T)의 관계(關係)는 침엽수림(針葉樹林) ; T=-1.8675+0.8320P, T=-1.8179-0.8805P에 있다. 2) 수간류하량(樹幹流下量)이 2.5mm이하인 때는 수간류하량(樹幹流下量)이 측정(測定)되지 않았다. 임외강우량(林外降雨量)과 수간류하량(樹幹流下量)의 관계식(關係式)은 침엽수림(針葉樹林) ; S=-0.6155+0.0698P, 그리고 활엽수림(闊葉樹林) ; S=-0.0497+0.0183P이었다. 3) 차단손실량(遮斷損失量)은 침엽수림(針葉樹林)에서 총강우량(總降雨量)의 18.5%인 142.9mm, 활엽수림(闊葉樹林)에서 125.2mm(16.2%)로 침엽수림(針葉樹林)이 활엽수림(闊葉樹林)보다 약14.1%가 많았다. 4) 차단량(遮斷量)(I)과 임외강우량(林外降雨量)(P)의 관계는 침엽수림(針葉樹林)에서 $I=-0.3693+0.3666P-0.0033P^2$($R^2=0.72$), 활엽수림(闊葉樹林)에서 $I=-0.4817+0.3109P-0.0026P^2$($R^2=0.61$)로 나타났다.

• 한국식품영양과학회지
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• 제41권4호
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• pp.510-518
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• 2012

와송의 생리활성 및 생약재 혼합조성물과의 시너지 효과를 규명하고자 와송 추출물과 백복령, 창출, 사인 추출물의 동량으로 제조된 혼합물 및 이들의 1:1, 3:1 복합조성물을 시료로 하여 $in$ $vitro$ 상에서 항산화 활성을 확인하고, streptozotocin으로 당뇨를 유발한 흰쥐의 간장과 신장 조직의 지질조성과 체내 항산화 활성에 미치는 영향을 분석하였다. Nitric oxide 라디칼 소거활성은 1,000 ${\mu}g$/mL 농도에서 와송 추출물 및 와송과 생약재 혼합물 3:1 복합물의 nitric oxide 라디칼 소거활성은 50% 이상이었다. 금속이온에 대한 항산화 활성도 와송과 생약재 혼합물을 혼합하였을 때 각각의 추출물에 비해 활성이 더 높았으며, $Fe^{2+}$ 이온보다는 $Cu^{2+}$ 이온에 대한 항산화 활성이 더 높았다. ${\alpha}$-Glucosidase 저해활성은 생약재 혼합물에 비해 와송 추출물에서 유의적으로 높았으며, 와송 추출물과 생약재 혼합물을 3:1로 혼합함으로 써 상대적인 활성이 증가하였다. 와송 추출물과 생약재 혼합물의 3:1 복합물을 식이에 1% 첨가 급이하였을 때 간장과 신장 조직 내 총 지질, 총 콜레스테롤 및 중성지질의 농도는 유의적으로 감소하였으며, 간장 조직 내 글리코겐의 축적량은 유의적으로 증가하였다. 이는 간장과 신장 조직 중 지질과산화물의 함량과 항산화 활성을 분석한 결과에서도 동일한 경향으로 와송의 혼합비율이 높을수록 TBARS 함량은 유의적으로 낮았으며, DPPH 라디칼 소거활성은 유의적으로 증가하였다. 이상의 결과를 종합하여 볼 때 와송은 자체로도 항산화 및 항당뇨 활성을 가지지만 생약재 혼합물이 더해짐으로써 활성이 더 증가함을 확인할 수 있었다.

• Maxillofacial Plastic and Reconstructive Surgery
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• 제21권1호
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• pp.54-59
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• 1999

1992년 1월 1일부터 1996년 12월 31일까지 본과에 입원하여 치료받은 환자중 추적이 가능한 관골 골절 환자 164명을 대상으로 후향적, 임상통계학적으로 비교 분석하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 관골 골절 환자의 연령 분포의 범위는 8세부터 78세까지로 평균연령은 35.6세였고, 성별 분포는 7:1로 남성에서 호발하였다. 월별로는 10월(14.0%)과 8월(11.6%)에 많았고 계절별로는 가을(31.1%), 여름(25.6%), 겨울(23.2%), 봄(20.1%)의 순이었다. 발생시각별 분포는 21~24시 (34.2%)와 1~4시 (21.3%)에 많았고, 원인별로는 교통사고(53.7%)가 가장 많은 분포를 보였다. 관골 골절의 분류에 따른 분포는 class IV(33.5%)와 class III(25.6%)가 많았고, 동반된 안면부 골절은 164명중 114명(69.5%)에서 147례가 발생하였으며, 그중 상악골 골절이 52.4%로 가장 많았다. 내원 방법은 응급실을 통해 내원한 경우가 72.3%, 외래를 통해 내원한 경우가 26.8%였으며, 타과와의 연관 손상이 있는 경우는 37.2%였다. 수상후 수술을 받을때까지 경과된 시간은 5 일 이내가 36.6%로 가장 많았으며, 접근방법으로는 구내절개법(57.1%)과 눈썹절개법(38.4%)이 많이 사용되었다. 술후 합병증으로는 안구 함몰증(7.3%), 안모 비대칭 (6.7%), 감각저하(6.1%), 복시 (2.4%) 등이 발생하였다. 이상의 결과에서 관골 골절시에는 골절의 정도와 동반 골절 및 연관 손상에 대한 정확한 진단과 치료가 필요하고 타과와의 유기적인 협조하에 적절한 처치를 해줌으로써 술후 합병증을 줄일 수 있으리라 사료된다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
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• pp.239-240
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• 2008

