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다결정 실리콘 기판 위에 형성된 나노급 니켈 코발트 복합실리사이드의 미세구조 분석 (Microstructure Characterization on Nano-thick Nickel Cobalt Composite Silicide on Polycrystalline Substrates)

  • 송오성
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제8권2호
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    • pp.195-200
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    • 2007
  • 최소선폭 $0.1{\mu}m$ 이하의 살리사이드 공정을 상정하여 $10nm-Ni_{0.5}Co_{0.5}/70\;nm-Poly-Si/200\;nm-SiO_2$ 구조로부터 쾌속 열처리를 이용해서 실리사이드 온도를 $600{\sim}1100^{\circ}C$까지 변화시키면서 복합실리사이드를 제조하고 이들의 면저항의 변화와 미세구조의 변화를 면저항 측정기와 TEM 수직단면, 오제이 두께 분석으로 확인하였다. 기존의 동일한 공정으로 제조된 니켈실리사이드에 비해 제안된 니켈 코발트 복합실리사이드는 $900^{\circ}C$까지 저저항을 유지시킬 수 있는 장점이 있었고 20nm 두께의 균일한 실리사이드 층을 폴리실리콘 상부에 형성시킬 수 있었다. 고온 처리시에는 복합실리사이드와 실리콘의 전기적으로 상분리되는 혼합현상으로 고저항 특성이 나타나는 문제를 확인하였다. 제안된 NiCo 합금 박막을 70nm 높이의 폴리실리콘 게이트를 가진 디바이스에 $900^{\circ}C$이하의 실리사이드화 온도에서 효과적으로 산리사이드 공정의 적용이 기대되었다.

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단전호흡 수련인과 비수련인의 신체건강, 불안, 우울정도 비교 (A Comparison of Physical Health, Anxiety and Depression between the Dan-Jeon Breathing Trained group and non-trained group)

  • 현경선;강현숙;안동환
    • 성인간호학회지
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    • 제12권2호
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    • pp.245-255
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    • 2000
  • The purpose of this study is to compare the physical health, anxiety and depression of the Dan-Jeon Breathing trained group with those of a non-trained group and to analyze the relationship between the training period of Dan-Jeon Breathing method and physical health, anxiety, and depression. The number of people in the Dan-Jeon Breathing trained group over 3 months was 149 and in the non-trained group 142. Data were collected from August to October 1999. As tools, 35 physical symptom questions were chosen from The Cornell Medical Index modified by Nam(1965) and from the Symptom Checklist-90-Revision(SCL-90-R) by Kim(1984); 10 questions on anxiety and 13 questions on depression were used in the study. The statistics of the study were gathered by using SPSS Window; the analysis was made by applying $X^2$-test, t-test, Pearson correlation, ANOVA and Scheffe tests. The results were as follows. 1. The Dan-Jeon Breathing trained group had lower physical symptom score and showed less anxiety and depression than the non-trained group, which supported the 1st, 2nd, 3rd hypotheses. 2. The longer the training period of Dan-Jeon Breathing, the lower the physical symptom score, which supports the 4th hypothesis, but the 5th and, 6th hypotheses were not supported because anxiety and depression did not get lower as the training period of Dan-Jeon Breathing got longer. 3. The physical symptom score, anxiety and depression that were made by the general characteristics of Dan-Jeon Breathing trained group were analyzed. As a result, the physical symptom score of women was greater than that of men. Physical symptoms score and the rate of anxiety and depression were different by education levels. The degree of anxiety was different by age. Those who have a religion have a higher physical symtoms score than people who have no religion. There was no difference in physical health score, anxiety and depression according to marital status, economic status and occupations. The results suggest that the physical and mental health status of Dan-Jeon Breathing trained group is better than that of the non-trained group. Physical symptoms scores gets lower as the training period of Dan-Jeon Breathing gets longer which results in the improvement of physical health status.

