• 제목/요약/키워드: chloropolysilanes (CPS)

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무정형 또는 다결정성 규소를 위한 하이드로폴리실란의 합성과 물성 분석 (Synthesis and property analysis of hydropolysilanes for amorphous and polycrystalline silicon)

  • 안선아;이성환;송영상;이규환
    • 분석과학
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    • 제24권2호
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    • pp.105-112
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    • 2011
  • 태양전지용 박막 규소나 차세대 반도체용 박막트랜지스터의 원료로 사용 가능한 하이드로폴리실란의 합성과 물성 분석에 관한 연구이다. 이러한 하이드로폴리실란을 유기 치환기가 없는 사염화규소를 사용하여 합성한 것이 가장 큰 특징이며, 일반적으로 알칼리금속을 사용한 환원법으로 유기용매에 가용성인 하이드로폴리실란을 합성하는 최적 조건을 확립하고자 하였으며 하이드로폴리실란 용액은 그 물성을 여러 가지 분석 방법을 사용하여 조사하였으며 또한 열분해 실험을 통해 무정형 또는 다결정성 규소로 전환시킬 수 있음을 확인하였다.