Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.6
no.1
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pp.11-21
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1999
For microelectronic packaging application, the crystallizable glass powder in CaO-$A1_2O_3-SiO_2-B_2O_3$system was mixed with various amounts of alumina inclusions (\approx 4 $\mu \textrm{m}$), and its sintering behavior, crystallization behavior, and dielectric constant were examined in terms of vol% of alumina and the reaction between the alumina and the glass. Sintering of the CASB glass powder alone at $900^{\circ}C$ resulted in full densification (99.5%). Sintering of alumina-filled composite at $900^{\circ}C$ also resulted in a substantial denslfication higher than 97% of theoretical density, In this case, the maximum volume percent of alumina should be less than 40%. XRD analysis revealed that there was a partial dissolution of alumina into the glass. This alumina dissolution, however, did not show the particle growth and shape accommodation. Therefore, the sintering of both the pure glans and the alumina-filled composite was mainly achieved by the viscous flow and the redistribution of the glass. Alumina dissolution accelerated the crystallization initiation time at $1000^{\circ}C$ and hindered the densification of the glass. Dielectric constants of both the alumina-filled glass and the glass-ceramic composites were increased with increasing alumina content and followed rule of mixture. In case of the glass-ceramic matrix composites showed relatively lower dielectric constant than the glass matrix composite. Furthermore, as alumina content increased, crystallization behavior of the glass was changed due to the reaction between the glass and the alumina. As alumina reacted with the glass matrix, the major crystallized phase was shifted from wollastonite to gehlenite. In this system, alumina dissolution strongly depended on the particle size: When the particle size of alumina was increased to 15 $\mu\textrm{m}$, no sign of dissolution was observed and the major crystallized phase was wollastonite.
Various inorganic fillers improve the thermal conductivity and physical properties of organic products. Alumina has been used a representative filler in the heat radiation sheet for the heat radiation of electric device. The high filling rate of alumina increases the thermal conductivity and properties of products. We successfully developed the spherical alumina by flame fusion process using the oxygen burner with LPG fuel. In the high temperature flame (2500$\sim$3000$^{\circ}C$) of oxygen burner, sprayed powders were melting and then rotated by carrier gas. This surface melting and rotation process made spherical alumina. Especially effects of chemical composition and particle size of stating materials on the melting behavior of starting materials in the flame and spheroidization ratio were investigated. As a result, spheroidization ratio of boehmite and aluminum hydroxide with endothermic reaction of dehydration process was lower than that of the sintered alumina without dehydration reaction.
Measurements of sedimentation, solid loading, zeta potential, and viscosity were employed to determine a proper dispersant and its amount for a well dispersed alumina powders in aqueous alumina tape casting using acrylate as a binder. Polycarboxylic acid was the most effective one among various dispersants considered in the present study and its amount was 0.23∼0.24 g per 100 g alumina for a dispersion. Better dispersion was obtained as an increase of dispersant addition. However, the dispersion was hindered as the amount of dispersant was higher than the optimum amount because of bridging or tangling of polymer chains. Excellent aqueous alumina tapes were prepared from the slurry containing the optimum amount of the polycarboxylic acid (0.2g), alumina powders(100 g), acrylate and Benzoflex as binder and plasticizer, respectively. The viscosity of the slurry was 570 cps and the alumina loading in the tape was 57 vol%.
Alumina powder was added in a general porcelain (Backja) with clay, feldspar and quartz contents to promote the mullite ($3Al_2O_3{\cdot}2SiO_2$) generation in the porcelain. Low melting materials ($B_2O_3(450^{\circ}C)$, $MnO_3(940^{\circ}C)$, CuO($1080^{\circ}C$)) were doped at ~3 wt% to modify the sinterability of porcelain with a high alumina contents and promote the mullite generation. Green body was made by slip casting method with blended slurry and then, they were fired at $1280^{\circ}C$ for 1hr by a $2^{\circ}C/min$. Densifications of samples with high alumina contents (20~30 wt%) were impeded. As the doping contents of low melting materilas increased, the sinterability of samples was improved. The shrinkage rate and bulk density of samples were improved by doping with low melting materials. Mullite phase increased with increasing the low melting contents in the phase analyses. This means lots of alumina and quartz were transformed into mullite phase by low melting contents doping. In the results, high bending strength of samples with high alumina contents was accomplished by improving the densification and mullite generation in the porcelain.
