• 제목/요약/키워드: XPS analysis

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화학증착법에 의해 제조된 PbTiO$_3$ 박막의 AES와 XPS에 의한 조성분석 (The Chemical COmposition Analysis by AES and XPS of PbTiO$_3$ Thin Films Fabricated by CVD)

  • Soon Gil Yoon;Ho Gi Kim
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 1989년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.83-86
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    • 1989
  • Lead titanate thin films with a perovskite structure were successfully structure were successfully fabricated on titanium substrate by Chemical Vapour Deposition(CVD). Analyses of Auger Electron Spectroscopy(AES) and X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) have been performed in order to find a chemical composition of lead titanate films. The analysis of chemical composition by AES and XPS was investigated for variations of deposition temperature and Ti(C$_2$H$_{5}$O)$_4$ fractions. The chemical composition of PbTiO$_3$by XPS analysis was almost constant regardless of deposition parameters and the comparison of chemical composition by AES and XPS was performed.d.

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XPS와 SIMS에 의한 Co-Ni과 Au-Cu 합금표면 정량분석 연구 (Quantitative Surface Analysis of Co-Ni and Au-Cu alloys by XPS and SIMS)

  • 김경중;문대원;이광우
    • 한국진공학회지
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    • 제1권1호
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    • pp.106-114
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    • 1992
  • 여러 조성의 Co-Ni 합금과 Au-Cu 합금에 대하여 XPS와 SIMS 분석방법을 사용하 여 표면분석의 정량화 연구를 수행하였다. XPS의 경우 Co-Ni 합금에 대하여는 수정 없이 고순도 시료만으로 1~2% 상대오차 범위 내에서 정량분석이 가능하였고, Au-Cu 합금의 경 우에는 고순도 시료만을 표준시료로 사용하여서는 정량 분석이 불가능하였고 실험적인 수정 인자를 사용한 경우 1~2% 상대오차로 정량분석이 가능하였다. Au-Cu 합금의 경우 여러 조성이 표준시료가 없는 경우 이론적인 수정인자를 사용하는 경우 10%의 상대오차로 정량 분석이 가능하였다. Co-Ni 합금을 SIMS 분석하였을 때 Co와 Ni의 이차이온 세기의 비가 넓은 농도 범위에서 각 성분의 농도의 비와 직선관계를 가져 SIMS에 의한 합금의 정량분석 이 가능하였다. 또한 VAMAS-SCA Japan Project의 XPS 공동분석의 예비 결과도 주어져 있다.

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Characterization of Surface Properties of $BaTiO_3$ Powder by XPS

  • Chun, Myoung-Pyo;Cho, Jung-Ho;Kim, Byung-Ik
    • 한국분말야금학회:학술대회논문집
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    • 한국분말야금학회 2006년도 Extended Abstracts of 2006 POWDER METALLURGY World Congress Part 1
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    • pp.678-679
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    • 2006
  • The effects of particle size on the surface properties of hydro-thermally synthesized barium titanate powders were investigated by means of particle size analysis, specific surface area, SEM, zeta potential and XPS. Particle sizes were measured by laser light scattering and are in the range of 150 to 1100nm. Zeta potential increased with increasing particle size and it was large minus value in the range of particle size from 500 to 900nm, which seems to be related with the dissolution of $Ba^{2+}$ ion in these particle sizes from the analysis of surface properties by XPS.

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XPS 분석에 의한 AZO 박막의 전기전도 메커니즘 해석 (Electric conduction mechanism Analysis of AW Thin Films using XPS Measurement)

  • 진은미;김경민;박춘배
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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    • pp.446-447
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    • 2007
  • Aluminisum-doped zinc oxide (AZO) films are attractive materials as transparent conductive electrode because they are inexpensive, nontoxic and abundant element compared with indium tin oxide (ITO). In our paper, AZO films have been deposited on glass (coming 1737) substrates by RF magnetron sputtering. The AZO film was post-annealed at $600^{\circ}C$, $800^{\circ}C$ for 2 hr with $N_2$ atmosphere, respectively. We investigated that the electric properties and qualitative analysis of AZO films, which measured using the methods of Hall effect, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS).

