• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제9권3호
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• pp.23-27
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• 2010

We prepared Al doped ZnO thin film as a top electrode on a glass substrate with a deposited $Alq_3$ for the top emission organic Light emitting device (TEOLED) with facing target sputtering (FTS) method and radio-frequency (RF) sputtering method, respectively. Before the deposition of AZO thin film, we evaporated the $Alq_3$ on glass substrate by thermal evaporation. And we evaluated the damage of organic layer. As a result, PL intensity of $Alq_3$ on grown by FTS method showed higher than that of grown by RF sputtering method, so we found that the FTS showed the lower damage sputtering than RF sputtering. Therefore, we can expect the FTS method is promising the low-damage sputtering system that can be used as a direct sputtering on the organic layer.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제16권2호
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• pp.27-31
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• 2017

AZO/Ag/AZO multi-layer films deposited on glass substrate by RF magnetron sputtering and thermal evaporator have a much better electrical properties than Al-doped ZnO thin films. The multi-layer structure consisted of three layers, AZO/Ag/AZO, the electrical and optical properties of AZO/Ag/AZO were changed mainly by thickness of Ag layers. The optimum thickness of Ag layers was determined to be $90{\AA}$ for high optical transmittance and good electrical conductivity. The Ag layers thickness $90{\AA}$ is an optical transmittance greater than 80% of visible light and the obtained multilayer thin film with the low resistivity of $8.05{\times}10-3{\Omega}cm$ and the low sheet resistance $5.331{\Omega}/sq$. Applying to TCO and Solar electrode will improve efficiency.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1997년도 하계학술대회 논문집 C
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• pp.1424-1426
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• 1997

저전압 구동이 가능한 교류구동형 박막전기발광소자를 구현하기 위해 높은 유전상수를 가지며 특히 광학적 굴절률이 발광박막과 유사하여 광학적 특성 개선에도 효과적인 것으로 알려져 있는 $Ta_2O_5$를 제조하였다. $Ta_2O_5$박막은 rf-magnetron sputtering방법으로 형성하였으며 기판온도, working pressure, 박막의 두께에 따른 전기적인 특성을 조사하였다. 10mTorr에서 제조된 $Ta_2O_5$박막은 $22{\sim}26$의 비유전율을 보였고, 유전손실은 $0.007{\sim}0.03(1kHz{\sim}10kHz)$의 값을 보였다. $100^{\circ}C$에서 제조된 박막의 전하저장용량은 $7.9{\mu}C/cm^2$이었다. 제조된 박막의 항복전압은 인가 전압의 극성에 의존하며, 전류특성은 기판온도와 200nm와 300nm의 두께에서는 $V^{1.95}{\sim}V^{2.35}$에 비례하는 space charge limited current특성을 보였고, 400nm에서는 Poole Frenkel특성을 보였다. 이상의 결과로 TFEL소자에 응용에 적합한 $Ta_2O_3$ 박막은 $200^{\circ}C$에서 증착되고 200nm와 300nm인 것으로 나타났으며, 제조된 MIS구조(ITO-$Ta_2O_5$-ZnS-Al)의 ACTFEL소자에서의 전도전하는 각각 $13uC/cm^2$, $8.3uC/cm^2$로 조사되었다.

• 한국진공학회지
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• 제21권3호
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• pp.142-150
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• 2012

CIGS 박막 태양전지 기판소재인 소다라임유리 표면에 플라즈마 전처리 후 DC 마그네트론 스퍼터링 방법으로 Mo 박막을 제조하였다. 증착압력과 증착시간 변화에 따른 Mo 박막의 물리적, 전기적 특성을 분석하였고, 셀렌화 처리 조건에 따른 $MoSe_2$ 생성 여부와 경향성을 연구하였으며, Mo 박막 두께에 따른 AZO/i-ZnO/CdS/CIGS/Mo/SLG 구조의 태양전지를 제조하여 그 특성을 분석 및 평가하였다. 증착압력이 4.9 mTorr에서 1.3 mTorr로 감소할수록 치밀하고 결정입자 사이의 공극이 적고, 증착속도가 감소하고 전기저항도가 낮은 Mo 박막이 증착되었다. 증착온도가 상온에서 $200^{\circ}C$로 증가할수록 Mo 박막은 치밀한 구조를 가지고 결정성은 향상되어 면저항이 낮게 나타났다. 셀렌화 시간이 길어질수록 Mo 박막 층은 줄어들고, $MoSe_2$ 층 생성두께가 커지는 것을 알 수 있었고, 열처리로 인해 결정화 되면서 전체 박막의 두께가 줄어들었으며, $MoSe_2$ 층의 배양성은 c축이 Mo 표면과 수직 방향으로 성장된 것을 알 수 있었다. Mo 박막의 두께가 1.2 ${\mu}m$와 0.6 ${\mu}m$인 AZO/i-ZnO/CdS/CIGS/Mo/SLG 구조로 이루어진 CIGS 박막 태양전지를 제조하였다. Mo 박막의 두께가 1.2 ${\mu}m$일 때 보다 0.6 ${\mu}m$일 때 CIGS 박막 태양전지의 변환 효율은 9.46%로 비교적 우수한 특성을 나타났다. CIGS 박막 태양전지에서 하부전극인 Mo 박막 특성은 유리기판 및 광흡수 층과의 계면 형성 따라 큰 영향을 미친다는 것을 알 수 있었고, 유리기판의 플라즈마 처리와 Mo 박막의 두께조절로 Na 효과 및 $MoSe_2$층 형성 제어함으로써 CIGS 박막 태양전지의 특성 개선에 효과를 가질 수 있었다.

