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저온 Cu 하이브리드 본딩을 위한 SiCN의 본딩 특성 리뷰 (A Review on the Bonding Characteristics of SiCN for Low-temperature Cu Hybrid Bonding)

  • 김연주;박상우;정민성;김지훈;박종경
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제30권4호
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    • pp.8-16
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    • 2023
  • 디바이스 소형화의 한계에 다다르면서, 이를 극복할 수 있는 방안으로 차세대 패키징 기술의 중요성이 부각되고 있다. 병목 현상을 해결하기 위해 2.5D 및 3D 인터커넥트 피치의 필요성이 커지고 있는데, 이는 신호 지연을 최소화 할 수 있도록 크기가 작고, 전력 소모가 적으며, 많은 I/O를 가져야 하는 등의 요구 사항을 충족해야 한다. 기존 솔더 범프의 경우 미세화 한계와 고온 공정에서 녹는 등의 신뢰성 문제가 있어, 하이브리드 본딩 기술이 대안책으로 주목받고 있으며 최근 Cu/SiO2 구조의 문제점을 개선하고자 SiCN에 대한 연구 또한 활발히 진행되고 있다. 해당 논문에서는 Cu/SiO2 구조 대비 Cu/SiCN이 가지는 이점을 전구체, 증착 온도 및 기판 온도, 증착 방식, 그리고 사용 가스 등 다양한 증착 조건에 따른 SiCN 필름의 특성 변화 관점에서 소개한다. 또한, SiCN-SiCN 본딩의 핵심 메커니즘인 Dangling bond와 OH 그룹의 작용, 그리고 플라즈마 표면 처리 효과에 대해 설명함으로써 SiO2와의 차이점에 대해 기술한다. 이를 통해, 궁극적으로 Cu/SiCN 하이브리드 본딩 구조 적용 시 얻을 수 있는 이점에 대해 제시하고자 한다.

액상환원 기반 Pt/TiO2 촉매 제조를 이용한 포름알데히드 상온 산화 반응 특성 연구 (A Study on the Characteristics of a Pt/TiO2 Catalyst Prepared by Liquid-Phase Ruduction for Formaldehyde Oxidation at Room Temperature)

  • 김재헌;장영희;김거종;김성철;김성수
    • 공업화학
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    • 제34권6호
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    • pp.612-618
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    • 2023
  • 현대 사회는 일상생활 중 80% 이상을 실내에서 생활하고, 생활수준의 향상으로 실내오염물질 노출에 대한 유의가 필요하다. 본 연구에서는 실내오염물질 중 하나인 포름알데히드(HCHO)를 별도의 빛 또는 열 없이 상온에서 제거할 수 있는 액상환원법 기반 Pt/TiO2 촉매의 성능 및 반응 특성을 조사하였다. 활성실험을 통해, 동일한 방법으로 제조된 촉매라도 TiO2 종류에 따라 약 40~80%의 서로 다른 활성을 나타냄을 확인하였다. XRD, BET, XPS 분석을 통해 지지체의 입사 사이즈, 결정구조, 비표면적 및 O/Ti molar ratio를 조사하였고, 지지체 자체의 물성과 성능 간 상관성은 미미함을 확인하였다. HCHO 산화 반응 경로를 조사하기 위해 일산화탄소를 활용한 In situ DRIFT 분석과 H2-TPR을 수행하였다. 그 결과, 촉매의 성능이 활성금속의 산화상태 및 흡착종의 흡탈착 특성에 지배받음을 확인할 수 있었다.

Ce/Zr 비율에 따른 Ni/CeO2-ZrO2 촉매가 메탄의 수증기 개질 반응에서 미치는 영향 (Effect of Ce/Zr Ratios on Ni/CeO2-ZrO2 Catalysts in Steam Reforming of Methane Reaction)

