R.F. 스퍼터링을 이용한 $Cu_xN$ 박막의 증착 및 펜타센 반도체 소자에서의 소스/드레인 전극 특성 분석
-
- 한국진공학회:학술대회논문집
- /
- 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
- /
- pp.81-81
- /
- 2008