• 제목/요약/키워드: carrier gas

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DC 마그네트론 스퍼트링법으로 제조한 ZnO:N,Al 박막의 전기적 특성에 관한연구 (Electrical properties of AZO transparent conductive oxide with substrate bias and $H_2$ annealing)

  • 유연연;소병문;박춘배
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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    • pp.303-304
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    • 2008
  • Al, N-codoped ZnO(ZnO:N,Al) thin films were deposited on n-type Si(100) substrate at $450^{\circ}C$ with various conditions of ambient gas$(N_2:O_2)$ by DC magnetron sputtering method using ZnO:$Al_2O_3$(2wt%) as a target, and then were annealed at 500, 700, $800^{\circ}C$ in $N_2$ gas for one hour. XRD patterns showed that all of the ZnO:N,Al thin films annealed at $80^{\circ}C$ grew with two peaks, which means poor crystallinity of the thin films deposited. Hall effects in Van der Pauw configuration proved that after annealing the films deposited showed low resistivity and high carrier concentration. While the films annealed at $800^{\circ}C$ showed low resistivity of $\sim10^{-2}\Omega$ cm and high carrier concentration of $\sim10^{19}cm^{-3}$.

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산소 가스 유량비 변화에 따른 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구 (A Study on the Electrical Properties of ITO Thin Films with Various Oxygen Gas Flow Rate)

  • 최동훈;금민종;전아람;한전건
    • 한국표면공학회지
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    • 제40권3호
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    • pp.144-148
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    • 2007
  • To prepare the transparent electrode for electronic devices such as flat panel or flexible displays, solar cells, and touch panels; tin doped $In_2O_3$ (ITO) films with low resistivity and a high transparency were fabricated using a facing target sputtering (FTS) system at the various oxygen gas flow rate. The carrier concentration and mobility of ITO films were measured by Hall Effect measurement. And the transmittance was measured using the UV-VIS spectrometer. As a result, we can obtain the ITO thin films prepared at 10% oxygen gas flow ratio, thickness 150 nm with transmittance 85% and resistivity $8.1{\times}10^{-4}{\Omega}cm$ and surface roughness 5.01 nm.

매체순환식 가스연소기용 대량생산입자의 연료별 환원반응특성 (Reduction Characteristics of Mass Produced Particle for Chemical-Looping Combustor with Different Fuels)

  • 류호정;김경수;이승용;박영성;박문희
    • 한국수소및신에너지학회논문집
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    • 제19권4호
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    • pp.348-358
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    • 2008
  • Reduction reactivity and carbon deposition characteristics of mass produced oxygen carrier particle(OCN-650) have been investigated by using hydrogen, methane, syngas, and natural gas as fuels. For all fuels, the maximum conversion and oxygen transfer capacity increased as the temperature increase. The reduction rate and the oxygen transfer rate increased as the temperature increase for methane. However, those values showed maximum at 900$^{\circ}C$ for hydrogen, syngas, and natural gas. To explain consistently the change of maximum conversion, reduction rate, oxygen transfer capacity, oxygen transfer rate and degree of carbon deposition for different fuels, new parameters such as reactive carbon contents and require oxygen per input gas were adopted.

Characterization of Spherical NiO-YSZ Anode Composites for Solid Oxide Fuel Cells Synthesized by Ultrasonic Spray Pyrolysis

  • Lim, Chae-Hyun;Lee, Ki-Tae
    • 한국세라믹학회지
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    • 제51권4호
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    • pp.243-247
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    • 2014
  • Spherical NiO-YSZ particles were synthesized by ultrasonic spray pyrolysis (USP). The morphology of the synthesized particles can be modified by controlling parameters such as precursor pH, carrier-gas flow-rate, and temperature of the heating zone. The synthesized spherical NiO-YSZ particles have rough surface morphology at high carrier-gas flow-rates due to rapid gas exhaustion and insufficient particle ordering. The Ni-YSZ cermet anode synthesized by ultrasonic spray pyrolysis at a flow rate of l L/min, with precursor solution at pH4, showed a higher maximum power density of 256 $mW/cm^2$ compared to a conventionally mixed Ni-YSZ anode (185 $mW/cm^2$) at $800^{\circ}C$. While the area-specific resistance of conventionally mixed Ni-YSZ anodes increases gradually with operation time (indicating performance degradation), the Ni-YSZ anode synthesized by USP does not exhibit any performance degradation, even after 500 h.