  • 성인호;조경태;이종대
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제62권1호
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    • pp.125-131
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    • 2024
  • 본 연구에서는 제조된 Ni/CexZr1-xO2 촉매를 허니컴 구조의 금속 모노리스 구조체 표면에 코팅하여 수증기 메탄 개질 반응에 대한 활성을 연구하였다. Ce/Zr의 비율을 달리한 지지체를 합성하여 수증기 메탄 개질 반응에서의 거동을 확인하였으며, Ni 함량이 촉매 활성에 미치는 영향을 분석하기 위해 다양한 Ni 함량의 촉매를 제조하였다. 촉매의 특성은 XRD, BET, TPR 및 SEM으로 분석하였으며 TPR 분석에서 활성 금속 Ni이 CeO2-ZrO2 혼합물 지지체와 강한 상호작용으로 Ni-Ce-Zr 산화물을 형성하였음을 나타내었다. 15 wt% Ni/Ce0.80Zr0.20O2 촉매는 수증기 메탄 개질 반응에서 가장 높은 활성 및 안정성을 보였다. 우수한 산소저장 및 공여 특성의 CeO2와 열적 특성의 ZrO2를 복합소재로 제조하여 활성과 안정성이 향상된 촉매를 합성하였다.

The Progression of SARS Coronavirus 2 (SARS-CoV2): Mutation in the Receptor Binding Domain of Spike Gene

  • Sinae Kim;Jong Ho Lee;Siyoung Lee;Saerok Shim;Tam T. Nguyen;Jihyeong Hwang;Heijun Kim;Yeo-Ok Choi;Jaewoo Hong;Suyoung Bae;Hyunjhung Jhun;Hokee Yum;Youngmin Lee;Edward D. Chan;Liping Yu;Tania Azam;Yong-Dae Kim;Su Cheong Yeom;Kwang Ha Yoo;Lin-Woo Kang;Kyeong-Cheol Shin;Soohyun Kim
    • IMMUNE NETWORK
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    • 제20권5호
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    • pp.41.1-41.11
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    • 2020
  • Severe acute respiratory syndrome coronavirus 2 (SARS-CoV2) is a positive-sense single-stranded RNA (+ssRNA) that causes coronavirus disease 2019 (COVID-19). The viral genome encodes twelve genes for viral replication and infection. The third open reading frame is the spike (S) gene that encodes for the spike glycoprotein interacting with specific cell surface receptor - angiotensin converting enzyme 2 (ACE2) - on the host cell membrane. Most recent studies identified a single point mutation in S gene. A single point mutation in S gene leading to an amino acid substitution at codon 614 from an aspartic acid 614 into glycine (D614G) resulted in greater infectivity compared to the wild type SARS-CoV2. We were interested in investigating the mutation region of S gene of SARS-CoV2 from Korean COVID-19 patients. New mutation sites were found in the critical receptor binding domain (RBD) of S gene, which is adjacent to the aforementioned D614G mutation residue. This specific sequence data demonstrated the active progression of SARS-CoV2 by mutations in the RBD of S gene. The sequence information of new mutations is critical to the development of recombinant SARS-CoV2 spike antigens, which may be required to improve and advance the strategy against a wide range of possible SARS-CoV2 mutations.

홍적층(洪積層) Catena에서 토양(土壤)의 발달(發達)과 특성(特性) (The Development and Characteristics of Diluvial Soils on the Catena)

