• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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• pp.267-267
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• 2012

최근 국내 반도체 장비 업체들에 의해서 차세대 반도체용 450 mm 웨이퍼 공정용 장비 개발이 진행 중에 있다. 반도체 산업은 계속해서 반도체 칩의 크기를 작게 하고, 웨이퍼 크기를 늘리면서 웨이퍼 당 칩수를 증가시켜 생산성을 향상해오고 있다. 현재 300 mm 웨이퍼에서 450 mm 웨이퍼를 도입하게 되면, 생산성 뿐만 아니라 30%의 비용절감과 50%의 cycle-time 단축이 기대되고 있다. 장비에 대한 이해와 공정에 대한 해석 능력을 위해 비용과 시간이 많이 들기 때문에 최근 컴퓨터를 활용한 수치 모델링이 진행되고 있다. 또한, 수치 모델링은 실험 결과와의 비교가 필수적이다. 본 연구에서는 450 mm 웨이퍼 공정용 장비의 전자밀도를 cut off probe를 통해 100 mTorr에 서 Ar 플라즈마를 파워에 따라 측정했다. 13.56 MHz 200 W, 500 W, 1,000 W로 입력 파워가 증가하면서 웨이퍼 중심에서 $6.0{\times}10^9#/cm^3$, $1.35{\times}10^{10}#/cm^3$, $2.4{\times}10^{10}#/cm^3$로 증가했다. 450 mm 웨이퍼 영역에서 전자 밀도의 불균일도는 각각 10.31%, 3.24%, 4.81% 였다. 또한, 이 450 mm 웨이퍼용 CCP 장비를 축대칭 2차원으로 형상화하고, 전극에 13.56 MHz를 직렬로 연결된 blocking capacitor ($1{\times}10^{-6}$ F/$m^2$)를 통해 인가할 수 있도록 상용 유체 모델 소프트웨어(CFD-ACE+, EXI corp)를 이용하여 계산하였다. 주요 전자-중성 충돌 반응으로 momentum transfer, ionization, excitation, two-step ionization을 고려했고, $Ar^+$와 $Ar^*$의 표면 재결합 반응은 sticking coefficient를 1로 가정했다. CFD-ACE+의 CCP 모델을 통해 Poisson 방정식을 풀어서 sheath와 wave effect를 고려하였다. Stochastic heating을 고려하지 않았을 때, 플라즈마 흡수 파워가 80 W, 160 W, 240 W에서 실험 투입 전력 200 W, 500 W, 1,000 W일 때와 유사한 반경 방향의 플라즈마 밀도 분포를 보였다. 200 W, 500 W, 1,000 W일 때의 전자밀도 분포는 수치 모델링과 전 범위에서 각각 10%, 3%, 2%의 오차를 보였다. 450 mm의 전극에 13.56 MHz의 전력을 인가할 때, 파워가 증가할수록 전자밀도의 최대값의 위치가 웨이퍼 edge에서 중심으로 이동하고 있음을 실험과 모델링을 통해 확인할 수 있었다.

• The Korean Journal of Physiology and Pharmacology
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• 제21권2호
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• pp.169-177
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• 2017

Lamotrigine is an antiepileptic drug widely used to treat epileptic seizures. Using whole-cell voltage clamp recordings in combination with a fast drug application approach, we investigated the effects of lamotrigine on 5-hydroxytryptamine $(5-HT)_3$ receptors in NCB-20 neuroblastoma cells. Co-application of lamotrigine ($1{\sim}300{\mu}M$) resulted in a concentration-dependent reduction in peak amplitude of currents induced by $3{\mu}m$ of 5-HT for an $IC_{50}$ value of $28.2{\pm}3.6{\mu}M$ with a Hill coefficient of $1.2{\pm}0.1$. These peak amplitude decreases were accompanied by the rise slope reduction. In addition, $5-HT_3$-mediated currents evoked by 1 mM dopamine, a partial $5-HT_3$ receptor agonist, were inhibited by lamotrigine co-application. The $EC_{50}$ of 5-HT for $5-HT_3$ receptor currents were shifted to the right by co-application of lamotrigine without a significant change of maximal effect. Currents activated by 5-HT and lamotrigine co-application in the presence of 1 min pretreatment of lamotrigine were similar to those activated by 5-HT and lamotrigine co-application alone. Moreover, subsequent application of lamotrigine in the presence of 5-HT and 5-hydroxyindole, known to attenuate $5-HT_3$ receptor desensitization, inhibited $5-HT_3$ receptor currents in a concentration-dependent manner. The deactivation of $5-HT_3$ receptor was delayed by washing with an external solution containing lamotrigine. Lamotrigine accelerated the desensitization process of $5-HT_3$ receptors. There was no voltage-dependency in the inhibitory effects of lamotrigine on the $5-HT_3$ receptor currents. These results indicate that lamotrigine inhibits $5-HT_3$-activated currents in a competitive manner by binding to the open state of the channels and blocking channel activation or accelerating receptor desensitization.

