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Prevention of P-i Interface Contamination Using In-situ Plasma Process in Single-chamber VHF-PECVD Process for a-Si:H Solar Cells

  • Han, Seung-Hee;Jeon, Jun-Hong;Choi, Jin-Young;Park, Won-Woong
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.204-205
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    • 2011
  • In thin film silicon solar cells, p-i-n structure is adopted instead of p/n junction structure as in wafer-based Si solar cells. PECVD is a most widely used thin film deposition process for a-Si:H or ${\mu}c$-Si:H solar cells. For best performance of thin film silicon solar cell, the dopant profiles at p/i and i/n interfaces need to be as sharp as possible. The sharpness of dopant profiles can easily achieved when using multi-chamber PECVD equipment, in which each layer is deposited in separate chamber. However, in a single-chamber PECVD system, doped and intrinsic layers are deposited in one plasma chamber, which inevitably impedes sharp dopant profiles at the interfaces due to the contamination from previous deposition process. The cross-contamination between layers is a serious drawback of a single-chamber PECVD system in spite of the advantage of lower initial investment cost for the equipment. In order to resolve the cross-contamination problem in single-chamber PECVD systems, flushing method of the chamber with NH3 gas or water vapor after doped layer deposition process has been used. In this study, a new plasma process to solve the cross-contamination problem in a single-chamber PECVD system was suggested. A single-chamber VHF-PECVD system was used for superstrate type p-i-n a-Si:H solar cell manufacturing on Asahi-type U FTO glass. A 80 MHz and 20 watts of pulsed RF power was applied to the parallel plate RF cathode at the frequency of 10 kHz and 80% duty ratio. A mixture gas of Ar, H2 and SiH4 was used for i-layer deposition and the deposition pressure was 0.4 Torr. For p and n layer deposition, B2H6 and PH3 was used as doping gas, respectively. The deposition temperature was $250^{\circ}C$ and the total p-i-n layer thickness was about $3500{\AA}$. In order to remove the deposited B inside of the vacuum chamber during p-layer deposition, a high pulsed RF power of about 80 W was applied right after p-layer deposition without SiH4 gas, which is followed by i-layer and n-layer deposition. Finally, Ag was deposited as top electrode. The best initial solar cell efficiency of 9.5 % for test cell area of 0.2 $cm^2$ could be achieved by applying the in-situ plasma cleaning method. The dependence on RF power and treatment time was investigated along with the SIMS analysis of the p-i interface for boron profiles.

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동아프리카 열곡대의 지질 및 광화작용 (Geology and Mineralization of East Africa Rift System)