  • 임상규;최정
    • 한국토양비료학회지
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    • 제17권3호
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    • pp.200-206
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    • 1984
  • 연쇄(連鎖)된 홍적층(洪積層)에 기인(基因)된 반천(盤泉), 고평(高平), 화동(華東) 및 덕평통(德坪統)에 대(對)하여 형태적(形態的) 특성(特性)과 토양(土壤)의 이화학성(理化學性)을 조사(調査) 연구(硏究)한 결과(結果)는 다음과 같다. 1. 반천(盤泉), 고평(高平), 화동(華東) 및 덕평통(德坪統)의 순(順)으로 토양(土壤) 연쇄성(連鎖性)이 인정(認定)되며 반천(盤泉)과 고평통(高平統)은 배수(排水)가 양호(良好)하고 화동(華東)과 덕평통(德坪統)은 지형(地形)과 관개수(灌漑水)의 영향(影響)으로 배수(排水)가 약간(若干) 양호(良好)하였다. 2. 반천(盤泉)과 고평통(高平統)의 표토(表土)는 황적색(黃赤色), 암황갈색(暗黃褐色)의 미사식양질(微砂埴壤質)이고 심토(心土)는 황적색(黃赤色), 적색(赤色) 및 진갈색(眞褐色)의 중용(中庸) 내지 강(强)한 각주상(角柱狀) 혹은 각괴상(角塊狀) 구조(構造)로서 점토피막(粘土皮膜)이 있는 식질(埴質)이며, 화동(華東)과 덕평통(德坪統)의 표토(表土)는 암회갈색(暗灰褐色), 회갈색(灰褐色)의 미사식양질(微砂埴壤質)이고 심토(心土)는 진갈색(眞褐色), 명(明)오리브갈색(褐色), 적색(赤色)의 중용(中庸) 내지 강(强)한 각주상(角柱狀), 각괴상(角塊狀) 혹은 반각괴상(半角塊狀) 구조(構造)로서 점토피막(粘土皮膜)이 있는 미사식양질(微砂埴壤質)이나 식질(埴質)이었다. 또한 이들 심토층(心土層)은 매우 치밀(緻密)하고 단단하며 습(濕)할 때 점착성(粘着性)과 가소성(可塑性)이 매우 강(强)하였다. 3. 미사(微砂)/점토율(粘土率), 토양산도(土壤酸度), 유기물(有機物), 유효수분(有效水分) 및 인산함량(燐酸含量)은 지형(地形)이 낮은데 위치(位置)한 토양(土壤)일수록 그 함량(含量)이 많았으나 활성철(活性鐵)은 그 반대(反對)인 경향(傾向)이었다. 4. 공시토양(供試土壤)들을 미국(美國)의 신(新) 분류법(分類法)에 따라 Hapludalfs로 분류(分類)할 수 있었다. 5. 이들 토양(土壤)들의 생산성(生産性)을 제고(提高)하기 위(爲)하여는 석회(石灰), 인산질비료(燐酸質肥料) 및 퇴비(堆肥) 등(等)의 증시(增施)가 요구(要求)된다.

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계면활성제에 의해 유도되는 농약의 엽면 침투성 연구 현황 (Review of the study on the surfactant-induced foliar uptake of pesticide)

  • 유주현;조광연;김정한
    • 농약과학회지
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    • 제6권1호
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    • pp.16-24
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    • 2002
  • 농약의 식물 엽면 침투성에 관하여 보고한 국내외 논문을 조사하여 최근에 빈번하게 사용되고 있는 침투율 측정법과, 계면활성제에 의해서 유도되는 농약의 엽면 침투기작에 관한 연구 동향을 고찰하였다. 농약의 식물 엽면 침투성 연구에는 생물검정법, 식물 잎이나 cuticular membrane을 이용하는 방사능 추적 기술이 주로 이용되고 있다. 가장 최근에는 수용성 색소 Congo Red를 추적물질로 이용하는 새로운 침투율 측정법이 제안되었다. 농약의 엽면 침투에 있어서 최대의 장벽은 epicuticular wax와 cuticular wax를 포함하는 잎 표면의 왁스층이며, 일부 연구자들은 이를 limiting skin이라 부르기도 한다. 농약의 몰부피(molar volume), 수용해도 및 분배계수 등의 이화학적 성질은 식물 엽면 침투성에 영향을 미치지만 제한적인 상관관계를 나타낼 뿐이며, 일반화할 수 있는 어떠한 상관관계도 아직 발견되지 않았다. Polyoxyethylene을 친수기로 가지는 지방족 알콜 계면활성제들은 많은 농약에 대하여 좋은 침투성 증진제로 알려져 있다. 침투성 증진제로 사용되는 계면활성제가 농약의 엽면 침투성을 증진하는 데에는 계면활성, 가용화 능력, 흡습성 및 미셀생성임계농도 등 계면활성제 고유의 성질이 크게 관여하는 것 같지는 않다. 최근의 연구에서 침투성 증진 효과가 큰 계면활성제는 식물의 왁스층에 쉽게 흡수되어 가역적으로 왁스층의 유동성을 증가시키는 가소제 역할(plasticizing effect)을 한다는 것이 밝혀졌다. 계면활성제가 왁스층에 먼저 침투하면 wax층의 유동성이 증가하고, 이로 인하여 wax층 내에서 농약의 이동성과 분배계수가 달라짐으로써 농약의 엽면 침투 속도가 변화한다는 것이다. 그러나 계면활성제의 친유기 부분인 지방족 알콜의 탄소수와 친수기의 ethylene oxide 부가중합도가 농약의 침투성 증진에서 어떠한 역할을 하는지는 상세히 밝혀져 있지 않다. 다만 계면활성제 자체의 엽면 침투 속도가 농약의 침투속도와 깊은 관련이 있을 것으로 추정되고 있다.

