• 제목/요약/키워드: clean room

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Room Temperature Hydrogen Sensor

  • Cho, Hyoung Jin;Zhang, Peng;Seal, Sudipta
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 한국신재생에너지학회 2010년도 춘계학술대회 초록집
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    • pp.51.3-51.3
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    • 2010
  • Due to the recent public awareness of global warming and sustainable economic growth, there has been a growing interest in alternative clean energy sources. Hydrogen is considered as a clean fuel for the next generation. One of the technical challenges related to the use of hydrogen is safe monitoring of the hydrogen leak during separation, purification and transportation. For detecting various gases, chemiresistor-type gas sensors have been widely studied and used due to their well-established detection scheme and low cost. However, it is known that many of them have the limited sensitivity and slow response time, when used at low temperature conditions. In our work, a sensor based on Schottky barriers at the electrode/sensing material interface showed promising results that can be utilized for developing fast and highly sensitive gas sensors. Our hydrogen sensor was designed and fabricated based on indium oxide (In2O3)-doped tin oxide (SnO2) semiconductor nanoparticles with platinum (Pt) nanoclusters in combination with interdigitated electrodes. The sensor showed the sensitivity as high as $10^7%$ (Rair/Rgas) and the detection limit as low as 30 ppm. The sensor characteristics could be obtained via optimized materials synthesis route and sensor electrode design. Not only the contribution of electrical resistance from the film itself but also the interfacial effect was identified as an important factor that contribute significantly to the overall sensor characteristics. This promises the applicability of the developed sensor for monitoring hydrogen leak at room temperature.

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Carboxymethylcellulose 제조공정을 이용한 상온에서의 수용성 섬유에 관한 연구 (A Study on the Water-soluble Fiber at the Room Temperature using Carboxymethylcellulose(CMC) Synthesis)

  • 송호준;최영민;박진원
    • 청정기술
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    • 제11권2호
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    • pp.105-116
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    • 2005
  • 본 연구는 NaOH 용액에 의한 머서화(mercerization) 반응과 모노클로로아세트산에 의한 에테르화 반응에 의해 carboxymethylcellulose(CMC)를 제조하고 각 제조단계에서의 반응시간, 시약 농도, 온도 등을 변수로 설정하여 결과물에 대한 영향을 고찰하였다. 제조된 샘플을 용해도와 카르복실기의 치환도를 통해 분석하였으며 부직포로서의 응용을 위해 제조된 수용성 섬유의 인장강도를 알아보았다. 섬유의 표면 변화는 SEM(scanning electron microscope) 사진을 통해 알아보았다. 제조된 섬유는 30분 이내에 80% 이상 용해되었으며 반응시간이나 반응 온도보다 시약의 농도에 의한 영향이 더욱 컸다. 또한 용해도가 80% 이상이었던 시편은 0.6 ~ 0.7의 치환도를 보였으며 모노클로로아세트산의 농도의 영향이 가장 크며 용해도가 증가할수록 치환도가 증가하는 경향을 보였다.

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청정실 화재의 시뮬레이션 I. 방연커튼의 효과 (Simulation of a Clean Room Fire I. Effects of Smoke Curtain)

  • 박외철
    • 한국화재소방학회논문지
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    • 제19권2호
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    • pp.8-12
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    • 2005
  • 청정실의 화재는 연기입자의 확산으로 인해 큰 피해를 초래할 수 있다. 청정실내 화재가 발생한 구역에서 다른 구역으로 연기가 확산되는 것을 방지하기 위해 구역경계에 방연커튼을 설치할 때, 그 폭이 연기의 확산에 미치는 영향을 전산유체역학 프로그램을 사용하여 조사하였다. 청정실 내 크기 $30m\times10m\times4m$의 구역에 1MW의 메탄을 화재가 발생한 것으로 화재시나리오를 설정하였다. 구역 경계에 방역커튼을 설치하지 않은 경우와 각각 폭이 1, 2, 3m인 방연커튼을 설치한 경우에 대한 결과를 비교하였다. 커튼이 설치되지 않은 경우에는 연기가 구역경계를 통해 확산됨을 확인하였다. 또, 방연커튼의 폭이 클수록 연기확산을 지연시키지만, 연기확산을 차단하기 위해서는 경계 칸막이를 설치해야 함을 알 수 있었다.