• 자원환경지질
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• 제32권6호
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• pp.585-597
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• 1999

Plutomic rocks of the Mabogsan, located in the southestern part of the Koheung Eup are composed of granite gneiss, diorite, biotite grantie and granophyre. On the basis of Rb-Ba-Sr diagram, the diorires are plotted from granodiorite to quartz diortie, the biotite granites from granodiortie to anomalous granite and the granophyres in normal granite filed. The plutonic rocks tend to show the I-type characteristics in terns of ACF diagram, $K_2O-Na_2O$ diagram and $Al_2O_3/Na_2O+K_2O+CaO$ diafram, while have values of ilmenite series in magnetic subseptibility. The plutons could have formed in the tectonic environment of VAG+COLG+ORG based on the silica vs. trace element diagrams. Gold contents with major and trace elements have been determined for 21 granophyres, 13 biotite granites and 4 diorites are; (1) for the diorite, the rangs is 0.508~1.73 ppb with an average of 0.5ppb;(2) for the biotite granites, the range is 0.449~13.5ppb with an average of 3 ppb;(3)for the granphyres, the range is 0.508~23.1ppb with an average of 4.5ppb. The gold content of the studied plutons tends to increase from mafic to felsic rocks. Gold contents tend to show positive correlations with those of Ag and Zn, negative correlations with those of As, Ba and Rb. The copper contents of the plutons are comparatively high. Average copper contents of diorite, biotite granite and granophyre are 710ppm, 587ppm and 484ppm, respectively. The copper contents of the plutons tend to have good correlations with those of Ag, Bi and Pb.

• 대한금속재료학회지
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• 제49권4호
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• pp.281-290
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• 2011

In order to gain better understanding of the selective surface oxidation and its influence on the galvanizability of a transformation-induced plasticity (TRIP) assisted steel containing 1.5 wt.% Si and 1.6 wt.% Mn, a model experiment has been carried out by depositing Si and Mn (each with a nominal thickness of 10 nm) in either monolayers or bilayers on a low-alloy interstitial-free (IF) steel sheet. After intercritical annealing at $800^{\circ}C$ in a $N_2$ ambient with a dew point of $-40^{\circ}C$, the surface scale formed on 590 MPa TRIP steel exhibited a microstructure similar to that of the scale formed on the Mn/Si bilayer-coated IF steel, consisting of $Mn_{2}SiO_{4}$ particles embedded in an amorphous $SiO_{2}$ film. The present study results indicated that, during the intercritical annealing process of 590 MPa TRIP steel, surface segregation of Si occurs first to form an amorphous $SiO_{2}$ film, which in turn accelerates the out-diffusion of Mn to form more stable Mn-Si oxide particles on the steel surface. During hot-dip galvanizing, particulate $Fe_{3}O_{4}$, MnO, and Si-Mn oxides were reduced more readily by Al in a Zn bath than the amorphous $SiO_{2}$ film. Therefore, in order to improve the galvanizability of 590 TRIP steel, it is most desirable to minimize the surface segregation of Si during the intercritical annealing process.

• 한국토양비료학회지
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• 제11권4호
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• pp.247-262
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• 1979

Majority of reclaimable soils in hillside lands in Korea are red yellow soils, with exception in Jeju island, where most of reclaimable hillside lands are composed of volcanic ash soils. Songjeong, Yesan and Samgag series are the major soil series of red yellow soils which are available for the reclamation. When observed in the fields, they are distinguished as reddish brown clay loam, red yellow sand loam and yellowish brown sand loam. They have moderately good physical properties but their chemical properties are generally poor for crop cultivations. The chemical properties of red yellow soils, as compared to long time cultivated (matured) soils, are characterized by very low pH, high in exchangeable Al content and phosphorus fixation capacity. Also extraodinary low available phosphorus and organic matter contents are generally observed. On the other, the chemical properties of volcanic ash soils are characterized by high armophous Fe and Al hydroxides and organic matter contents, which are the causative factors for the extremely high phosphorus fixation capacity of the soils. The phosphorus fixation capacity of volcanic acid soils are as high as 5-10 times of that of red yellow soils. Poor growth of crops on newly reclaimed red yellow soils are mainly caused by very low available P and pH and high exchangeable Al. Relatively high P fixation capacity renders the failure of effective use of applied P when the amount of application is not sufficient. Applications of lime to remove the exchangeable Al and relatively large quantity of P to lower the P fixation capacity and to increase the available P are the major recommendations for the increased crop production on red yellow hillside soils. Generally recommendable amounts of lime and P to meet the aforementioned requirements, are 200-250kg/10a of lime and $30-35kg\;P_2O_5/10a$. Over doses of lime. frequently induces the K, B, arid Zn deficiencies and lowers the uptake of P. In volcanic ash soils, it is difficult to alter the exchangeable Al and the P fixation capacity by liming and P application. This may be due to the peculiarity of volcanic ash soil in chemical properties. Because of this feature, the amelioration of volcanic ash soils is not as easy as in the case of red yellow soils. Application of P as high as $100kg\;P_2O_5/10a$ is needed to bring forth the significant yield response in barley. Combined applications of appropriate levels of P, lime, and organic matter, accompanied by deep plowing, results in around doubling of the yields of various crops on newly reclaimed red yellow soils.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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• pp.10-10
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• 2009