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3차원 두부영상의 기준좌표계 설정을 위한 연구: 1부 CT영상에서 3차원 계측점의 재현성 (Formulation of a reference coordinate system of three-dimensional (3D) head & neck images: Part I. Reproducibility of 3D cephalometric landmarks)

  • Park, Jae-Woo;Kim, Nam-Kug;Chang, Young-Il
    • 대한치과교정학회지
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    • 제35권5호
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    • pp.388-397
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    • 2005
  • 이 연구는 기존의 두부방사선사진에서 사용되었던 계측점들을 3차원으로 재구성한 CT자료에서 다시 정의하고, 그 점들의 재현도를 조사함으로써. 재현성이 높고 해부학적 특징을 잘 표현하는 점들을 제안하고자 시행하였다. 3차원 영상에서 상대적 좌표 값을 구하기 위해 어느 4점도 같은 평면에 존재하지 않는 7개의 고정점을 선정하여 기준 좌표계를 설정하였다. V works 4.0 (Cybermed inc., Seoul. Korea)을 이용하여 고정점과 1점 설정을 위한 volume model (voxel size=4*4*2, threshold value-639)을 형성한 후 계측점을 선택하였으며. 나머지 점들은 모두 volume mode의 MPR 창을 이용하여 선정하였다 이렇게 선정한 계측점을 V 녁ㅎㄷ교 (Cybermed Inc.. Seoul, Korsa)로 이출하여 각 점의 상대적 공간 좌표 값을 구하였다 모든 자료는 2주 간격으로 2번 측정한 후 재현도를 계산하였다 각 계측점의 재현도는 x축 $0.13\~1.24mm$, y축 $0.23\~1.53mm$, z축 $0.15\~1.81mm$로 유사한 범위를 보였다 재현도가 우수한 것은 고정점을 이용한 1점이며 봉합에 의해 정의되는 J점의 재현도가 비교적 낮게 나타났다.

Pt와 Ir 첨가에 의한 니켈모노실리사이드의 고온 안정화 (Thermal Stability Enhancement of Nickel Monosilicides by Addition of Pt and Ir)

  • 윤기정;송오성
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제13권4호
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    • pp.27-36
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    • 2006
  • 약 10%이하의 Pt 또는 Ir 첨가시켜 니켈모노실리싸이드를 고온에서 안정화 시키는 것이 가능한지 확인하기 위해서 활성화영역을 가정한 단결정 실리콘 웨이퍼와 게이트를 상정한 폴리 실리콘 웨이퍼 전면에 Ni, Pt, Ir을 열증착기로 성막하여 10 nm-Ni/l nm-Pt/(poly)Si, 10 nm-Ni/l nm-Ir/(poly)Si 구조를 만들었다. 준비된 시편을 쾌속 열처리기를 이용하여 40초간 실리사이드화 열처리 온도를 $300^{\circ}C{\sim}1200^{\circ}C$ 범위에서 변화시켜 두께 50nm의 실리사이드를 완성하였다. 완성된 Pt와 Ir이 첨가된 니켈실리사이드의 온도별 전기저항변화, 두께변화, 표면조도변화, 상변화, 성분변화를 각각 사점전기저항측정기와 광발산주사전자현미경, 주사탐침현미경, XRD와 Auger depth profiling으로 각각 확인하였다. Pt를 첨가한 결과 기판 종류에 관계없이 기존의 니켈실리사이드 공정에 의한 NiSi와 비교하여 $700^{\circ}C$ 이상의 NiSi 안정화 구역을 넓히는 효과는 없었고 면저항이 커지는 문제가 있었다. Ir을 삽입한 경우는 단결정 실리콘 기판에서는 $500^{\circ}C$ 이상에서의 NiSi와 동일하게 $1200^{\circ}C$까지 안정한 저저항을 보여서 Ir이 효과적으로 Ni(Ir)Si 형태로 $NiSi_{2}$로의 상변태를 적극적으로 억제하는 특성을 보이고 있었고, 다결정 기판에서는 $850^{\circ}C$까지 효과적으로 NiSi의 고온 안정성을 향상시킬 수 있었다.