• 한국대기환경학회지
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• 제7권3호
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• pp.169-179
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• 1991

Atmospheric $O_3$ in the biosphere is formed under the favourable meteorological condition, when the primary pollutants, such as $NO_2, HC, CO, CH_4$, etc., react with over constituents. Observed annual average concentrations for 1989 and 1990 were 11.8 and 10.4 ppb, respectively. THe number of days measured ozone over 80 ppb in Seoul were 36 in 1989 and 39 in 1990. In general, monthly maximum values occurred in May and August. In comparison with 1 $\sim$ 2 maxima of $O_3$ distribution in large cities in other countries, it was found that there were 3 $\sim$ 4 maxima in Seoul and its suburbs. Topographic effects, resulted by wind channelling in the Han River valley and by the blocking of air pollutants in the mountain, appeared to produce multiple centres of $O_3$ maxima in Seoul. Surface $O_3$ values were low with decreasing solar radiation, when the cloudiness increased and precipitation occurred. According to 12 cases examined, 2 cases shown here, $O_3$ values exceeding 80 ppb were occurred when the Korean peninsular was under the influence of the backside airflows with high intensity of solar radiation. Occasionally, sea breezes were observed to occur in warm seasons, and the chanelling effect of the Han River valley appeared to increase the general wind (speed) to the east side of Seoul. In this meso-scale situation $O_3$ in downwind is highly correlated with precursors. The sea breeze of 2 $\sim$ 4 m $s^{-1}$ will take 3 $\sim$ 5 hours to transport photochemical precursors for 20 $\sim$ 50 km. In turn the areas of maximum $O_3$ occurrence in Seoul are in the range of meso-scale transport of air pollutants.

• 한국임상약학회지
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• 제23권4호
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• pp.322-326
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• 2013

Purpose: Telmisartan, an angiotensin receptor blocker has been known to be a potent blocker of both CYP2J2 and P-glycoprotein (P-gp) in vitro. This study aims to investigate the drug-drug interactions between telmisartan and ebastine, a CYP2J2 and P-gp substrate in rats. Method: Ebastine (10 mg/kg) was orally given in the presence and absence of telmisartan (4 mg/kg, p.o.). Heparinized blood was serially taken and the plasma concentrations of ebastine and its three metabolites (hydroxyebastine, carebastine and desalkylebastine) were determined using LC-MS/MS, and their pharmacokinetic parameters were compared. Results: Peak concentrations ($C_{max}$) and AUC of ebastine were significantly (p<0.05) increased in the presence of telmisartan by 2.1 and 1.9 times, respectively. While $C_{max}$ of hydroxyebastine was significantly increased by 1.9 times, the half-life of hydroxyebasteine was decreased significantly with telmisartan (p<0.05). There was no change in the pharmacokinetic parameters of carebastine, the active metabolite of ebastine, and desalkylebastine was not detected in plasma. The systemic exposure of ebastine was significantly augmented by telmisartan, indicating that telmisartan may enhance the absorption of ebastine by blocking P-gp. Conclusion: Although telmisartan may also partially contribute to inhibit the biotransformation to hydroxyebastine, the inhibitory action seemed to be overridden by the enhancement of absorption, because the generation of hydroxyebastine was not diminished. In spite of such interactions between telmisartan and ebastine, no clinical consequence could be expected due to no significant change of the active metabolite, carebastine.