반도체 제조산업중 웨이퍼 건조공정의 청정기술 적용을 위한 연구 (Development of environmentally sound technology for the wafer drying system)

  • 장인성;김재형
    • 청정기술
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    • 제4권1호
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    • pp.68-75
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    • 1998
  • 반도체 소재인 웨이퍼의 세정공정중 마지막 단계인 건조공정을 환경친화적인 공정으로 개발하기 위한 연구를 수행하였다. IPA(Isopropyl Alcohol)를 기화시키는 증기발생실과 웨이퍼를 건조하는 공정실로 구분하여 시스템을 설계하고 이를 이용하여 건조실험을 실시하였다. 건조효율에 가장 큰 영향을 미치는 인자는 질소중의 IPA 농도로 나타났으며, 동일한 건조효율을 얻기 위해서 IPA의 사용량이 기존건조기보다 적은 것으로 나타났으며, 웨이퍼 표면이 수분과 산소로부터 차단되기 때문에 생산되는 웨이퍼의 입자오염이 감소하는 결과를 나타냈다.

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초음파에 의해 무화된 슬릿제트화염의 연소특성에 대한 수송기체 유량의 영향 (Effects of the Carrier-gas Flow-rate on the Combustion Characteristics of the Ultrasonically-atomized Slit-jet Flame)

  • 김민성;배대석;김정수
    • 한국추진공학회지
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    • 제20권3호
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    • pp.9-16
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    • 2016
  • 초음파 진동자에 의해 미립화된 탄화수소계 액체연료 분사화염의 연소특성을 고찰하기 위한 실험이 수행되었다. 초고속카메라를 이용하여 미립화된 액체연료의 화염형상을 획득하였고, 이미지 후처리를 통해 화염의 구조와 거동을 면밀히 분석하였다. 또한 정밀유량계측법을 이용하여 연소반응 시 소모된 연료량도 측정하였다. 그 결과, 수송기체 유량이 증가하면 무화된 연료의 분사량도 같이 증가하였으나, 공연비(air/fuel ratio)와 수송기체 유량의 상관성은 관찰되지 않았다. 화염면적은 공연비 보다는 연료의 분사량과 진동자 인가전력에 종속하였으며, 화염면적의 FFT 분석을 통해 생성화염의 진동특성도 고찰하였다.

뫼스바우어 분광법에 의한 Fe-나노입자의 탄화물 코팅에 관한 연구 (Studying Carbon Coating on the Surface of Nano-sized Fe Particle by Mössbauer Analysis)

  • 오세진;최철진;김진천;권순주;진상호
    • 한국자기학회지
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    • 제15권3호
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    • pp.172-176
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    • 2005
  • 화학기상응축법(CVC)에 의한 제조된 네 개의 나노-Fe 입자 시료들이 뫼스바우어, XRD, BET와 TEM에 의하여 조사되었다. 네 개의 시료들은 고순도 이송가스와 분해온도에 의해 구성이 되었다. 각 시료를 구성하고 있는 입자들은 2 또는 3층구조로 형성되었음을 TEM분석으로 알 수 있었다. 평균입도의 경우에는 분해온도에 정비례하는 특성을 보여 주었다. 분해온도가 $500^{\circ}C$일 경우에, 이송가스를 CO로 사용하게 되면 $Fe_3C$의 형성이 $CH_4$보다 용이한 것으로 나타났다. 그러나 $1,100^{\circ}C$의 경우에는, CO와 $CH_4$모두에서 $Fe_3C$의 형성이 대부분을 차지하고 있는 것으로 나타났다.