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Geobit을 이용한 가스 하이드레이트 탐사자료 처리 (Seismic Data Processing For Gas Hydrate using Geobit)

  • 장성형;서상용;정부흥;류병재
    • 지구물리와물리탐사
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    • 제2권4호
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    • pp.184-190
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    • 1999
  • 가스 하이드레이트는 전세계적으로 새로운 에너지 자원으로 활용 가능성을 포함하고 있어 연구가 활발하게 진행되고 있다. 한국자원연구소에서는 1997년 부터 동해에서 메탄 하이드레이트 부존 잠재력 규명을 위한 탄성파 탐사를 하고 있다. 탄성파 자료에서 하이드레이트 부존을 의미하는 일반적인 특성은 해저면과 평행하게 나타나는 BSR(Bottom Simulating Reflection)과 BSR 상부에서 보이는 진폭감소 그리고 BSR 하부에서 보이는 진폭증가와 구간속도의 감소 그리고 BSR에서 반사파의 역전현상 등이 있다. 따라서 위와 같은 하이드레이트 부존특성을 탐지하기 위한 목적으로 실시되는 자료처리는 진 진폭을 유지하는 자료처리, 정밀 속도분석 및 AVO분석 등이 요구된다. 본 연구는 1998년 동해에서 취득된 탄성파 탐사자료를 처리하여 하이드레이트 부존 가능성을 확인하고자 하였다. 적용된 자료처리 공정은 구형확산 보정과 주파수 필터링, 공심점 분류, 정밀 속도분석 공정 등이다. AVO분석은 이용된 현장자료가 AVO를 분석할 정도의 입사각을 유지하고 있지 않아 제외하였다. 정밀 속도분석은 반복적으로 속도 스펙트럼을 구하는 방법으로 정확한 중합속도 결정이 가능한 XYA를 이용하였으며 자료처리의 모든 공정은 국내고유의 탄성파 자료처리 소프트웨어인 Geobit 2.9.5 를 이용하였다. 자료처리 결과 음원위치 $1650\~1900$에서 해저면으로 부터 약 $367\~477m$ 깊이(왕복주시 약 1800ms)에 해저면과 평행하게 발달한 BSR을 확인할 수 있었으며, BSR부근에서 구간속도 감소 뿐만 아니라 해저면 반사파의 위상과 반대인 반사파 역전현상도 확인할 수 있었다.

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비파괴 판독형 메모리 소자를 위한 저유전율 강유전체 $YMnO_3$박막의 특성 연구 (Characteristics of ferroelectric $YMnO_3$ thin film with low dielectric constant for NDRO FRAM)

  • 김익수;최훈상;최인훈
    • 한국진공학회지
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    • 제9권3호
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    • pp.258-262
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    • 2000
  • $YMnO_3$박막은 고주파 스퍼터를 사용하여 Si(100)과 $Y_2O_3$/si(100)기판에 증착하였다. 증착시에 산소 분압의 조건과 열처리 온도는 YMnO$_3$ 박막의 결정성과 그 메모리 윈도우의 특성에 매우 중요한 영향을 주었다. XRD 측정 결과 산소 분압 0%에서 증착후 $870^{\circ}C$에서 1시간 동안 후열처리한 $YMnO_3$ 박막은 c-축을 따라 매우 잘 배향되었음을 확인하였다. 반면 산소분압 20%에서 Si(100)과 $Y_2O_3$/Si(100) 기판위에 증착된 $YMnO_3$박막의 결정화는 XRD측정 결과 $Y_2$O$_3$ peak가 보이는 것으로 보아 YMnO$_3$박막내에 과잉의 $Y_2O_3$가 c-축으로의 배향을 억제하는 것을 알 수 있다. 특히 산소분압 0%에서 증착한 Pt/$YMnO_3/Y_2O_3$/Si 구조에서의 메모리 윈도우 특성은 c-축으로 잘 배향된 결과로 인해 인가전압 2~12V에서 0.67-3.65V이었으며 이는 $Y_2O_3$/si 기판위에 산소분압 20%에서 증착한 박막 (0.19~1.21V)보다 동일한 인가전압에서 3배 정도의 큰 메모리 윈도우 특성을 보였다.

