• 제목/요약/키워드: aperture variation

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AttPSM metal layer 리토그라피공정의 side-lobe억제를 위한 Rule-based OPC (Rule-based OPC for Side-lobe Suppression in The AttPSM Metal Layer Lithography Process)

  • 이미영;이홍주;성영섭;김훈
    • 대한전자공학회:학술대회논문집
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    • 대한전자공학회 2002년도 하계종합학술대회 논문집(2)
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    • pp.209-212
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    • 2002
  • As the mask design rules get smaller, the probability of the process failure becomes higher doc to the narrow overlay margin between the contact and metal interconnect layers. To obtain the minimum process margin, a tabbing and cutting method Is applied with the rule based optical\ulcorner proximity correction to the metal layer, so that the protection to bridge problems caused by the insufficient space margin between the metal layers can be accomplished. The side-lobe phenomenon from the attenuated phase shift mask with the tight design rule is analyzed through the aerial image simulation for test patterns with variation of the process parameters such as numerical aperture, transmission rate, and partial coherence. The corrected patterns are finally generated by the rules extracted from the side-lobe simulation.

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틸트 구동형 엑추에이터의 개발 (Development of 3-Axis Actuator for Active Tilt Compensation)

  • 이강녕;박세준;이동주;박노철;조원익;박영필
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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    • 한국소음진동공학회 2003년도 추계학술대회논문집
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    • pp.226-233
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    • 2003
  • There are many researches going on to develop the information storage devices using Blue-ray disc and DVD as a demand for high-density information storage devices is highly increasing. This high-density information storage device requires a short-wave laser and objective lens of high numerical aperture set in fer its operation. And, that brings out rapid decrease of tilt tolerance. Therefore, it is necessary that an actuator should control tilt motions to get a stable signal. In this paper, a new mathematical form of 3-D.O.F coupled model is formulated and magnetic circuit in constraints is most effectively designed with the use of the moving coil type actuator in higher sensitivity. Further, this paper presents a tilt coil whose rotational center point is put on that of the lens through the variation of tilt coil and proposes a 3-axis actuator with high sensitivity improved in its dynamic property through its structure analysis.

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Nonparaxial Imaging Theory for Differential Phase Contrast Imaging

  • Jeongmin Kim
    • Current Optics and Photonics
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    • 제7권5호
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    • pp.537-544
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    • 2023
  • Differential phase contrast (DPC) microscopy, a central quantitative phase imaging (QPI) technique in cell biology, facilitates label-free, real-time monitoring of intrinsic optical phase variations in biological samples. The existing DPC imaging theory, while important for QPI, is grounded in paraxial diffraction theory. However, this theory lacks accuracy when applied to high numerical aperture (NA) systems that are vital for high-resolution cellular studies. To tackle this limitation, we have, for the first time, formulated a nonparaxial DPC imaging equation with a transmission cross-coefficient (TCC) for high NA DPC microscopy. Our theoretical framework incorporates the apodization of the high NA objective lens, nonparaxial light propagation, and the angular distribution of source intensity or detector sensitivity. Thus, our TCC model deviates significantly from traditional paraxial TCCs, influenced by both NA and the angular variation of illumination or detection. Our nonparaxial imaging theory could enhance phase retrieval accuracy in QPI based on high NA DPC imaging.

Word-boundary and rate effects on upper and lower lip movements in the articulation of the bilabial stop /p/ in Korean

  • Son, Minjung
    • 말소리와 음성과학
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    • 제10권1호
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    • pp.23-31
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    • 2018
  • In this study, we examined how the upper and lower lips articulate to produce labial /p/. Using electromagnetic midsagittal articulography, we collected flesh-point tracking movement data from eight native speakers of Seoul Korean (five females and three males). Individual articulatory movements in /p/ were examined in terms of minimum vertical upper lip position, maximum vertical lower lip position, and corresponding vertical upper lip position aligned with maximum vertical lower lip position. Using linear mixed-effect models, we tested two factors (word boundary [across-word vs. within-word] and speech rate [comfortable vs. fast]) and their interaction, considering subjects as random effects. The results are summarized as follows. First, maximum lower lip position varied with different word boundaries and speech rates, but no interaction was detected. In particular, maximum lower lip position was lower (e.g., less constricted or more reduced) in fast rate condition and across-word boundary condition. Second, minimum lower lip position, as well as lower lip position, measured at the time of maximum lower lip position only varied with different word boundaries, showing that they were consistently lower in across-word condition. We provide further empirical evidence of lower lip movement sensitive to both different word boundaries (e.g., linguistic factor) and speech rates (e.g., paralinguistic factor); this supports the traditional idea that the lower lip is an actively moving articulator. The sensitivity of upper lip movement is also observed with different word boundaries; this counters the traditional idea that the upper lip is the target area, which presupposes immobility. Taken together, the lip aperture gesture is a good indicator that takes into account upper and lower lip vertical movements, compared to the traditional approach that distinguishes a movable articulator from target place. Respective of different speech rates, the results of the present study patterned with cross-linguistic lenition-related allophonic variation, which is known to be more sensitive to fast rate.