성견에서 표면처리된 교정용 마미크로 임플랜트의 골 접촉률 및 동요도 (Bone-implant contact and mobility of surface-fronted orthodontic micro-implants in dogs)

  • 박승현;김성훈;류준하;강윤구;정규림;국윤아
    • 대한치과교정학회지
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    • 제38권6호
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    • pp.416-426
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    • 2008
  • 본 연구는 비글견에 식립된 sandblasted, large grit and acid-etched (SLA) 표면처리된 교정용 마이크로임플랜트와 평활면 마이크로임플랜트에 교정력을 가한 후 시간 경과에 따른 동요도와 골접촉률의 차이를 규명하기 위해 시행되었다. 비글 성견 네 마리를 이용하여 상, 하악 협측과 구개측 골에 대해 SLA 표면처리된 표면처리군 48개, 평활면의 비처리군 48개의 마이크로임 플랜트 96개를 식립하고 2주의 치유기간 후 교정력(150 - 200 g)을 지속적 으로 가했으며 식립 4주 후에 두 마리를 희생시키고, 12주 후에 나머지 2마리를 희생시켰다. 표면처리군과 비처리군 간의 마이크로 임플랜트의 동요도와 골과 임플랜트 간 접촉률을 조직학적인 측면에서 측정 비교하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 상악 협측과 구개측에서는 표면처리군과 미처리군의 동요도에서 유의성 있는 차이가 없었으나 하악협측에서는 표면 처리군이 유의하게 안정적인 동요도를 보였다. 마이크로임플랜트와 인접골 간 접촉률은 상악 협측에서는 4주와 12주 모두 표면처리군과 미처리군 간에 유의 한 차이가 없었으나 하악 협측과 구개측의 경우 4주와 12주 모두 표면처리군이 비처리군에 비해 유의하게 높은 접촉률을 보였다. 표면처리군은 비처리군에 비해 임플랜트 주변에서 활발한 골개조가 관찰되었으며 모든 군에서 이물반응은 관찰되지 않았다. 본 연구를 통해 SLA 표면처리된 마이크로임플랜트는 평활면 마이크로임플랜트에 비하여 식립 초기에는 식립 부위에 따라 유의하게 높은 인접골 간 접촉률과 동요도의 안정성을 보임으로써 다양한 크기와 방향의 교정력의 적용이 가능할 것이라 생각한다.

Lovastatin 고생산성 변이주의 신속 선별을 위해 통계적 방법을 적용한 Sporulation 배지 개발 및 Miniature 배양 방법 개발 (Mass Screening of Lovastatin High-yielding Mutants through Statistical Optimization of Sporulation Medium and Application of Miniaturized Fungal Cell Cultures)

