RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착 된 GZO 박막의 진공 열처리온도에 따른 구조적, 광학적, 전기적 특성 연구 (Effect of Post Deposition Annealing Temperature on the Structural, Optical and Electrical Properties of GZO Films Prepared by RF Magnetron Sputtering)
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- 열처리공학회지
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- 제24권4호
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- pp.199-202
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- 2011