항공기 기반 단일채널 FMCW-SAR 영상 내 이동물체 분석기법 (Analysis Technique for Moving Targets on Single-Channel Airborne FMCW-SAR Image)

  • 황지환;김덕진
    • 한국전자파학회논문지
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    • 제29권7호
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    • pp.523-531
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    • 2018
  • 본 논문에서는 항공기 기반 단일채널 FMCW-SAR(frequency modulated continuous wave - synthetic aperture radar) 복원영상 내 이동물체 분석을 위해 합성개구레이다의 모호성 함수(SAR ambiguity function)를 이용한 상대속도 분석기법에 대해 설명한다. 안테나와 이동물체 간의 상대속도 변화를 분석하기 위해서 FMCW 신호모델 기반 정지 이동물체 간 신호변환특성을 분석하고, 이동물체의 변환특성을 고려한 모호성 함수를 모의실험하였다. 복원영상 내 이동물체의 상대속도 변화는 도식화된 모호성 함수의 최고점으로부터 추정될 수 있으며, 상대속도의 변화가 클수록 정지 이동물체 구분이 가능하게 된다. 이를 실제 항공기 기반 관측 자료로부터 복원된 FMCW-SAR 영상에 적용하여 모호성 함수를 이용한 이동물체 식별과 상대속도 분석결과를 관측지역 내 실험조건과 비교분석하였다.

전개형 위성 안테나 메커니즘 모델링 및 분석 (Mechanism Modeling and Analysis of Deployable Satellite Antenna)

  • 이승엽;정석용;최윤혁;조기대
    • 한국항공우주학회지
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    • 제42권7호
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    • pp.601-609
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    • 2014
  • 지구 관측용 위성의 한 종류인 SAR(Synthetic Aperture Radar) 위성은 지구의 영상 획득 시, 주변 환경의 영향을 받지 않는다는 장점이 있어 현재까지 많은 수가 개발되었다. 높은 영상 품질을 얻기 위해 SAR 안테나는 큰 직경을 가져야 한다. 그러나 위성을 우주까지 운반하는 발사체의 내부 공간은 한정적이므로 SAR 안테나는 발사체 내부 배치 시에는 접어놓았다가 우주에서는 펼쳐질 수 있는 전개형으로 설계된다. 본 연구에서는 위성의 목표 임무를 고려하여 전개형 위성 안테나의 메커니즘과 관련된 설계 요소 값들을 선정하였다. 이를 바탕으로 전개형 위성 안테나의 형상을 설계하였으며, 시뮬레이션을 통해 위성 기동 시 전개형 위성 안테나에 발생하는 변화를 관찰하였다.

거칠기를 고려한 단일 절리의 전단, 수리적 거동에 대한 수치해석 (A Numerical Analysis on the Shear and Hydraulic behavior of Single Rock Joint with Roughness)

  • 이희석;이연규
    • 한국암반공학회:학술대회논문집
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    • 한국암반공학회 2000년도 암반공학문제의 수치해석(Numerical Analysis in Rock Engineering Problems)
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    • pp.117-128
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    • 2000
  • 불연속 암반의 역학적, 수리적 거동을 현실적으로 해석하기 위한 가장 중요한 요소 중의 하나는 실제 현상을 정확히 모사할 수 있으면서도, 사용하기 쉬운 절리 모델의 개발에 있다. 본 연구에서는 거친 단일 암석 절리의 역학적 거동을 모사하기 위해 기존의 거칢각 손상을 고려한 절리 거동의 탄소성 구성모델을 각각 1차 거칠기와 2차 거칠기의 개념을 사용하여 확장하였다. 제안된 모델을 개별체 유한요소법을 이용하여 수치해석 프로그램을 작성하였다. 거칠기 특성과 손상상수를 달리하여 실시한 변수 해석을 실시한 결과, 제안된 모델은 다양한 형상의 거친 절리의 전단 및 팽창을 수치적으로 잘 근사할 수 있었다. 실험실에서 실시된 단일 절리의 일방향 및 주기전단시험 결과와 수치해석 결과를 비교하였으며, 이를 통해 제안된 모델의 타당성을 검증하였다. 제안된 역학 모델에 충전물 생성계수와 역학 간극과 수리 간극의 관계를 고려한 수리 거동 모델을 도입하였으며, 단일 절리의 전단-수리 시험 결과와의 비교 해석을 실시하였다. 전단에 따른 절리면 사이의 투수계수 중가는 충전물 생성 및 간극 분포의 일정화 경향으로 인해 일정 전단 변위 이후에는 일정해지는 특성을 보였다.