  • 고상모;이길재;김의준;류충렬
    • 한국광물학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.331-342
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    • 2013
  • 동아프리카 열곡대는 아라비아반도와 아프리카 북동부의 경계에서 부채꼴 형태로 남쪽으로 뻗은 대단층 함몰지구대이다. 아프리카 판 내부에 발달한 열곡대의 폭은 35~60 km이며 연장은 약 4,000km로 알려져 있다. 열곡대는 에티오피아에서 남서방향으로 발달하다 에티오피아 남부에서 동, 서 및 남서 열곡대로 나누어진다. 이 열곡대는 제3기초 올리고세(30~35 Ma)부터 에티오피아 북부 아파르 침강대를 중심으로 주 에티오피아 열곡대가 형성되고, 남쪽으로 확장되면서 마이오세에 활성화된다. 서부 열곡대는 동아프리카대지의 가장자리와 빅토리아 호의 서편을 따라 발달하며, 고각의 정단층에 의해 특징되는 전형적인 반지구대이다. 동부 열곡대(주 에티오피아 열곡대와 케냐 열곡대)는 30 Ma 전 화산활동과 지구조활동이 시작되었으나, 서부 열곡대는 Albert 호 북부에서 12 Ma 전에, Tanganyika 열곡에서는 7 Ma 전부터 시작되었다. 서부 열곡대의 남서 방향으로 분기된 남서 열곡대는 DR-콩고 남부와 잠비아의 Tanganyika 호에서부터 남서 방향으로 확장되어 보츠와나 Okavango 열곡대와 연결된다. 주 에티오피아 열곡대(MER)의 화산암류와 관련 퇴적암류는 지열, 소다회, 포타쉬(K), 천열수 금, 벤토나이트, 유황 및 부석자원으로 중요한 관련암으로 역할을 한다. 열곡관련 대표적인 광상으로는 Afar 열곡대에 분포하는 Danakhil K-광상과 Megenta 및 Blackrock 천열수 금광상이다. Danakhil K-광상은 제4기 화산활동과 높은 지열류에 의해 열곡대 내 분포하던 소금 선상지(salt fan)에서 증발작용에 의해 형성된 증발형 K-광상으로서 총 자원량은 약 12.6억톤으로 평가되었다. 이 광상에서는 4종의 K-광물인 실바이트, 카날라이트, 포리하라이트, 카이나이트가 산출한다. 아파르 침강대 내 분포하는 대표적인 천열수 금광상은 텐다호 지구대에 위치하는 Megenta 및 Blackrock 광상이다. 제4기에 EMR에서 산성의 과알칼리 화산활동에 의해 열수활동이 초래되어 현재까지도 활동하여 지열대가 형성되고, 저유황형금 광상들이 형성되었다. Megenta 저유황형 금 광상은 2009년 발견되었으며, 현재 영국의 Startex International사에 의해 탐사가 진행 중이다. 지금까지의 탐사 결과 옥수질 규화 변질암 분포지에서 5개의 광체가 분포하며, 그중 Hyena 광체에서는 규화 변질된 열수각력암에서 최고 16.75 g/t의 금 품위가 보고되었다. 동아프리카 열곡대의 서편인 부룬디에 분포하는 Gakara REE 광상은 카보너타이트 유형의 REE 광상이다. 이 광상은 $400km^2$ 면적 내 수 cm부터 수 m까지의 폭을 가지는 맥상 또는 망상세맥상의 광체를 형성한다. 주로 조립의 바스트너사이트와 모나자이트로 구성된다. 바스트너사이트의 형성시기는 $587{\pm}4Ma$인 신원생대로 알려져 있으며, 이 지역에 분포하는 카보너타이트와 알칼리암들이 신원생대에서 신생대까지의 광범위한 연대를 보이는 것은 동일한 구조선을 따라서 일어나는 반복되는 열곡활동으로 해석된다. 또한 REE, U, 인회석 자원의 관련암체로 생각되는 알카리 조면암(네펠린-조면암 포함)과 카보너타이트는 동아프리카 열곡대의 남동부 끝자락인 말라위와 모잠비크에 우세하게 분포한다.

Bacillus licheniformis로부터 생산된 ${\alpha}-Galactosidase$의 가수분해 활성 (Hydrolysis Activity of ${\alpha}-Galactosidase$ from Bacillus licheniformis)

  • 김현숙;이경섭;소재호;윤기홍
    • 미생물학회지
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    • 제40권4호
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    • pp.328-333
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    • 2004
  • [ ${\alpha}$ ]-갈락토올리고 당인 melibiose, raffinose와 stachyose의 ${\alpha}-1,6$으로 결합된 D-galactosyl 잔기를 완전히 가수분해하는 것으로 확인된 Bacillus licheniformis YB-42의 ${\alpha}-galactosidase$는 사멸기에 도달하였을 때 배양상등액에서 최대활성을 보였다. ${\alpha}$-갈락토올리고 당의 가수분해 정도를 TLC와 환원당 생성량으로 분석한 결과, ${\alpha}-galactosidase$는 melibiose, raffinose, stachyose 순서로 가수분해 활성이 높았다. 반응산물인 당을 첨가하여 반응하였을 때 첨가 된 반응산물에 따라 가수분해 활성의 저해정도가 다르게 나타났으며, galactose에 의한 저해도가 가장 높았다. 첨가된 당의 농도 (20 mM)가 기질과 동일할 때는 가수분해 활성의 저해도가 미미하였으며 5배 농도로 첨가하였을 때도 가수분해 활성의 저해정도가 높지 않았다. 한편 소량의 효소로melibiose를 가수분해 하였을 때 반응초기에 TLC 상에서 기질보다 이동도가 낮은 물질이 생성되었으며, 이로보아 B. licheniformis YB-42의 ${\alpha}-galactosidase$는 당 전이활성을 갖는 것으로 여겨진다. 또한 대두분 추출액을 ${\alpha}-galactosidase$로 처리한 후 최종 반응산물을 분석한 결과, 대두분에 존재하는 raffinose와 stachyose가 완전히 가수분해 되었다.