  • 안현정;정용섭;김평현;전계택
    • KSBB Journal
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    • 제22권5호
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    • pp.297-304
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    • 2007
  • Lovastatin은 근사형성 균류인 Aspergillus terreus가 생합성하는 이차대사산물로 강력한 고지혈증 치료제로 널리 이용되는 물질이다. 본 연구에서는 lovastatin 고생산변이주를 이용하여 포자배지 최적화를 통한 miniature 배양 방법을 확립하고자 하였다. 우선 miniature 배양에 필수적인 효과적인 포자 형성 방법을 개발하고자 포자 형성 배지의 통계학적 배지 최적화를 수행하였다. Miniature 배양의 inoculum으로 이용되는 대량의 포자를 획득하기 위해 Plackett-Burman 실험법을 이용하여 포자 형성을 향상시키는 성분을 조사한 결과, glucose, sucrose, yeast extract 그리고 $KH_2PO_4$가 주목할 만한 효과를 보였다. 상기 성분의 최적 농도를 확인하기 위해 반응표면분석법 (RSM)을 이용한 결과, PDA 포자 형성 배지와 비교하여 볼 때, 최적 성분 농도에서 포자 형성이 약 190배 증가하였다. 최적화된 포자형성 배지를 이용하여 lovastatin 고생산성 변이주의 대량 선별을 위한 miniature 배양 방법을 확립하기 위해 기존의 실험 과정에 'PaB (adaptation)'라는 한 번의 계대배양을 더 추가한 결과 생산균주의 안정성과 재현성이 큰 폭으로 증가하는 주목할 만한 결과를 얻을 수 있었다. 단기간에 가능한 한 다량의 균주를 스크리닝하기 위해 성장배양과 생산배양 모두 조업부피가 7 ml인 tube를 이용해 miniature 배양을 반복 수행하여, lovastatin 생산성과 배양형태가 훌륭한 변이주를 선별할 수 있었는데, 이 균주는 7 ml tube배양과 250 ml flask배양 (조업부피 50 ml) 모두에서 생산성이 높은 것으로 보아 산소 의존도가 비교적 낮고 생산 안정성이 높은 균주인 것으로 판단되었다. 한편 miniature 배양을 이용해서 lovastatin 고생산성을 보이는 균주를 신속 선별하기 위해서는 균주의 적절한 배양형태 유도가 매우 중요한 것으로 관찰되었다. 즉 생산배양으로의 고활성 균주의 접종을 위해서, 또한 생산배양에서 pellet의 배양형태 유도를 위해서 성장배양 시에는 반드시 고농도의 균사모양을, 생산배양 시에는 직경 1 mm 이하의 pellet모양의 배양 형태를 유지해야만, 생산균주가 lovastatin을 안정적으로 고생산할 수 있는 것으로 관찰되었다. 초기에 선별된 균주를 이용하여 miniature 배양에 의해 고속 균주선별 실험을 반복함으로써 고생산성 균주들을 다량 선별할 수 있었는데, 이들의 lovastatin 생산성을 조사한 결과, 기존의 flask 배양대비 오차범위가 $\pm$20% 이내의 생산성을 보이는 균주가 초기 선별시의 32%에 비해 81%로 크게 증가함을 확인할 수 있었다. 이와 같은 결과는 lovastatin 고생산성, 고안정성 균주의 고속 스크리닝을 위해서 본 연구에서 개발한 tube를 이용한 miniature 배양이 기존의 flask 배양을 대체할 수 있는 훌륭한 배양방법임을 제시해 준다.

Interface structure and anisotropic strain relaxation of nonpolar a-GaN on r-sapphire

  • 공보현;조형균;송근만;윤대호
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.31-31
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    • 2010
  • The growth of the high-quality GaN epilayers is of significant technological importance because of their commercializedoptoelectronic applications as high-brightness light-emitting diodes (LEDs) and laser diodes (LDs) in the visible and ultraviolet spectral range. The GaN-based heterostructural epilayers have the polar c-axis of the hexagonal structure perpendicular to the interfaces of the active layers. The Ga and N atoms in the c-GaN are alternatively stacked along the polar [0001] crystallographic direction, which leads to spontaneous polarization. In addition, in the InGaN/GaN MQWs, the stress applied along the same axis contributes topiezoelectric polarization, and thus the total polarization is determined as the sum of spontaneous and piezoelectric polarizations. The total polarization in the c-GaN heterolayers, which can generate internal fields and spatial separation of the electron and hole wave functions and consequently a decrease of efficiency and peak shift. One of the possible solutions to eliminate these undesirable effects is to grow GaN-based epilayers in nonpolar orientations. The polarization effects in the GaN are eliminated by growing the films along the nonpolar [$11\bar{2}0$] ($\alpha$-GaN) or [$1\bar{1}00$] (m-GaN) orientation. Although the use of the nonpolar epilayers in wurtzite structure clearly removes the polarization matters, however, it induces another problem related to the formation of a high density of planar defects. The large lattice mismatch between sapphiresubstrates and GaN layers leads to a high density of defects (dislocations and stacking faults). The dominant defects observed in the GaN epilayers with wurtzite structure are one-dimensional (1D) dislocations and two-dimensional (2D) stacking faults. In particular, the 1D threading dislocations in the c-GaN are generated from the film/substrate interface due to their large lattice and thermal coefficient mismatch. However, because the c-GaN epilayers were grown along the normal direction to the basal slip planes, the generation of basal stacking faults (BSFs) is localized on the c-plane and the generated BSFs did not propagate into the surface during the growth. Thus, the primary defects in the c-GaN epilayers are 1D threading dislocations. Occasionally, the particular planar defects such as prismatic stacking faults (PSFs) and inversion domain boundaries are observed. However, since the basal slip planes in the $\alpha$-GaN are parallel to the growth direction unlike c-GaN, the BSFs with lower formation energy can be easily formed along the growth direction, where the BSFs propagate straightly into the surface. Consequently, the lattice mismatch between film and substrate in $\alpha$-GaN epilayers is mainly relaxed through the formation of BSFs. These 2D planar defects are placed along only one direction in the cross-sectional view. Thus, the nonpolar $\alpha$-GaN films have different atomic arrangements along the two orthogonal directions ($[0001]_{GaN}$ and $[\bar{1}100]_{GaN}$ axes) on the $\alpha$-plane, which are expected to induce anisotropic biaxial strain. In this study, the anisotropic strain relaxation behaviors in the nonpolar $\alpha$-GaN epilayers grown on ($1\bar{1}02$) r-plane sapphire substrates by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVO) were investigated, and the formation mechanism of the abnormal zigzag shape PSFs was discussed using high-resolution transmission electron microscope (HRTEM).