대형 클린룸내 전자부품 생산공정에서의 이물전이 예측을 위한 기류해석에 관한 연구 (The Prediction and Evaluation of Contamination in the Large Clean Room for Manufacturing Electronic Components)

  • 정기호;신안섭;박창식;변향은
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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    • pp.202-202
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    • 2008
  • The world gross market of many kinds of electronics, such as TV and mobile phone has been increasing rapidly these days. It is mainly caused by the amazing developments of IT technology during past decade and the changes of individual life style for the better. Thanks to the increases of electronics manufactured in quantity, much more electronic components such as MLCC (multi layer ceramic capacitor) and PCB (printed circuit board), which are our main products, have been needed as a consequence. Though it was reported that total market of electronic components exceeds several hundreds of billion dollars, there are many manufactures struggling for survival in the competition of electronics components. Then the recognition of quality as a key technology has spread and the efforts for high-yield production lines have been kept in many companies. In this paper, our efforts to eliminate the contamination of particles and the diffusion of some volatile organic compounds which is very harmful to workers at production line have been introduced.

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클린룸 내 롤러 컨베이어 운송장치 주위의 유동해석 (Flow Analysis around the Roller Conveyor in a Clean Room)

  • 전현주;박찬우;임익태
    • 대한설비공학회:학술대회논문집
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    • 대한설비공학회 2009년도 하계학술발표대회 논문집
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    • pp.1507-1512
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    • 2009
  • Flow field in a roller conveyor system, induced from the movement of a cassette in which glasses for flat panel display are loaded, is numerically studied in this paper. Contamination on the glass surface by dust particles produced from mechanical friction between roller and cassette is predicted from the analysis results of flow fields. Results show that a large swirl flow is formed under the moving cassette with constant speed. This swirl flow is confined only under the cassette because two main streams from the backward and the fan filter unit on the top ceiling are sufficiently strong. Therefore, it can be said that possibility of the contamination by the particles originated from the friction is relatively low. It is also revealed that flow direction between glass plates is changed according to the speed of the cassette movement due to the shear force of glass plates.

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반도체 제조 설비용 전해 연마된 STS316L 용접강관의 표면 성질 - 전해 조건과 표면 성상의 관계를 중심으로 - (Surface Properties of Electrolytic-Polished 316L Stainless Steel Welding Tube for Semi-Conductor Fab. - As the Relation of Electrolysis Conditions with Surface Characteristics -)

  • 김기호;조보연
    • 한국표면공학회지
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    • 제41권1호
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    • pp.38-42
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    • 2008
  • 316L stainless steel welding tube was electrolytically polished and the inner surface characteristics of the tube were tested. Electro-polishing variables such as current, voltage, concentration of electrolyte and electropolishing time were changed to seek for optimum condition. These makes a optimum conditions for the electro-polishing as 4000 A, 9 V, 1.7 specific gravity of electrolyte, and 30 minute of electro-polishing time. It makes the surface roughness as Ra < $0.25{\mu}m$. XPS test resulted as the ratio of CrO/FeO equals or more to 3/1. AES test resulted as the thickness of CrO film of $38{\AA}$. DTA test resulted as the tube did not react with $N_2,\;H_2\;and\;O_2$ gas below 1073K. As summarize above results, the electro- polished 316L stainless steel welding tube satisfied the conditions to apply as a pipeline for semi- conductor production facility and clean room.

모터팬 방진고무부품의 노화수명 예측 (Prediction of Useful Life by Heat Aging of Motor Fan Isolating Rubber)

  • 김완수;우창수;조상준;김완두
    • Elastomers and Composites
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    • 제37권2호
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    • pp.107-114
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    • 2002
  • 청정실(Clean room)에 사용되는 환기팬용 모터의 방진고무부품의 수명을 예측하기 위해서 가속 열 노화 시험을 수행하였다. 방진고무부품은 EPDM으로 만들었다. 노화 수명을 판단하기 위한 한계점을 20%의 압축 영구 줄음률로 하여 절대 온도의 역수 값으로 아레니우스 선도를 유도하였다. 아레니우스 관계식으로부터 방진고무부품의 다양한 온도에서의 수명과 활성화에너지를 구하였다. 그리고 수명을 판단하는데 있어 상당한 시간을 대체할 수 있는 가속 시험법을 설계하였다. 또한 방진고무부품에 첨가되는 노화 방지제가 수명에 미치는 영향을 알아보았다.