한국의 낙농시설 개선에 관한 연구 (A Study on the Improvement of Dairy Rousing Systems in Kore)

  • 김문기;고재군;김현욱
    • 한국농공학회지
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    • 제24권1호
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    • pp.31-43
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    • 1982
  • Engineering phase of dairy housing systems has close connection with the milk produc- tivity of dairy cattle, the quality of milk, extension of dairy production systems, labor- saving in management of dairy cattle and the like. Moreover, the rate of investment of dairy housing facilities is of relatively high level, However, there has been almost no research effort for the improvement of engineering aspects of dairy housing systems in Korea. The purpose of this study is to find out general engineering problems and to recomm- end the improvement in dairy housing systems in Korea. Field survey by means of questionaire, direct measurements, taking pictures and sketching was conducted to get necessary information for the study. Kyung-ki Do region was firstly chosen for sampling area since it has included more than half of the number of dairy farms of the whole country. The results obtained are summarized as follows: 1. In overall dairy farm layout, the dwellings of workers were ignored in the light of sanitary environment 2. The layout of stalls in a dairy barn belongs mostly to the type of double-row face-out, which is compatible with the emphasis of manure disposal activities. 3. While the width and length of stalls were sufficiently close to the standard dimension, the width of mangers was much less than the standard dimension. 4. The width and depth of manure gutters and the width of working alleys were much. less than the standard dimension. 5. The mooring equipment was mostly in the classes of chain or rope. The watering equipment was not facilitated independantly except the one cese of using watercup. 6. The bucket milkers with one or two bucket milkers with the capacity of two cattles. each were used as milking equipment in most dairy farms. 7. There were only few milk rooms independently spaced from other space, in which the arrangement of milking equipment was much less than the standard condition. 8. The lounging ground area was averaged to be sufficient for the activity of dairy herd. 9. Silos for silage used during winter consisted of mostly bunker silos, trench silos and underground vertical silos. Ordinary vertical silos were considered for the farmers to be inconvenient for the labor saving. 10. From the view point of heat conservation and moisture removal within the dairy barns, windows were not flexible for the easy ventilation and ceiling part was not adequate for temperatur maintenance. 11. Waste treatment and disposal systems were not provided with most dairy farms, therefore the livestock waste pollution problems would be serious in the near future.

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공적분과 인과관계 분석을 통한 국제원유시장의 지역화 연구 (A Study on Regionalization in the World Crude Oil Markets Using Cointegration and Causality Analysis)

  • 김진수;허은녕;김연배
    • 자원ㆍ환경경제연구
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    • 제16권2호
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    • pp.213-237
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    • 2007
  • 국제원유시장의 지역화에 대한 논의는 에너지 정책을 수렵하는데 중요한 자료를 제공한다. 특히 우리나라와 같이 하나의 시장에서 80% 가량의 원유를 수입하고 있는 국가에게는 국제원유시장의 지역화 여부는 중요한 문제이다. 본 연구에서는 이와 같이 중요한 의의를 가지는 국제원유시장의 지역화를 분석하기 위해서 기존 연구의 공적분 분석 방법론과 함께 가격의 선행 관계와 시차를 고려할 수 있는 인과관계 분석 방법론을 사용하였다. 중동시장의 Dubai유, 유럽시장의 Brent유, 미국시장의 WTI유와 동아시아시장의 Tapis유를 대상으로 국제원유시장의 지역화 여부를 분석하였으며, 공적분 관계가 성립하지 않는 가격에 대해서는 시차의 변경을 고려할 수 있는 Hsiao (1981)의 인과관계 분석방법론을 사용하였다. 또한 공적분 관계가 성립하여 장기적인 균형관계에 놓여 있는 가격에 대해서는 벡터오차수정모형을 사용하여 인과관계를 분석하였다. 공적분 분석 결과 Brent, WTI, Tapis 유의 가격은 서로 장기적인 균형관계가 성립하지만 중동시장의 Dubai유와 이들 세 시장의 가격 사이에서는 장기적인 균형관계를 발견할 수 없었다. 그러나 가격의 선행 관계와 시차를 고려할 수 있는 인과관계 분석을 수행한 결과 Dubai 시장을 포함한 국제원유시장은 1주에서 5주의 시차를 가지고 서로의 가격 변화에 영향을 주는 단일화된 시장이라는 결론을 도출할 수 있었다. 따라서 국제원유시장은 하나의 커다란 단일화된 시장이라는 Adelman (1984)의 가설은 타당하다고 할 수 있다.

