Reactor design considerations over several critical parameters for a planar type reactive ion etcher are given. The etch uniformity is taken as a principal design constraint. The characteristics of economicaly available vacuum pumping system are taken as practical design constraints. A set of theoretical conditions on the chamber geometry and on the gas delivery and vacuum system, that satisfy the design constraints, are derived from basic properties of RF glow discharge and gas dynamics. The theoretical results are applied to decide design parameters of a practical single-wafer-per-chamber planar type reactive ion etching machine.
Computational study has been performed to observe the flow characteristics of combustion chamber for geometrical modification in municipal solid waste incinerator. A series of geometrical modification has been carried out as an attempt to reduce the size of recirculation zone, to obtain uniform flow field in the secondary combustion chamber and to improve the mixing of combustion gas. Two dimensional non-reacting turbulent flow has been studied as the first step to get such goals and the result of design optimization is presented. In addition, three dimensional non-reacting and reacting flow analyses were performed to verify the validity of two dimensional approach.
An unstructured grid finite-volume method has been applied to predict the linear and nonlinear attenuation characteristics of the expansion chamber silencer system. In order to achieve a grid flexibility and a solution adaptation for geometrically silencer system. In order to achieve a grid flexibility and a solution adaptation for geometrically complex flow regions associated with the actual silencers, the unstructured mesh algorithm in context with the node-centered finite volume method has been employed. The present numerical model has been validated by comparison with the analytical solutions and the experimental data for the acoustic field of the concentric expansion chamber with and without pulsating flows, as well as the axisymmetric blast flowfield with open end. Effects of the chamber geometry on the nonlinear wave attenuation characteristics is discussed in detail.
구조가 복잡한 챔버의 온도분포와 유속변화를 연구하였다. 압축성 혹은 비압축성 유체, 층류 혹은 난류의 유속변화를 모델링 할 수 있는 FLUENT 프로그램으로 모사실험을 하였다. 챔버의 구조는 매우 복잡하여 단순화한 구조를 표준 $\kappa-\varepsilon$ 모델과 RNG $\kappa-\varepsilon$ 난류 모델 모사 실험하였다. 평가지역의 온도편차가 적은 것이 중요하다. 본 연구에서 얻은 챔버 내부의 온도분포와 유속변화 자료를 챔버의 제어 알고리즘을 향상하는 제공하였다. 개선된 제어 알고리즘을 이용하여 실제계에 적용한 결과 평가지역의 온도편차가 매우 개선되었다.
An experimental study was carried out to obtain the fundamental data about the effects of radical ignition on premixture combustion. A CVC(constant volume combustor) divided into the sub-chamber and the main chamber was used. Numerous narrow passage holes are arranged between the main chamber and the sub-chamber. The products including radicals generated by spark ignition in tile sub-chamber derives the simultaneous multi-point ignition in the main chamber. We have examined the effects of the sub-chamber volume, the diameter and number of passage holes, and the equivalence $ratio({\Phi})$ on the combustion characteristics by means of burning pressure measurement and flame visualization. In a CVC, the overall burning time including the ignition delay became very short and the maximum burning pressure was slightly increased by the radical ignition(RI) method in comparison with those by the conventional spark ignition(SI) method. Combustible lean limit by RI method is extended by ${\Phi}=0.25$ compared with that by SI method. Also, In cases of charging the number and the diameter for the fixed total cross section of the passage holes, combustion period increased significantly at a sub-chamber with a single hole, but those of the other conditions had almost a similar tendency in the sub-chamber with 4 or more holes. regardless of equivalence ratio. Therefore, it was Proved that a critical cross section exists with the number of passage holes.
Atomized liquid jets from the washing nozzle which configured with recirculation chamber for cleaning hot-zone area are accelerated and impinged on the head lamp surface. Cleaning efficiency of head lamp can be increased with injecting washing fluids into the hot-zone area. Experimental and numerical studies with various design parameters were executed to reveal the relations between internal geometry and internal flow in the washing nozzle. Spray structures were fitted with each of the head lamp surfaces and spray nozzles were optimized to the spray pattern. The recirculation chamber induces a recirculation flow and can be decreased the pressures perturbation inside the chamber. Orifice determines the mass flow rate. When the diameter of orifice is excessively large, it showed an unstable spray pattern. As a nozzle exit angle increases, density distributions are separated with two section. Also, as a protrusion length of nozzle exit increases, spray patterns are spread into a large area and density distributions showed unstable trend.
The rapid decrease of fossil fuel resources and increase of environmental pollution caused by aviation industries have become a severe issue which leads to an increase in the greenhouse effect. The use of biofuel becomes an option to alleviate issues related to unrenewable resources. This study presents a computational simulation of the biofuel combustion characteristics of various alternative fuels in an annular combustion chamber designed for training aircraft. The biofuels used in this study are Sorghum Oil Methyl Ester (SOME), Spirulina Platensis Algae (SPA) and Camelina Hydrotreated Esters and Fatty Acids (CHEFA). Meanwhile, Jet-A is used as a baseline fuel. The fuel properties and combustion characteristics are being investigated and analysed. The results are presented in terms of temperature and pressure profiles in addition to the formation of NOx and soot generated from the combustion chamber. Results obtained show that CHEFA fuel is the most recommended biofuel among all four tested fuels as it is being found that it burns with 37.6% lower temperature, 15.2% lower pressure, 89.5% lower NOx emission and 8.1% lower soot emission compared with the baseline fuel in same combustion chamber geometry with same initial parameters.
A study to investigate the influence of combustion chamber shape, especially piston top face configuration, on the combustion stability is presented with CFD analysis and single cylinder GDI engine test. Initial configuration of the piston bowl was designed with CFD analysis and further parametric studies of the design factors on the piston top face were carried out through the single cylinder GDI engine test. It was found that both the geometry of piston top face and the compression ratio have great influences on the combustion stability. Of interest is that the design factors of the GDI piston to prevent mixture diffusion out of the piston bowl have important roles for the stable combustion at the stratified mixture condition. Also the relationship between spray impingement and flow pattern in a GDI piston bowl should be considered to design an optimal bowl configuration for stable stratified combustion.
The effects of the internal flow in a D.I. Diesel injection nozzle on the atomization of a spray were analyzed experimentally. Flow visualization studies were made using a transparent acrylic model nozzle as a diesel nozzle . Water instead of disel fuel was used as the injection liquid. The geometry of the model nozzle was scaled up 10 times of the actual nozzle and the injection pressure for the model nozzle was adjusted so as to achieve a Reynolds number at the discharge hole that was the same as the actual nozzle. Experimental results show that when the needle lift was small, the high turbulence in the sac chamber generated by the high velocity seat flow made the spread angle of the spray plume large. Cavitation, which arose from the sac chamber, makes the spread angle of the spray plume large but the discharge coefficient small.
Transmission loss of the simple expansion chamber with multiple inlet and outlet ports is obtained. Transfer matrices which represent the relation between the power variables(pressure and velocity) of inlets and outlets depend on the input relatons as well as the acoustic system parameters(i.e. geometry of the chamber, wall admittance, etc.). The analysis has been performed analytically, including the effects of higher order modes for the 2-inlet/1-outlet, 1-inlet/2-outlet and 2-inlet/2-outlet systems. This study yeilds that phase difference between the inlet ports can significantly increase the transmission loss in low frequency range.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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