• 대한소아치과학회지
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• 제45권3호
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• pp.393-399
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• 2018

치과치료 중에 통증을 유발할 수 있는 요소를 차단함으로써 환자의 공포와 두려움을 줄여줄 수 있다. 이를 위해 벤조케인을 함유한 도포마취제가 광범위하게 사용되고 있다. 그러나, 2018년 5월 28일 식품의약품안전처는 의약품 안전 서한을 통해 24개월 미만의 소아 및 영아에서 벤조케인 함유 제제의 사용을 금지하고 그 이상의 경우라 하더라도 메트헤모글로빈혈증(Methemoglobinemia, MHb)의 발생가능성이 있으므로 신중한 사용을 권고하였다. 이는 지난 5월 23일 미국 식품의약국(Food and Drug Administration, FDA)의 권고의 후속 조치로 시행된 것이다. 벤조케인을 함유한 제제를 사용하는 경우, 치과의사는 MHb의 발생가능성을 반드시 고려해야 하며 MHb의 조기 진단과 적절한 조치가 시행될 수 있도록 준비하고 있어야한다. MHb의 치료제는 메틸렌블루가 1930년대부터 이용되고 있다. 치과의사는 메틸렌블루의 적절한 사용법과 용량을 숙지하고, MHb의 조기 진단을 위한 방법과 진단 장비에 익숙해야 한다. 무엇보다도 환자의 안전에 대한 적절한 대비와 훈련이 필요할 것이다.

• 한국과학교육학회지
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• 제17권2호
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• pp.179-189
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• 1997

In this study, a conceptual change model for effective laboratories was developed and its instructional effect on students' achievement, the acquisition of scientific conceptions, and the attitudes toward science was investigated. Considering several conceptual change models in literature and Korean educational situations, the conceptual change model was developed. The model consists of 5 stages; preliminary, prediction, exploration, consolidation and reconstruction, and application. The treatment and control groups (2 classes) were selected from a middle school in Seoul, and taught about the changes of states, density, and dissolution for three weeks. Prior to instruction, the Group Assessment of Logical Thinking and the Learning Approach Questionnaire were administered, and their scores were used as covariate and / or blocking variable. To examine students' alternative conceptions before the instructions, a pre-conceptions test was also administered. After the instructions, students' achievement, the acquisition of scientific conceptions, and the attitudes toward science were measured with a researcher-made achievement test, a post-conceptions test, and the subtests of the Test of Science-Related Attitudes, respectively. The results indicated that the score of the treatment group was significantly higher than that of the control group in the post-conceptions test. The students in the treatment group had also less alternative conceptions than those in the control group. However, there were no significant differences for the achievement and the attitudes toward science. Educational implications are discussed.

• 한국과학교육학회지
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• 제17권3호
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• pp.323-332
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• 1997

In order to use analog more systematically in science class, an instructional model was designed on the basis of analogical reasoning processes (encoding, inference, mapping, application, and response) in the Sternberg's component process theory. The model has five phases (introducing target context, cue retrieval of analog context, mapping similarity and drawing target concept, application, and elaboration), and the instructional effects of using the model upon students' comprehension of science concepts and motivation level of learning were investigated. The treatment and control groups (1 class each) were selected from 8th-grade classes and taught about chemical change and chemical reaction for the period of 10 class hours. The treatment group was taught with the materials based on the model, while the control group was taught in traditional instruction without using analog. Before the instructions, modified versions of the Patterns of Adaptive Learning Survey and the Group Assessment of Logical Thinking were administered, and their scores were used as covariates for students' conceptions and motivational level of learning, respectively. Analogical reasoning ability test was also administered, and its score was used as a blocking variable. After the instructions, students' conceptions were measured by a researcher-made science conception test, and their motivational level of learning was measured by a modified version of the Instructional Materials Motivation Scale. The results indicated that the adjusted mean score of the conception test for the treatment group was significantly higher than that of the control group at .01 level of significance. No significant interaction between the instruction and the analogical reasoning ability was found. Although the motivational level of learning for the treatment group was higher than that for the control group, the difference was found to be statistically insignificant. Educational implications are discussed.

