Charaterization of GaN Films Grown on Si(100) by RF Magnetron Sputtering (RF magnetron sputtering 방법에 의해 Si(100) 기판 위에 성장된 GaN 박막의 특성에 대한 연구)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 2001.07a
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- pp.570-573
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- 2001