반도체 클린룸용 증기가습 및 수분무가습 외기공조시스템의 에너지소비량 비교연구 (Comparative Study on Energy Consumption in Steam-Humidification- and Water-Spray-Humidification-Type Outdoor Air-Conditioning Systems for Semiconductor Manufacturing Clean Rooms)

  • 김형태;송근수;김기철;유경훈;손승우;신대건;박덕준;권오명
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제35권12호
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    • pp.1249-1255
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    • 2011
  • 최근의 반도체 제조용 대규모 클린룸에서는 도입 외기를 가열가습 및 냉각감습하는 외기공조시스템의 에너지소비량이 클린룸 환경을 유지하기 위해 필요한 전체 공조에너지의 약 45 %를 차지하고 있다. 특히 동기(겨울철)의 경우 외기를 가습하기 위한 에너지소비량은 매우 높다. 따라서 에너지절감을 통한 제조비용 절감 및 온실가스 감축을 위해 외기부하와 관계되는 공조에너지의 사용효율 증대 및 철저한 사용합리화가 요구되고 있다. 따라서 반도체 클린룸용 외기공조시스템의 핵심 가습방식인 증기가습과 수분무가습 방식에 대한 소비전력량을 분석하는 것은 에너지절약적 측면에서 상당히 가치가 있다고 판단된다. 본 연구에서는 전극봉식 가습기에 의한 증기가습방식 및 에어와셔에 의한 수분무가습방식 외기공조시스템들의 공조프로세스 및 소비전력량을 외기량 1000 $m^3$/h의 경우 기흥지역의 동기 및 하기의 피크부하에 대해 비교하는 실험을 수행하였다. 실험결과들로부터 에어와셔 수분무가습 외기공조시스템이 전극봉식 증기가습 외기공조시스템보다 연간 소비전력량이 적어서 에너지절약적임을 보여주었다.

장비 구동부품 기인 Particle 평가를 위한 마모측정기의 개발에 관한 연구 (A Study of Developing Wear Tester to Measure and Minimize Particle Levels in Cleanroom)

  • 박광희;노권학;장성호;이종환;차영철;전해등
    • 산업경영시스템학회지
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    • 제36권2호
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    • pp.1-7
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    • 2013
  • Cleanroom could be largely classified into industrial cleanroom that can be contaminated by particles and bio-cleanroom that can be contaminated by biological particles. Electrical manufacturing companies producing precision machines and electrical parts essentially have industrial cloom facilities and clean technologies to produce defects free products due to particles. Industrial cleanroom should be controlled in respect of 4M1E to prevent from foreign materials of sub-micro unit and to keep out contamination sources from outside. In this paper, a concept for a quantitative methodology to measure the particles from running components was suggested by combining both newly making clean booth such as wear tester and laser particle counter.

대용량 폐열회수 PDC청정 환기시스템용 열교환 소자의 기계적 특성 (Mechanical Properties of Heat Exchanger Element with Higher Capacity Waste Heat Recovery PDC Clean Ventilation System)

  • 안석환;남기우;안병현;김동규;정석권
    • 동력기계공학회지
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    • 제13권5호
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    • pp.67-75
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    • 2009
  • Recently, the higher capacity waste heat recovery PDC clean ventilation system has a tendency which is increasing due to the excellent energy reduction in factory, big building, and so on. This system was developed to complement the room environment which is deteriorated. However, the researches and technologies about this system were not well studied. Specially, the characteristic for heat exchanger element used to this system were not well known. Therefore, this study was carried out to evaluate the mechanical properties of the heat exchanger element as the core parts compose of this system. From results, tensile strength and elongation of the plate type heat exchanger element had about 10.11~14.32 kgf/$mm^2$ and 8.0~16.2%, respectively.

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