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거칠기를 고려한 단일 절리의 전단, 수리적 거동에 대한 수치해석 (A Numerical Analysis on the Shear and Hydraulic behavior of Single Rock Joint with Roughness)

  • 이희석;이연규
    • 터널과지하공간
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    • 제10권3호
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    • pp.366-377
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    • 2000
  • 불연속 암반의 역학적, 수리적 거동을 현실적으로 해석하기 위한 가장 중요한 요소 중의 하나는 실제 현상을 정확히 모사할 수 있으면서도, 사용하기 쉬운 절리 모델의 개발에 있다. 본 연구에서는 거친 단일 암석 절리의 역학적 거동을 모사하기 위해 기존의 거?각 손상을 고려한 절리 거동의 탄소성 구성모델을 각각 1차 거칠기와 2차 거칠기의 개념을 사용하여 확장하였다. 제안된 모델을 개별체 유한요소법을 이용허여 수치해석 프로그램을 작성하였다. 거칠기 특성과 손상상수를 달리하여 실시한 변수 해석을 실시한 결과, 제안된 모델은 다양한 형상의 거친 절리의 전단 및 팽창을 수치적으로 잘 근사할 수 있었다. 실험실에서 실시된 단일 절리의 일방향 및 주기전단시험 결과와 수치해석 결과를 비교하였으며, 이를 통해 제안된 모델의 타당성을 검증하였다. 제안된 역학 모델에 충전물 생성계수와 역학 간극과 수리 간극의 관계를 고려한 수리 거동 모델을 도입하였으며, 단일 절리의 전단-수리 시험 결과와의 비교 해석을 실시하였다. 전단에 따른 절리면 사이의 투수계수 증가는 충전물 생성 및 간극 분포의 일정화 경향으로 인해 일정 전단 변위 이후에는 일정해지는 특성을 보였다.

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DFN 매질에 대한 등가연속체 유동모델의 적용 가능성 평가에 관한 연구 (A Study on Applicability of Equivalent Continuum Flow Model in DFN Media)

  • 이다혜;엄정기
    • 터널과지하공간
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    • 제27권5호
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    • pp.303-311
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    • 2017
  • 본 연구는 다양한 기하학적 속성을 갖는 총 72개의 DFN 블록에 대하여 DFN 유동모델과 등가의 수리상수를 사용한 연속체 모델을 각각 적용하여 두 결과 간의 상관성을 분석하였다. DFN을 연속체로 가정한 이론적 블록수리전도도와 DFN 유동모델로 산정한 블록수리전도도 사이의 상대오차(ER)가 0.2 이하인 DFN 조건에서 두 접근법 사이에 강한 선형 관계를 이루며 두 결과가 거의 일치하는 것으로 평가되었다. DFN 매질에 대한 연속체 유동해석의 현장적용 가능성을 검토하기 위하여 다양한 DFN 조건을 갖는 지중 원형공동에서의 지하수 유입에 대한 모의 수치실험이 총 48회 수행되었다. 일정한 수리간극의 DFN 매질에 대한 등가연속체 유동모델은 유효한 것으로 평가되었지만 수리간극 변화로 인하여 이방성이 증대되면 DFN 유동모델에 의한 결과에 비하여 과대평가될 가능성이 높다.

Experimental observation and numerical simulation of cement grout penetration in discrete joints

  • Lee, Jong-Won;Kim, Hyung-Mok;Yazdani, Mahmoud;Lee, Hangbok;Oh, Tae-Min;Park, Eui-Seob
    • Geomechanics and Engineering
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    • 제18권3호
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    • pp.259-266
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    • 2019
  • This paper presents a comparison between experimental measurements and numerical estimations of penetration length of a cement grout injected in discrete joints. In the experiment, a joint was generated by planar acryl plates with a certain separation distance (; aperture) and was designed in such a way to vary the separation distances. Since a cement grout was used, the grout viscosity can be varied by controlling water-cement (W/C) ratios. Throughout these experiments, the influence of joint aperture, cement grout viscosity, and injection rate on a penetration length in a discrete joint was investigated. During the experiments, we also measured the time-dependent variation of grout viscosity due to a hardening process. The time-dependent viscosity was included in our numerical simulations as a function of elapsed time to demonstrate its impact on the estimation of penetration length. In the numerical simulations, Bingham fluid model that has been known to be applicable to a viscous cement material, was employed. We showed that the estimations by the current numerical approach were well comparable to the experimental measurements only in limited conditions of lower injection rates and smaller joint apertures. The difference between two approaches resulted from the facts that material separation (; bleeding) of cement grout, which was noticeable in higher injection rate and there could be a significant surface friction between the grout and joint planes, which are not included in the numerical simulations. Our numerical simulation, meanwhile, could well demonstrate that penetration length can be significantly over-estimated without considering a time-dependency of viscosity in a cement grout.