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카지노 시큐리티 종사자의 운동변화단계에 따른 신체적 자기개념과 자기 효능감의 관계 (The Relationship between the Stage of Exercise Behavior Change and Physical Self-Concept and Self-Efficacy of Casino Security Employees)

  • 전용태;오중일
    • 시큐리티연구
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    • 제21호
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    • pp.95-120
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    • 2009
  • 본 연구는 카지노 시큐리티 종사자의 운동변화단계에 따른 신체적 자기개념과 자기효능감의 관계를 규명하는데 목적이 있다. 연구의 목적 달성을 위하여 전국 카지노 17개업체중 시큐리티 관련업무 30명 이상을 고용하고 있는 8개의 업체를 모집단으로 설정하여 표본을 추출하였다. 이 연구에서 시큐리티 종사자 30명 이상을 고용하고 있는 업체를 선정한 이유는 30명 이하의 영세한 업체에서 조직구성 및 직무체계와 환경이 대체적으로 차이가 있으므로 이에 따른 연구결과를 일반화하기에는 다소 제한적이라고 판단되기 때문이다. 편의 추출법(convenience sampling)에 의하여 대상을 표집 하였으며, 선정된 연구대상자는 본 연구의 취지 및 설문조사 교육을 받은 조사원을 통해 운동변화단계에 따른 신체적 자기개념과 자기효능감의 관계 설문지를 자기평가 기입법(self-administration method)에 따라 설문조사를 실시하였다. 연구 조사 자료의 결과를 처리하기 위하여 Window SPSS 16.0프로그램을 이용하여 분석하였으며, 측정도구의 타당성을 검증하기 위해 탐색적 요인분석(factor analysis)과 신뢰도 검증을 위하여 하위 척도별 내적 일관성 계수(Cronbach's alpha)를 산출하였다. 주성분 분석(principle component factor analysis)을 이용하였으며. 요인회전방법으로 직각회전방식(varimax rotation)을 이용하였다. 초기 고유값(Eigen value) 1.0을 요인 추출의 준거로 삼았다. 운동변화단계에 있어 성별, 근무형태의 차이를 알아보기 위하여 운동 변화단계에 대한 차이를 검증하기 위해 $X^2$을 실시하였다. 운동변화단계에 따라 신체적 자기개념과 자기효능감의 차이를 알아보기 위하여 운동변화단계를 독립변수로 신체적 자기개념과 자기효능감을 종속변수로 하는 일원변량분석(one-way ANOVA)을 실시하였다. 집단간의 평균차를 검증하기 위하여 사후검증으로 Scheffe 검증을 실시하였다. 신체적 자기개념이 자기효능감에 미치는 영향을 알아보기 위하여 먼저 상관관계분석을 실시하였고, 신체적 자기개념을 독립변수로 하고 자기효능감을 종속변수로 하는 다중회귀분석(multipie regression analysis)을 실시하였으며, Enter 방식으로 처리하였다. 이와 같은 방법과 절차에 따른 자료 분석을 통하여 얻은 결론은 다음과 같다. 첫째, 카지노 시큐리티 종사자들의 운동행동변화단계는 성별과 근무형태에 따라 운동행동 변화단계에 차이가 있었다. 둘째, 운동행동변화단계에서 유지단계로 이행 할수록 신체적 자기 개념과 자기효능감을 지각하는 정도가 높게 나타났다. 셋째, 신체적 자기개념의 하위요인 중, 신체활동과 체지방에 대한 정도가 자기효능감에 유의한 영향을 미쳤다.

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이동형 의료영상 장치를 위한 JPEG2000 영상 뷰어 개발 (Development of JPEG2000 Viewer for Mobile Image System)