• 융합보안논문지
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• 제16권2호
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• pp.25-34
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• 2016

이 연구는 소셜네트워크 분석(SNA: Social Network Analysis)기법을 활용하여 SNS상에서 위험한 인물들의 활동을 파악하고 그들의 불법행위에 대한 차단, 분리 또는 대응하여 큰 위협을 사전에 예방하는데 목적이 있다. SNA는 시스템적으로 많은 사람들의 개인정보와 관계를 분석하여 수사의 효과성과 효율성을 높이고 개인과 용의자와의 복잡한 사회적 관계를 찾아내어 어떻게 그들이 온라인상에서 만나 관계를 맺을 수 있었는지를 보여준다. 소셜네트워크는 전 세계 사람들이 거리와 지리적인 제약을 받지 않고 관계를 맺고 교류할 수 있고 엄청난 양의 정보 또한 공유가 가능케 될 만큼 빠르게 확산되었다. 세계적으로 많이 사용되고 있는 페이스북(Facebook)이나 트위터(Twitter) 같은 소셜네트워크 서비스(SNS: Social Network Service)를 이용한 범죄행위가 급증하고 있는 가운데 최근 테러리스트 그룹인 IS는 그들의 웹사이트를 통해서 자신들의 활동을 외부에 알리기도 하고 그들의 테러행위를 위한 모병활동도 하고 있다. 테러리스트 집단들은 소셜네트워크가 비교적 비용이 적게 들면서도 그들의 목적을 쉽게 달성 할 수 있기에 이를 많이 활용한다. 그러나 그 파급효과가 너무나 크기에 그들의 활동을 차단하는 것이 급선무이다. 따라서 이 연구는 소셜네트워크 상에서 범죄자나 테러리스트들의 활동에 대해 자세히 설명하고 어떻게 그들의 활동을 효과적으로 감지하고 차단하고 대응 할 수 있는지 보여준다. 그리고 앞으로 필요한 연구에 대해서도 제시한다.

• 공업화학
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• 제28권4호
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• pp.473-478
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• 2017

본 연구에서는 guanidine화합물인 1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]dec-5-ene (TBD)를 세 종류의 실리카 기공에 함침하여 $CO_2$ 흡착제를 제조하고 $CO_2$ 흡착성능과 물리화학적 특성을 조사하였다. 이때 실리카 내 TBD 함침량을 변화시켜 흡착능과 흡착제 특성도 살펴보았다. TBD를 함침시킨 담체의 물리화학적 특성은 질소 흡/탈착 실험, FT-IR, 원소분석, 열중량분석을 이용하였다. TBD를 담체에 함침시킨 전후를 비교하면 표면적과 기공의 부피, 크기가 감소하고 함침시킨 TBD 몰 수가 증가할수록 감소폭은 증가하였다. $CO_2$ 흡착능은 TBD 6 mmol/g일 때 7.3 wt%로 가장 높았으며 그 이상 TBD의 함침 몰 수가 증가하면 블로킹 현상 등으로 흡착능이 감소하였다.

• 분석과학
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• 제12권2호
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• pp.105-110
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• 1999

금속이 처리된 활성탄에 대한 물리 화학적 흡착특성과 항균효과에 대한 연구를 하였다. Cd 및 Cu가 처리된 활성탄에 관한 물리 흡착 연구로부터 대표적인 Type I의 등온곡선을 얻었다. 이들 금속이 처리된 활성탄의 BET 비표면적 값은 Cd-AC의 경우 $1101-1418m^2/g$의 사이에 분포하였으며, Cu-AC의 경우 $1084-1361m^2/g$의 범위에 분포하였다. 또한 흡착 등온곡선으로부터 ${\alpha}_s$-방법을 도입하여 미세 동공 부피 값과 대표적인 동공 크기 분포를 얻었다. SEM 연구로부터 활성탄의 많은 미세 동공들이 처리된 금속에 의하여 가리움 현상을 일으키는 것으로 나타났다. Escherichia coli에 대한 항균효과를 알아보기 위한 결과로부터 Cd와 Cu의 양을 증가시켜 처리함에 따라 항균 활성 면적이 증가함을 알 수 있었다.