본 논문은 기존의 미세화 경향에 대한 bumpless through-silicon via (TSV)를 적용한 웨이퍼 레벨3차원 적층기술과 그 장점에 대해 소개한다. 3차원 적층을 위한 박막화 공정, 본딩 공정, TSV 공정별로 문제점과 그 해결책에 대해 자세히 설명하며, 특히 $10{\mu}m$ 이하로 박막화한 로직 디바이스의 특성 변화에 대한 결과를 보고한다. 웨이퍼 박막화 공정에서는 기계적 강도 변동 요인, 금속 불순물에 대한 gettering 대책에 대해 논의되며, 본딩 공정에서는 웨이퍼의 두께 균일도를 높이기 위한 방법에 대해 설명한다. TSV형성 공정에서는 누설 전류 발생 원인과 개선 방법을 소개한다. 마지막으로 본 기술을 적용한 3차원 디바이스에 대한 roadmap에 관해 논의할 것이다.
About functional parameters of a LED/UVLED (Light Emitting Diode/Ultra Violet LED), one of the most important parameters is the I-V characteristic. By researching factors affect to the I-V characteristic of uvled, we found that beside of the structure of the device itself, there is the influence of the electrode materials, electrode shapes, the process of wiring and packaging. In this work, we want to improve the performance of UVLED to find out the optimal mask design principles. The study is based on theoretical mathematical models, as well as the use of simulation software tool Comsol. From all results obtained, the team has improved mask design to manufacture electrodes for GaN-based UVLED. Electrode masks are designed by three softwares, which are Intellisuite, Klayout and AutoCad. Intellisuite masks would be used in fabrication simulation while Klayout and AutoCad are used to fabricate electrodes in experiments. As well as, we silmulated the structure of an uvled 355nm emission wavelength by TCAD software, in order to compare with uvled sample that has the same emission wavelength.
In robot teleoperation, much research has been carried out to control the slave robot from remote site. One of the essential devices for robot teleoperation is the masterarm, which is a path command generating device worn on human arm. In this paper, a new masterarm based on human kinematics is proposed. Its controller is based on the distributed controller architecture composed of two controller parts: a host controller and a set of satellite controllers. Each satellite controller measures the corresponding joint angle, while the host controller performs forward and inverse kinematics calculation. This distributed controller architecture can make the data updating faster, which allows to implement real-time implementation. The host controller and the satellited controllers are networked via three-wire daisy-chained SPI(Serial Peripheral Interface) protocol, so this architecture makes the electrical wiring very simple, and enhances maintenance. Analytical method for finding three additional unknown joint angles is derived using only three measured angles for each shoulder and wrist, which makes th hardware implementation very simple by minimizing the required number of satellite controllers. Finally, the simulation and experiment results are given to demonstrate the usefulness and performance of the proposed masterarm.
본 논문에서는 각종 산업 현장의 라인에 긴급 정지 장치로 병설되는 풀 코드 스위치의 동작위치를 판별하는 시스템에 대하여 다룬다. 특히, 된 논문에서는 전력선 통신 기술을 사용하여 복잡한 케이블 포설 없이도 기존의 2선만을 사용하여 동작된 풀 코드 스위치의 위치를 인식하는 방법을 제시한다. 또한 전력선 통신 IC의 제어 기능을 사용하여 스위치 제어 인식장치에서 각 스위치를 리셋하는 신호를 전송할 수 있도록 구성한다. 끝으로, 논문에서는 제안된 전력선 방식의 풀 코드 스위치 동작위치 인식장치를 제작하고 전력선을 통하여 전달된 신호 및 반응시간 관찰함으로써 풀 코드 스위치의 위치인식 시스템으로 실제로 적용이 가능함을 확인하였다.
인코딩은 정보의 형태나 형식을 표준화, 보안, 처리 속도 향상, 저장 공간 절약 등을 위해 다른 형태나 형식으로 변환 또는 처리 하는 것을 말한다. 정보 통신에서 송신자의 정보가 다른 형태로 수신자에게 전달할 수 있도록 정보를 변환하는 것도 인코딩이다. 이 처리를 수행 하는 장치를 인코더라 부른다. 본 논문에서는 양자 컴퓨터에서 요구되는 인코더 중 가장 기본적인 4-to-2 인코더를 제안한다. 제안한 인코더는 2개의 OR 게이트를 사용하여 구성된다. 제안한 구조는 셀의 간격을 최적화 하고 배선간의 잡음을 최소화하는 것을 목적으로 설계한다. 제안된 인코더를 QCADesigner를 통해 시뮬레이션을 수행하고, 그 결과를 분석하여 효율성을 확인한다.