  • 김새롬;정해조;강원석;이재훈;이상호;신성범;유선국;김희중
    • 한국의학물리학회지:의학물리
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    • 제14권2호
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    • pp.124-130
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    • 2003
  • 현재, 많은 병원이 방사선과 의료영상정보를 기존의 필름형태로 판독하고, 진료하는 방식에서 PACS를 도입하여 디지털 형태로 영상을 전송, 저장, 검색, 판독하는 환경으로 변화하고 있다. 한편, PACS가 가지는 가장 큰 제한점은 휴대성의 결핍이다. 본 연구는 이동형 장치가 가지는 호스트의 이동성 및 휴대성의 장점들을 살리면서, 무선 채널 용량의 한계, 무선 링크 사용이라는 제약점들을 감안하여 의료영상을 JPEG2000 영상압축 방식으로 부호화한 후 무선 환경을 고려한 전송 패킷의 크기를 결정하고자 하였으며, 무선 통신 중 발생되는 패킷 손실에 대응하기 위한 자동 오류 수정 기능도 함께 구현하고자하였다. Window 2000 운영체계에서 의료영상을 로드하고, 데이터베이스화하며, 저장하고, 다른 네트워크와 접속, 제어가 가능한 PC급 서버를 구축하였다. 영상데이터는 무선망을 통해 전송하기 때문에 가장 높은 압축비율을 지원하면서 에너지 밀도가 높은 JPEG2000 알고리즘을 사용하여 영상을 압축하였다. 또한, 무선망 사용으로 인한 패킷 손실에 대비하여, 영상을 JPEG2000 방식으로 부호화한 후 각 블록단위로 전송하였다. PDA에서 JPEG2000 영상을 복호화 하는데 걸리는 시간은 256*256 크기의 MR 뇌영상의 경우 바로 확인할 수 있었지만, 800*790 크기의 CR 흥부 영상의 경우 약 5초 정도의 시간이 걸렸다. CDMA 1X(Code-Division Multiple Access 1st Generation) 모듈을 사용하여 영상을 전송하는 경우, 256 byte/sec정도에서는 안정된 전송 결과를 보여주었고, 1 Kbyte/sec정도의 전송의 경우 중간 중간에 패킷이 손실되는 결과를 관찰할 수 있었다. 반면 무선 랜의 경우 이보다 더 큰 패킷을 전송하더라도 문제점은 발견되지 않았다. 현재의 PACS는 유선과 무선사이의 인터페이스의 부재로 인해 유무선 연동이 되지 못하고 있다. 따라서 이동형 JPEG2000 영상 뷰어는 PACS가 가지는 문제점인 휴대성을 보완하기 위하여 개발되었다. 또한 무선망이 가지는 데이터 손실에 대하여서도 허용할 수 있는 범위에서 재전송을 가능하게 함으로서 약한 연결성을 보완하였다. 본 JPEG2000 영상 뷰어 시스템은 기존 유선상의 PACS와 이동형 장치간에 유기적인 인터페이스 역할을 하리라 기대된다.

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연근해 소형 어선의 레이더 정보 수록 및 해석 시스템 개발 - CFAR에 의한 레이더 잡음 억제 - (Development of Acquisition and Analysis System of Radar Information for Small Inshore and Coastal Fishing Vessels - Suppression of Radar Clutter by CFAR -)

  • 이대재;김광식;신형일;변덕수
    • 수산해양기술연구
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    • 제39권4호
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    • pp.347-357
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    • 2003
  • 연근해 소형 어선에 널리 탑재되어 있는 소형 레이더 장치에 radar target extractor를 인터페이스하여 레이더 선호를 수록, 처리 및 해석하기 위한 PC based radar system 을 구축하고, cell averaging CFAR 처리장치를 통해 실제의 레이더 echo 신호를 처리하여 오경보 확률의 설정치 변화에 따른 echo영상의 변화패턴을 레이더 스코프상에서 직접 비교, 분석한 결과 및 레이더 영상신호의 음영구역의 발생대역폭을 추정한 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 레이더 선호의 해석을 통해 추출된 표적의 운동벡터 및 방위, 거리, 속력, CPA, TCPA 등과 같은 ARPA 정보를 실시간으로 이동 궤적과 함께 PC 모니터상에 구현하고 있기 때문에 소형 레이더 시스템에 이 장치를 부착하면 저가의 비용으로써 ARPA 정보의 취득이 기능하다. 2. ideal threshold 에 의한 표적검출성능을 개선시키기 위해 cell averaging CFAR processor 의 CUT전후에 각각 3 개의 guard cell과 이 cell의 좌$.$우측에 각각 20개씩, 총 40개의의 reference cell를 설치하여 레이더의 video 신호를 입벽한 후, 오경보 확률 10$\^$-0.25/∼10$\^$-1.0/의 범위에 대하여 설정치를 점차증가시켜 갈 때, 레이더 영상신호는 10$\^$-0.75/ 의 설정치에서 가장 양호한 clutter 제거효과를 나타내었다. 3. 레이더 스코프상에서 영상신호를 관찰하면서 cell averaging CFAR 의 오경보 확률을 적정하게 제어하면 지금까지의 ideal threshold level 에 의한 잡음억제기법에서 나타나는 선박영상의 과도한 레벨약화현상을 보완할 수 있을 것으로 판단한다. 4. 부산 용호만에 정박중인 예인선의 레이더 신호를 해석하여 영상의 음영패턴과 음영 대역폭을 추정한 결과, 예인선의 유효높이는 약 1.2 m 이었고, 이들 음영효과의 정량적 해석을 통한 해상표적의 형상정보는 향후 3차원 레이더 영상을 구현하는 데 그 기초자료가 될 것으로 판단된다.

