Dielectric Constant with $SiO_2$ thickness in Polycrystalline Si/ $SiO_2$ II Si structure
(다결정 Si/ $SiO_2$ II Si 적층구조에서 $SiO_2$ ∥ 층의 두께에 따른 유전특성의 변화)
-
- Journal of the Korean institute of surface engineering
- /
- 제33권4호
- /
- pp.217-221
- /
- 2000