Alumina powders were dispersed using crosslinkable organic molecules by electrosteric stabilization and then consolidated by crosslinking of organic molecules. The effect of processing variables such as the physicochemical properties of both solvent media and organic molecules, the proportions of mixed organic media, etc. were studied. FT-IR was used todeduce the mechanism of organic molecules adsorption on the alumina particle surfaces. The adsorption characteristics and the electrokinetic behavior of alumina suspensions were correlated with the stability of particle in alumina suspension using rheological measurements. The green body of alumina consolidated by the chemical crosslinking of the adsorbed organic molecules after the alumina suspension had been stabilized was tough enough for green machining and the sintered alumina fabricated by this proposed process also showed a high bending strength and a homogeneous microstructure.
Porous alumina ceramics were fabricated by pseudo-boehmite phydosol-gel process within/without commercial $\alpha$-alumina particles average 1 and 40 micron respectively. The pore characteristics of fired specimens were studied by the measurement of bulk density total porosity thyermal analysis pore volume pore distribution BET area XRD and SEM. with increasing of firing temperature pore volume and BET surface area were decreased and the average pore size was increased to approximately 146$\AA$ upto 80$0^{\circ}C$ by de-watering of [OH] and formation of $\alpha$-alumina. The fired relative density of the alumina-dispersed specimen with average 1 micron particle was increased with the amounts of dispersed particle by bimodal packing theory which is compared to the ones of specimen including of average 40 micron particle. It was confirmed that the percola-tion threshold in porous ceramics with coarser particle (40 micron) has formed between the transformed-alumina from hydrogel and dispersed-alumina of above 50 vol% particle and the total porosity was increased at the threshold point above.
To prepare the alumina cement free vibrated alumina castable, $\rho$-alumina is employed as a binder material, and nano-sized clay is added to enhance the curing strength and give thixotropic behavior. The rheological behavior of matrix of castable is controlled by investigating the influences of ultrafines, $\rho$-alumina, and nano-sized clay on the viscosity of matrix. The microsilica and ultrafine alumina were added 3 wt% and 4 wt%, respectively to the matrix, which showed that the viscosities tends to be lowest values. The rheological property of the matrix is well established by adding $\rho$-alumina as 8 wt% and clay as 4 wt%. The thixotropic behavior of the $\rho$-alumina bonded castable was appeared by introducing nano-sized clay into the matrix and adjusting the pH near to the PZC of the clay suspension.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2002.05c
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pp.103-107
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2002
Ethyl silicate was used as organic binder for alumina refractories. In the present work only 15% of the water required for complete hydrolysis of ethyl silicate was initially added. The balance was provided from the atmosphere under controlled conditions of temperature and rh. The purpose of detailing the possible binder problem areas is more to indicate that the binder can have an effect on ceramic operations.
Kim, Dae-Min;Lee, Sung-Min;Kim, Seong-Won;Kim, Hyung-Tae;Oh, Yoon-Suk
Journal of the Korean Ceramic Society
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v.45
no.7
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pp.405-410
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2008
Ceramics are widely used as plasma resistant materials in semiconductor industries. However, the plasma erosion resistance has not been properly evaluated in terms of microstructural changes during the exposure to plasma. In this study, microstructure developments of $Al_2O_3$ were investigated under the fluorine plasma conditions. In polycrystalline alumina, uniform erosion throughout the specimen as well as spatially distributed local erosion were observed. Local erosion was much more severe in lower purity alumina. In contrast to the polycrystalline alumina, only uniform erosion was observed in single crystalline sapphire. These specimens, however, had practically the same erosion depth, which results in the incorrectly similar plasma resistance. This implies that the plasma erosion resistance of ceramics should be evaluated in terms of the microstructural changes, as well as the conventionally accepted erosion depth.
For the pressure compaction process of the ceramic powder, the green density is very different with both the ceramic body shape and the processing conditions. The density difference cause non-uniform shrinkages and deformations, and make cracks in the sintered ceramics. In this paper, Material properties of the alumina powder mixed with binder and the friction coefficient between the powder and the tool set were determined through the simple compaction experiments: Also the powder flow characteristics were simulated and the green density was analyzed during the powder compaction process with Finite Element Method (FEM). The results show that the density distributions of the green body were improved at the optimized processing condition and both the possibility of the farming crack generation and rho deformation of the sintered Alumina body were reduced.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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