Slit-jet 노즐을 통해 분사되는 초음파 무화 액체연료 화염의 형성 (Flame Formation of Ultrasonically-atomized Liquid-fuel Injected through a Slit-jet Nozzle)

  • 김민성;김정수
    • 한국추진공학회지
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    • 제21권1호
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    • pp.17-25
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    • 2017
  • 초음파 진동자에 의해 미립화된 탄화수소계 액체연료를 태우는 버너의 연소특성을 고찰하기 위한 실험이 수행되었다. 고속카메라와 열화상 카메라를 이용하여 slit-jet 버너에서 생성된 화염의 이미지를 획득하였으며, 후처리를 통해 화염의 형상과 온도구배를 면밀히 분석하였다. 또한, 정밀유량 계측법을 이용하여 수송기체 실험조건 변화에 따른 연료소모량을 측정하였다. 그 결과, 수송기체 유량이 증가하면 무화된 연료의 분사량도 같이 증가한다는 사실을 확인하였으나, 낮은 유량 조건에서는 주변 장치의 진동에 의해 공연비(air/fuel ratio)와 수송기체 유량의 상관성이 관찰되지 않았다. 또한, 수송기체 유량과 초음파진동자의 소비전력이 증가하면 연소반응이 촉진되어 연소영역이 신장되고 화염온도가 증가하였다.

기체크로마토그래프-질량분석기의 실리콘 분리막 인터페이스의 유용성 연구 (Feasibility study of membrane interface for gas chromatograph-mass spectrometry)

  • 강길선;이동수;이화심;박창준
    • 분석과학
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    • 제21권6호
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    • pp.495-501
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    • 2008
  • GC-MS 의 기존 인터페이스와 새로운 인터페이스의 차이점과 유용성을 판단하기 위하여 Agilent 5973 GC-MS의 capillary direct interface를 떼어내고 GC와 질량분석기 사이에 실리콘 membrane을 장착하여 membrane interface GC-MS의 분석 유용성을 조사하였다. 최대 $4.7m{\ell}/min$ 까지 헬륨 운반기체유량을 올릴 때 질량분석기의 진공도는 거의 영향을 받지 않으며, 피이크끌림 현상이 줄어들고 머무른시간이 줄어드는 빠른 분석을 보였다. Membrane 의 두께를 $127{\mu}m$에서 $75{\mu}m$으로 줄일 때 분리능이 향상 되며, membrane interface의 온도를 올릴 때 분리능과 감도가 향상되었다. 그러나 membrane interface GCMS는 질량/전하 비 73, 147에서 바탕이온이 발생하는 것과 기존의 capillary direct insertion interface보다 낮은 감도와 peak tailing에 의한 낮은 분리능의 문제점을 갖는다.

산소공여입자에 의한 석탄의 직접연소 특성 (Direct Combustion Characteristics of Coal by Oxygen Carrier)

  • 류호정;이충원;이동호;배달희;이승용;박영성
    • 한국수소및신에너지학회논문집
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    • 제25권1호
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    • pp.87-96
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    • 2014
  • Direct combustion characteristics of coal and oxygen carrier were measured in the thermogravimetric analyzer using four coals and two different oxygen carriers. The direct combustion efficiency decreased in order of Roto, Kideco, Sunhwa and Hyper coal for both oxygen carriers. Moreover, OCN703-1100 oxygen carrier showed better combustion efficiency than OCN706-1100 oxygen carrier for all four coals. The reduction characteristics of two oxygen carriers for $CH_4$, CO and $H_2$ gases were measured in the thermogravimetric analyzer to investigate why OCN703-1100 oxygen carrier showed better combustion efficiency than OCN706-1100 for all coals. The OCN703-1100 oxygen carrier represented higher reduction rate than OCN706-1100 for all reducing gases. Moreover, the total pore area and the porosity of OCN703-1100 were higher than those of OCN706-1100 oxygen carrier. The total volatile gas and volatile components of four coals were measured in a batch type fluidized bed reactor to investigate why the direct combustion efficiency decreased in order of Roto, Kideco, Sunhwa and Hyper coal for both oxygen carriers. The direct combustion efficiency was proportional to the total amount of ($CH_4+CO+H_2$) produced during devolatilization of coals.