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중국의 입국관광 성장과 입국관광객의 공간적 분포 변화 (Inbound Tourism Growth and the Changing Spatial Distribution of Inbound Tourist Flows at the Regional Level in China)

  • 최경은
    • 한국지역지리학회지
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    • 제16권4호
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    • pp.400-416
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    • 2010
  • 중국은 개혁개방 이후 입국관광을 경제성장을 위한 주요 동력 중의 하나로 인식하고 외국인의 중국 방문을 적극적으로 지지하였다. 이에 외국인 관광객 수가 빠르게 증가함에 따라 중국은 2008년 현재 입국관광객 수 기준 세계 4위에 올라 있다. 이 연구에서는 중국의 관광통계 자료를 토대로 중국의 입국관광 성장을 살펴보고 지역단위(31개 성급 행정구역)에서 방중 외국인 관광객의 공간적 분포에 대해 1995년과 2008년을 비교분석하였다. 특히 6개 국가(한국, 일본, 싱가포르, 미국, 독일, 러시아)를 대상으로 공간적 분포의 특징과 변화를 파악하는데 중점을 두었다. 러시아를 제외한 5개 국가의 경우, 국가별로 조금씩 차이가 있을지라도, 여전히 관광객이 동부지역에 밀집되어 있고 서부지역으로 갈수록 그 분포가 희박한 반면, 중부지역의 방문이 점점 더 증가하고 있다. 반면 러시아는 북부지역과 최남단지역의 방문이 두드러져 상당히 다른 분포 패턴을 보였다. 이 연구는 중국의 입국관광 관점에서 중국 지역의 변화와 역동성을 이해하고자 하였다.

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유독성 와편모류 Alexandrium catenella에 대한 Pseudoalteromonas sp. NH-12의 살조능 (The Algicidal Activity of Pseudoalteromonas sp. NH-12 against the Toxic Dinoflagellate Alexandrium catenella)

  • 정남호;손홍주;정성윤
    • 한국환경농학회지
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    • 제31권2호
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    • pp.175-184
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    • 2012
  • 우리나라뿐만 아니라 전 세계적으로 적조 및 마비성 패독을 일으켜 문제시되고 있는 유독성 와편모류인 A. catenella 를 살조시키는 해양미생물 Pseudoalteromonas sp. NH-12를 마산만의 적조발생 해역에서 분리, 동정하고 그 특성과 살조능에 대해 연구함으로써 보다 환경 친화적인 적조 구제 기술개발의 기초 자료를 제공하고자 하였다. 적조발생 해역인 마산만의 해수에서 분리한 38개의 해양미생물 균주 중 4종의 미생물이 A. catenella 에 대해 살조능을 나타내었으며, 이중 살조능이 가장 우수한 NH-12 균주를 선별하였다. 본 균주는 API kits 및 16S rRNA gene 염기서열을 분석하여 계통분류를 행한 결과 Pseudoalteromonas 속으로 분류되었으며, 최적 배양조건은 $25^{\circ}C$, pH 8.0, 3.0% NaCl 농도였다. Pseudoalteromonas sp. NH-12의 성장 단계별 살조능은 대수증식기 후기, 정지기, 대수증식기 중기, 유도기 순으로 높게 나타났다. 살조물질은 대수증식기 중기 이후에 활발히 생산되기 시작하여 대수증식기 후기에 가장 고농도로 축적되는 것으로 판단된다. 2조 배양계를 이용한 살조 유형 조사에서 Pseudoalteromonas sp. NH-12는 격리된 상태에서도 A. catenella 를 살조시켜 '직접 공격형'이 아니라 세포외로 물질을 분비하여 살조시키는 '살조인자 분비형'으로 확인되었다. 또한 NH-12 균주 배양여과액을 5% 첨가하였을 때 36시간 후에 A. catenella 는 100% 살조되었고, 10%를 첨가한 경우 24시간 후에 99% 이상 살조되었다.

알코올 사용 장애자의 언어 작업 기억과 관련된 뇌의 보상 기전: fMRI 연구 (fMRI evidence of compensatory mechanisms during a verbal working memory task in individuals with alcohol use disorders)