창의적 행복학교 교육경영을 위한 HTP 검사 반응 연구 (H-T-P reaction Study on differences between the juvenile delinquents groups classified by the family system type for Creative happy Education management)

  • 박순만;최총명;김진녀;변상해
    • 벤처창업연구
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    • 제8권3호
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    • pp.157-163
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    • 2013
  • 본 연구는 비행청소년의 가족유형에 따른 HTP 검사 반응비교를 실시하여 그 중 특별히 '집'에 대한 반응을 연구하였다. 이를 통하여 비행청소년의 가족유형에 따라 자신의 가족 구성원에 대한 반응을 알아보고, 학교교육경영과 비행청소년확산방지방안을 모색하는데 그 목적이 있다. 연구를 위하여 대상은 법무부 서울남부대안교육센터에 입교한 비행청소년 120명을 무작위 추출하였으며, 그 중 부모동거집단 62명, 한부모 동거집단 58명으로 분류하여 HTP 검사를 실시하였다. 연구 처리 방법은 SPSS for WIN 18.0을 사용하였고, 빈도분석(Frequency Analysis)과 교차분석($x^2$)을 실시하였다. 그 결과를 종합해보면, 한부모 동거 비행청소년들이 HTP 검사 '집' 요소에서 특히, 그림의 위치가 '지면의 상단'에 유의미하게 나타나고, '굴뚝연기', '음영과 세부선'에서 유의미하게 나타났다. 이 결과는 비행청소년 중 한부모 동거비행청소년들은 부모동거 비행청소년 집단보다 과거, 현재 가정에 대한 불만과 불안을 보였고, 가정이나 가족에 대한 갈등, 미래 가정, 가족에 대한 소망들이 나타나고 있다는 것을 나타낸다. 이러한 결과를 토대로 창의적 행복교육경영의 필수요소인 비행청소년사회확산방지를 위한 구현 방안을 제시하면, 첫째, 점차 상담의 영역을 교육 본연의 업무로 인식하지 않는 교원들에게 직무연수를 통하여 비교적 습득이 용이한 HTP 검사 방법을 연수하여 학생들의 비행 여부를 조기에 판정하여 대처 방안을 수립할 수 있도록 조치한다. 둘째, 이미 비행의 경험이 있어 각종 검사에 노출되어 자기 방어력이 강한 잠재적 비행학생들에게 놀이형태의 HTP 검사 방법을 개발하여 비교적 자연스러운 비행 잠재성을 파악하도록 한다. 셋째, 집단 상담, 집단놀이의 형태로 HTP 검사의 방법을 개발하여 잠재적 비행 학생들이 자신의 동거가족 유형과 H(집)반응에 관한 표현을 상호 비교하거나 동질적 감정을 유발하여 다음 단계의 상담활동에 적극적으로 참여할 수 있는 태도를 기른다. 넷째, 이를 바탕으로 자연스럽게 학부모 상담과 연계될 수 있도록 유도하여, 비행청소년 뿐 만 아니라, 일반 청소년, 잠재적 위험군 청소년들의 심리상태를 현장에서 파악하고, 그것을 학부모와 공유하여 비행의 확산방지 및 예방을 할 수 있도록 하여야 한다.

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