Transparent BNO thin films were grown on Al-doped ZnO (AZO)/Ag/AZO/polyethersulfon (PES) (abbreviated as AAAP) transparent electrodes at a low temperature by the NCD technique. The BNO films grown on the crystallized AZO/Ag/AZO (AAA) electrodes exhibit an amorphous phase with a root mean square (rms) roughness of approximately 2 nm in the range of deposition temperature. The capacitors (Pt/BNO/AAAP) with BNO films grown at $100^{\circ}C$ show a dielectric constant of 24 and dissipation factor of 8% at 100 kHz, a leakage current density of about $8{\times}10^{-6}A/cm^2$ at an applied voltage of 1.0V. The optical transmittances of the BNO/AAAP exhibited above 80% at wavelength of 550nm at all of deposition temperature. The mechanical stability of the BNO/AAA as well as AAA electrode with the PES substrates through the bending was ensured for flexible electronic device applications. The transparent BNO capacitors grown on AAAP are powerful candidate for integration with the transparent solar cells.

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 한국신재생에너지학회 2011년도 춘계학술대회 초록집
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• pp.124.2-124.2
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• 2011

현재 박막형 태양전지는 실리콘계가 주류를 이루고 있으며, 유리기판 또는 유연성 기판에 비정질 실리콘 박막을 형성시킨 태양전지와 실리콘 기판 양면에 태양전지를 형성하는 방법 등 효율을 극대화시킨 이종접합 태양전지 등이 연구되고 있다. 예컨대 밴드갭이 서로 다른 박막들 간의 이종접합을 이용한 tandem 구조 및 triple 구조의 Si 박막 태양전지의 경우 13%대 변환효율을 나타낸다고 보고된 바 있다. 본 연구에서는 비정질 Si 박막 태양전지 내 흡수층의 효율을 최대화하기 위하여 AZO/Ag 이중구조 박막의 특성에 관한 연구를 수행하고자 한다. combinatorial sputtering system을 이용하여 AZO/Ag 이중구조 박막을 제작하였으며 타겟으로는 4-inch target(Ag, 2wt% Al2O3 doped ZnO)이 사용되었다. 유리기판 상에 combinatorial sputter system으로 상온에서 제작된 Ag 박막의 두께는 25nm로 성장시켰으며 연속공정으로 AZO 박막을 제작하였고, AZO 박막은 100~500nm의 두께경사를 나타내었다. 이 때 유리기판상에 성장된 Ag/AZO 박막의 면저항은 약 $2{\Omega}/{\Box}$ 값을 나타내었다. 본 발표에서는 AZO/Ag 이중 구조 박막의 우수한 전기적 특성을 기반으로 표면 거칠기 및 반사도 특성 등에 관하여 추가적으로 토론한다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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• pp.311-311
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• 2010

본 논문은 직류전원에 펄스주파수를 인가함으로써 AZO 박막이 미치는 영향에 대해 알아보기 위해 기존과는 다른 형태인 원통형의 회전(Cylindrical rotatable)하는 방식을 가진 DC magnetron sputter를 이용하였다. 인가되는 전력과 압력, 온도 그리고 거리는 각각 고정하였고 펄스 주파수 가변을 통해 박막의 전기적, 광학적, 구조적 그리고 SEM등의 다양한 특성에 대해 확인하였다. 박막의 광학적 특성인 투과도를 알아보기 위해 UV-Vis를 이용하여 측정하였고 가변 범위에 관계없이 550 nm의 파장 길이에서 약 90%의 투과도를 보였다. 그리고 펄스주파수가 증가할수록 XRD의 Intensity는 오히려 감소되는 경향을 보였고, 홀 측정을 통해 비저항의 증가와 전자농도 증가, 감소된 홀 이동도를 통해 증가된 펄스 주파수가 박막의 구조적, 전기적 특성이 얼마나 많은 영향을 끼치는지 또한 알 수 있었다. 그리고 펄스주파수는 면저항과 홀 이동도의 감소 요인이며 이것은 XRD의 결과로 확인하였다. 펄스주파수가 향후 박막 태양전지 및 TFT와 NVM 등의 소자를 적용하는데 있어 중요한 요소 중의 하나로 판단할 수 있다.