• 제목/요약/키워드: chemical vapor synthesis (CVS)

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화학기상합성에 의해 제조된 $n-TiO_2$ 분말의 분말특성 (Powder Characteristics of $n-TiO_2$ Powder Synthesized by Chemical Vapor Synthesis)

  • 김혜경
    • 한국분말재료학회지
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    • 제6권3호
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    • pp.238-245
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    • 1999
  • The preparation of $n-TiO_2$ powder by the Chemical Vapor Synthesis process (CVS) was studied using the liquid metal organic precursor (TTIP). The residence time and the collection methods were considered as main processing variables through the experiments. The CVS equipment consisted of a micropump and a flashvaporizer, a tube furnace and a tubular collection device. The synthesis was performed at $1000^{\circ}C$ with various sets of collection zone. The residence time and the total system pressure were controlled in the range of 3~20 ms and 10 mbar, respectively. Nitrogen adsorption, X-ray diffraction and electron microscopy were used to determine particle size, specific surface area and crystallographic structure. The grain size of the as-prepared $n-TiO_2$ powder was in the range of 2~8 nm for all synthesis parameters and the powder exhibited only little agglomeration. The relationship between particle characteristics and the processing variables is reviewed based on simple growth model.

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텅스텐이 도핑된 티타니아 나노분말의 화학기상합성 및 광촉매 활성 (Tungsten-Doped Titania Nanopowders - Their Chemical Vapor Synthesis and Photocatalytic Activity)

  • 박보인;강계명;지현석;송봉근;박종구;조소혜
    • 한국가스학회지
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    • 제16권6호
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    • pp.143-147
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    • 2012
  • 티타니아($TiO_2$) 나노분말의 우수한 광촉매 활성은 이를 친환경 소재로서 많은 주목을 받도록 하였다. 특히, 최근 들어 이러한 $TiO_2$의 광촉매 활성을 향상시키기 위하여 $TiO_2$ 나노분말에 금속 혹은 비금속 원소를 도핑하는 방법이 널리 시도되고 있다. 화염법, 화학기상합성법, 졸-젤법, 공침법, 이온 주입법 등 다양한 방법들이 사용되고 있으며 합성법에 따라 원소들의 도핑 거동이 달라지므로 $TiO_2$의 전자구조 및 표면성질들이 합성법의 영향을 받게 되며 광촉매 활성 역시 달라진다. $TiO_2$의 광촉매 활성은 합성법 자체에 영향을 받는 것 외에 후속의 열처리에 의해서도 달라질 수 있다. 본 연구에서는 우수한 광촉매 활성을 가진 $TiO_2$ 나노분말 소재를 제조하기 위하여 화학기상합성법(chemical vapor synthesis, CVS)으로 텅스텐(W) 원소가 도핑된 $TiO_2$ 나노분말을 제조하고 물성 및 광촉매 특성을 조사하였다. 일부의 $TiO_2$ 나노분말은 $300^{\circ}C{\sim}700^{\circ}C$ 범위에서 열처리한 후 물성 및 광촉매 특성의 변화를 조사하였다.

화학기상공정을 이용한 나노질화알루미늄 분말 합성 (Synthesis of Nano-size Aluminum Nitride Powders by Chemical Vapor Process)

  • 피재환;박종철;김유진;황광택;김수룡
    • 한국분말재료학회지
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    • 제15권6호
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    • pp.496-502
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    • 2008
  • Aluminum nitride (AlN) powders were prepared by the chemical vapor synthesis (CVS) process in the $AlCl_{3}-NH_{3}-N_{2}$ system. Aluminum chloride ($AlCl_3$) as the starting material was gasified in the heating chamber of $300^{\circ}C$. Aluminum chloride gas transported to the furnace in $NH_{3}-N_{2}$ atmosphere at the gas flow rate of 200-400ml/min. For samples synthesized between 700 and $1200^{\circ}C$, the XRD peaks corresponding to AlN were comparatively sharp and also showed an improvement of crystallinity with increasing the reaction temperature. In additions, the average particle size of the AlN powders decreased from 250 to 40 nm, as the reaction temperature increased.