As semiconductor devices are scaled down for better performance and more functionality, the Cu-based interconnects suffer from the increase of the resistivity of the Cu wires. The resistivity increase, which is attributed to the electron scattering from grain boundaries and interfaces, needs to be addressed in order to further scale down semiconductor devices [1]. The increase in the resistivity of the interconnect can be alleviated by increasing the grain size of electroplating (EP)-Cu or by modifying the Cu surface [1]. Another possible solution is to maximize the portion of the EP-Cu volume in the vias or damascene structures with the conformal diffusion barrier and seed layer by optimizing their deposition processes during Cu interconnect fabrication, which are currently ionized physical vapor deposition (IPVD)-based Ta/TaN bilayer and IPVD-Cu, respectively. The use of in-situ etching, during IPVD of the barrier or the seed layer, has been effective in enlarging the trench volume where the Cu is filled, resulting in improved reliability and performance of the Cu-based interconnect. However, the application of IPVD technology is expected to be limited eventually because of poor sidewall step coverage and the narrow top part of the damascene structures. Recently, Ru has been suggested as a diffusion barrier that is compatible with the direct plating of Cu [2-3]. A single-layer diffusion barrier for the direct plating of Cu is desirable to optimize the resistance of the Cu interconnects because it eliminates the Cu-seed layer. However, previous studies have shown that the Ru by itself is not a suitable diffusion barrier for Cu metallization [4-6]. Thus, the diffusion barrier performance of the Ru film should be improved in order for it to be successfully incorporated as a seed layer/barrier layer for the direct plating of Cu. The improvement of its barrier performance, by modifying the Ru microstructure from columnar to amorphous (by incorporating the N into Ru during PVD), has been previously reported [7]. Another approach for improving the barrier performance of the Ru film is to use Ru as a just seed layer and combine it with superior materials to function as a diffusion barrier against the Cu. A RulTaN bilayer prepared by PVD has recently been suggested as a seed layer/diffusion barrier for Cu. This bilayer was stable between the Cu and Si after annealing at $700^{\circ}C$ for I min [8]. Although these reports dealt with the possible applications of Ru for Cu metallization, cases where the Ru film was prepared by atomic layer deposition (ALD) have not been identified. These are important because of ALD's excellent conformality. In this study, a bilayer diffusion barrier of Ru/TaCN prepared by ALD was investigated. As the addition of the third element into the transition metal nitride disrupts the crystal lattice and leads to the formation of a stable ternary amorphous material, as indicated by Nicolet [9], ALD-TaCN is expected to improve the diffusion barrier performance of the ALD-Ru against Cu. Ru was deposited by a sequential supply of bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium [Ru$(EtCp)_2$] and $NH_3$plasma and TaCN by a sequential supply of $(NEt_2)_3Ta=Nbu^t$ (tert-butylimido-trisdiethylamido-tantalum, TBTDET) and $H_2$ plasma. Sheet resistance measurements, X-ray diffractometry (XRD), and Auger electron spectroscopy (AES) analysis showed that the bilayer diffusion barriers of ALD-Ru (12 nm)/ALD-TaCN (2 nm) and ALD-Ru (4nm)/ALD-TaCN (2 nm) prevented the Cu diffusion up to annealing temperatures of 600 and $550^{\circ}C$ for 30 min, respectively. This is found to be due to the excellent diffusion barrier performance of the ALD-TaCN film against the Cu, due to it having an amorphous structure. A 5-nm-thick ALD-TaCN film was even stable up to annealing at $650^{\circ}C$ between Cu and Si. Transmission electron microscopy (TEM) investigation combined with energy dispersive spectroscopy (EDS) analysis revealed that the ALD-Ru/ALD-TaCN diffusion barrier failed by the Cu diffusion through the bilayer into the Si substrate. This is due to the ALD-TaCN interlayer preventing the interfacial reaction between the Ru and Si.