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영일만 쇄파대에 나타나는 부유성 요각류의 주야 수평이동 (Diel Horizontal Migration of Planktonic Copepods in the Surf Zone of Yongil Bay, Korea)

  • 서해립;유옥확
    • 한국수산과학회지
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    • 제29권4호
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    • pp.527-536
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    • 1996
  • 동물플랑크톤이 쇄파대에서 어떻게 적응하여 살아가고 있는가를 연구하면서, 부유성 요각류 일곱 종의 주야 수평이동 양상을 조사하여 비교했다. 동해 영일만 쇄파대에서 수심 1m 되는 곳의 표층과 저층과 해변가 세 곳을 썰매형 네트로 채집했다(총시료수=108개). 쇄파대 요각류 집단은 일곱 종 (Acartia hudsonica, Fseudodiaptomus marinu, Paracalanus indicus, Calanus sinicus, Oithena similis, Sinocalanus tenellus, Labidocera bipinnata)이 우점했다. 쇄파대 요각류의 주${\cdot}$야간 생물량 차는 약 세 배였다. 표층에서 채집한 전체 요각류와 우점하는 일곱 종의 생물량은 주간보다 야간에 모두 유의하게 많았다. 하지만, 저층에서 주${\cdot}$야간 생물량의 차는 모두 유의하지 않았다. 이 연구에서 쇄파대 요각류의 약 $90\%$가 주야 수평이동하는 것을 밝혔다. 조금때 바람이 육지에서 바다쪽으로 불었지만, 표층에서 야간에 요각류 밀도가 높게 나타났다. 요각류가 해류에 따라 수동적으로 운반되지 않더라도 능동적으로 수평 방향을 유지하여 헤엄칠 수 있는 능력을 갖고 있기 때문인 듯하다. 요각류는 상대 조도의 변화에 따라 광반응 행동을 하고, 그래서 야간에 쇄파대에 모였다가 주간에 흩어지게 하는 주야 수평이동이 나타난 것 같다. 주야 수평이동은 요각류가 시각 포식자와 마주칠 기회를 줄일 것이다. A. hudsonica가 개체발생 단계별로 이동시각을 달리한 것은 발생단계에 따라 광반응 행동이 다르기 때문에 나타난 현상인 듯하다. 결과적으로 이것이 먹이를 둘러싼 종내 경쟁을 줄일 것 같다. 요각류 이동 자료에서 A. hudsonica, P. indicus, O. similis, S. tenellus 네종은 한 시간 이상 유영속도를 $20m\;h^{-1}$으로 유지할 수 있는 것으로 나타났다. 쇄파대에서 요각류가 차지하는 중요도를 바로 알려면, 주야 생물량이 매우 다르므로 주간과 야간 채집을 함께 해야 한다.

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