Coating of $TiO_2$ Thin Films on Glass Substrate using Photo-assisted Atomic Layer Deposition
(광원자층증착법에 의한 glass 기판에 $TiO_2$ 박막 코팅)
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- 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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- 2009.11a
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- pp.382-382
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- 2009