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$Cd_{1-x}Co_xIn_2Se_4$ 결정의 XPS 분석 (XPS Analysis of $Cd_{1-x}Co_xIn_2Se_4$ Crystals)

  • 최성휴
    • 한국진공학회지
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    • 제3권3호
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    • pp.355-359
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    • 1994
  • Cd1-xCoxIn2Se4(X=0.50) 결정을 수직 Bridgman 방법으로 성장시키고 성장된 결정의 결정구조 및 XPS 특성을 연구하였다. 성장된 결정은 pseudocubic 구조이고 격자상수는 a=5.778$\AA$으로 주어졌다. Cd1-xCoxIn2Se4 결정의 각 성분원소인 cadmium cobalt indium 그리고 selenium에 대한 XPS spectrum으 로부터 결합에너지와 결합상태를 조사하였다. Cd1-xCoxIn2Se4결정과 결합하지 안는 각 성분원소인 cadium cobalt imdium 그리고 selenium에 대한 core level의 XPS spectrum과 비교하면 각 성분원소상 이의 결합에 의한 chemical shift 현상 때문에 core level의 결합에너지가 0.10~4.87 eV 차이가 있다. Cd1-xCoxIn2Se4 결정에서 Co 2P3/2 core level의 주 peak와 statellite peak와의 결합에너지 차이로부터 cadmium과 치화된 cobalt는 Co2+ ion으로 Td symmetry 점에 위치함을 알 수 있다.

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XPS 및 Surface voltage decay를 이용한 실리콘 절연재료의 표면분석 (Surface Analysis of Silicone Polymer used as Insulating Material by XPS and Surface Voltage Decay)

  • 연복희;이기택;박충렬;김남렬;서유진;허창수;조한구
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2002년도 추계학술대회 논문집 Vol.15
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    • pp.236-239
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    • 2002
  • Surface states of silicone polymer treated by plasma were investigated by the analysis by x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and surface voltage decay. Plasma treatment causes the silica-like oxidative layer, which is confirmed with XPS, and lowers surface resistivity with increasing the plasma treatment time. Using the decay time constant of surface voltage, the calculated surface resistivity was compared with the value directly measured by a voltage-current method. A good agreement between two methods was obtained. In addition, we estimated the thermal activation energy for surface conduction, Based on our results, we could understand the relationship between surface chemical states and surface electrical properties.

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원격 플라즈마 화학기상증착법에 의해 중합된 아크릴산 필름의 XPS 분석 (XPS Analysis of Acrylic Acid Films Polymerized by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition)

  • 김성훈;서문규
    • 공업화학
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    • 제20권5호
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    • pp.536-541
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    • 2009
  • 플라즈마 중합 아크릴산 필름을 원격 플라즈마 방식으로 Si과 KBr 기판 위에 증착하였다. 플라즈마 출력, 반응 압력, 간접 플라즈마 방식이 필름의 성장속도, 화학적 구조 및 화학 결합 상태 등에 미치는 영향을 조사하였다. 화학 구조와 화학적 상태는 FT-IR, XPS 분석과 curve fitting 기법으로 분석하였다. 플라즈마 출력에 따른 필름의 성장속도는 100 W에서 포화값을 보이지만, 압력에 대해서는 300 mtorr에서 최대값을 나타내었다. 플라즈마 출력을 높이거나 압력을 낮추면 단위 입자들에게 가해지는 에너지 값(W/FM)이 증가하여 아크릴산 분자의 파괴가 촉진되었다. XPS curve fitting 분석 결과, W/FM값이 커질수록 카르복실 COO 결합은 감소하지만 에테르 C-O 결합과 카보닐 C=O 결합은 증가하여 서로 반대의 경향을 보임을 확인하였다.

XPS 분석을 통한 CrMoN 코팅의 마찰마모 거동 연구 (Tribological Behavior Analysis of CrMoN Coating by XPS)

  • 양영환;여인웅;박상진;임대순;오윤석
    • 대한금속재료학회지
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    • 제50권8호
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    • pp.549-556
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    • 2012
  • The tribological behavior of CrMoN films with respect to surface chemistry was investigated by using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). All of the films were prepared from a hybrid PVD system consisting of DC unbalanced magnetron (UBM) sputtering and arc ion plating (AIP) sources. The tribological property of the films was evaluated by a friction coefficient using a Ball-on-disk type tribometer. The chemistry of wear track was analyzed by energy dispersive spectroscopy (EDS) and XPS. The friction coefficient was measured to be 0.4 for the CrMoN film, which is lower than that of a monolithic CrN film. EDS and XPS results imply the formation of an oxide layer on the coating surface, which was identified as molybdenum oxide phases, known to be a solid lubricant during the wear test.