  • 박미숙;손선주;박지은;음영지;김숙희;유인규;손진훈
    • 한국감성과학회:학술대회논문집
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    • 한국감성과학회 2009년도 춘계학술대회
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    • pp.101-104
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    • 2009
  • This study investigated compensatory mechanisms in the brain during a verbal working memory task among people with Alcohol Use Disorders (AUD). A total of 21 college male students participated in the study: eleven AUD participants and 10 normal controls. Study participants were asked to complete the Korean version of the Wechsler Adult Intelligence Scale-III (K-WAIS-III) prior to the fMRI experiment. Verbal 0-back and 2-back tasks were used to assess brain activities of the participants' verbal working memory. Brain scanning was performed on Siemens SONATA 1.5T Scanner while participants were performing the 0-back and 2-back tasks. Within the AUD group, participants with greater dependency to alcohol (based on DSM-IV criteria) in the past 1 year showed lower mean score on the 'Similarities' of the K-WAIS-III (r=-0.63, p<0.05, N=11). The more participants experienced alcohol withdrawal symptoms in the past 1 year, the lower the score they received on the K-WAIS-III 'Picture Arrangement' (r=-0.69, p<0.05, n=11). The fMRI regression results showed that individuals who present greater degree of alcohol dependency symptoms are likely to show greater brain activation in the bilateral middle frontal gyri (BA 9) during the verbal working memory task. The degree of alcohol withdrawal symptoms were associated with increased brain activation in the left superior and middle frontal gyri (BA8), left precentral gyrus (BA 6), and left inferior parietal lobule (BA 40). The study findings showed that the degree of alcohol abuse/dependence and withdrawal symptoms were associated with decreased cognitive function and increased activations in brain regions particularly important for abstract reasoning (BA 9), central executive (BA 9), or spatial storage (BA 40) during a working memory task. Therefore, these results could support previous studies suggesting that the neural system of people with ADD may adopt a brain compensatory mechanism to maintain normal level of cognitive functions.

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아크롤레인 선택 산화반응에서 Mo-V-O와 금속산화물의 상간협동 (Phase Cooperation Between Mo-V-O and Metal Oxide in Selective Oxidation of Acrolein)

  • 박대원;나석은;김경훈;이원호;정종식
    • 공업화학
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    • 제5권2호
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    • pp.327-336
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    • 1994
  • 본 연구는 아크롤레인의 선택산화반응에서 Mo-V-O와 금속산화물의 기계적 혼합촉매에 대한 synergy 효과를 고찰한 것으로 금속산화물로는 $SnO_2$, ${\alpha}-Sb_2O_4$, $WO_3$, ${\alpha}-Al_2O_3$, CuO, $MnO_2$, $Cu_2O$, MgO, CoO 그리고 ZnO 등을 사용하였다. $SnO_2$${\alpha}-Sb_2O_4$와 Mo-V-O의 혼합물 촉매는 Mo-V-O보다 높은 전화율과 수율을 나타내었는데 이것은 이들이 산소 빈자리에 해리 홉착된 산소를 형성하여 Mo-V-O에 전달하는 상간협동에 의한 것으로 판단된다 그러나 $Cu_2O$, MgO, CuO, $MnO_2$와 Mo-V-O의 혼합물 촉매의 경우 전화율은 증가하였으나 수율은 감소하였고, CoO와 ZnO는 Mo-V-O의 촉매성능을 억제하였다. 각 금속산화물의 역할이 서로 다른 점을 그들의 산화-환원 특성으로 설명하였다.

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ProFile®, ProTaperTM 및 K3TM Ni-Ti 파일의 과기구 조작이 치근단공 변위에 미치는 영향 (A STUDY ON TRANSPORTATION OF APICAL FORAMEN AFTER OVERINSTRUMENTATION BY PROFILE® ;PROTAPERTM AND K3TM IN SIMULATED CANALS WITH DIFFERENT CURVATURES)

  • 양현;양인석;황윤찬;황인남;윤숙자;김원재;오원만
    • Restorative Dentistry and Endodontics
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    • 제32권2호
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    • pp.87-94
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    • 2007
  • 본 연구는 ProFile, ProTaper 및 $K^3$를 이용하여 과잉 기구 조작에 의해 근관 성형 시 근관의 만곡형태와 Ni-Ti 파일의 종류에 따라 치근단공이 어떻게 변위 되는지를 비교 분석하고자 시행되었다. 본 실험에서는 레진모형근관으로 J자와 S자의 근관 형태가 재현된 ENDO-TRAINING BLOC을 사용하였다 근관성형 기구로는 $ProFile^{(R)},\;ProTaper^{TM},\;K^{3TM}$를 사용하였다. 총 60개의 레진모형근관을 사용하였으며, 사용된 레진모형근관 및 Ni-Ti 파일의 종류에 따라 10개씩 6개의 군으로 나누어 근관성형을 시행하였다. 근관 성형 전 후 이미지를 Image-analyzing microscope 100X를 이용하여 얻고 Photoshop 7.0 프로그램을 이용하여 중첩하였다. 이미지 분석 프로그램을 이용하여 근관 성형 전 후 치근단공의 중심으로부터의 직경 변화량과 면적을 측정한 결과 만곡된 근관의 성형시 치근단공이 주로 만곡의 외측으로 변위됨을 나타내며 ProFile이 ProTaper나 $K^3$보다 통계적으로 유의성이 있게 작은 변화량을 나타내어 근관성형시 바람직한 기구임을 시사한다.