본 논문에서는 가정용 계량기의 데이터를 PC로 모니터링할 수 있도록, 전력선 통신(PLC : Power Line Communication) 모뎀과 인터넷맵 기반의 데이터 수집장치를 GUI모니터링 시스템으로 구현하였다. 전력선 통신 모뎀은 기존의 전력선에 데이터를 실어 보내는 기술로 별도의 신호선 설치에 대한 부담을 줄인다. 본 논문에서 제안하는 GUI모니터링 시스템은 인터넷맵 정보를 활용하여 가정용 개량기의 전, 현 월 사용 전력량을 인터넷 맵에서 시각적으로 편리하게 모니터링 할 수 있다. 이 구현은 일반인(비전문가)도 PC상에서 쉽게 전기사용정보를 확인하도록 하여 요금 관리 및 고장 관리에 편의를 제공하도록 한다.
This paper deals with the behaviors of magnetic flux density near down-conductors by lightning currents. The background on the principle of magnetic flux density measurements using the RL self-integrating magnetic field sensor was described. The magnetic flux density measuring device consisting of RL self-integrating magnetic field sensor and differential amplifier was designed and fabricated. The frequency bandwidth of the magnetic flux density measuring system ranges from 200 Hz to 300 KHz and the response sensitivity was 0.126 $\mu$T/㎷ The distributions of the magnetic flux density near down-conductors due to impulse currents with various rise times were analyzed as a parameter of the bonding conditions and materials of conductor and wiring conduits. The magnetic flux density due to impulse currents was inversely proportional to the distance between the down-conductor and measuring point. The amplitude of the magnetic flux density for PVC Pipe with down-conductor was 72 $\mu$T/㎷ at the distance of 1m and was higher than for steel conduits and coaxial cable. Finally the magnetic flux density is increased with increasing the di/dt it and oscillation frequency of lightning currents in this experimental ranges.
The paper shows that the combination of the hardware, NI PCI 6110E board and the software, Fourier and continuous wavelet transform(CWT) can be used to implement for extracting the important features of the real-time signal. The results confirmed that CWT produces the fast computation enough for the application of the real-time signal processing except the negligible time delay. In denoising case, because of the lack of translation invariance of wavelet basis, traditional wavelet thresholding leads to pseudo-Gibbs phenomena in the vicinity of discontinuities of signal. In this paper, in order to reduce the pseudo-Gibbs phenomena, wavelet coefficients are threshold and reconstruction algorithm is implement through shift-invariant gibbs free denoising algorithm based on wavelet transform footprint. The proposed algorithm can potentially be extended to more general signals like piecewise smooth signals and represents an effective solution to problems like signal denoising.
Tungsten CMP needs interconnect of semiconductor device ULSI chip and metal plug formation, CMP technology is essential indispensable method for local planarization. This Slurry development also for tungsten CMP is important, slurry of metal wiring material that is used present is depending real condition abroad. It is target that this research makes slurry of efficiency that overmatch slurry that is such than existing because focus and use colloidal silica by abrasive particle to internal production technology development. Compared selectivity of slurry that is developed with competitor slurry using 8" tungsten wafer and 8" oxide wafer in this experiment. And removal rate measures about density change of $H_2O_2$ and Fe particle. Also, corrosion potential and current density measure about Fe ion and Fe particle. As a result, selectivity find 83:1, and expressed similar removal rate and corrosion potential and current density value comparing with competitor slurry.
The OPMT(Orientation-adjustable Patch-type Magnetostrictive Transducer) was proposed as a tool for generating and measuring the ultrasonic Lamb wave in plate type structures. This sensor has a lot of new features compared to the traditional piezo-type ultrasonic transducers. As an example, it does not need any kind of wiring for lunching or measuring ultrasonic waves. But it has also definite limitation for practical usage as a nondestructive testing tool in that it cannot help rotating the direction of ultrasonic wave manually. The idea for 'scanning OPMT' is proposed in this respect. Two kinds of basic ideas for rotating the wave direction not manually but electrically are proposed. The fabrication of the transducer and the testing for Identifying the primary characteristics are done for one of the proposed transducers. The results says that there are the possibilities as a new tool for NDE in that the proposed transducer follows well the characteristics of the traditional OPMT. But there are also the 1imitations to overcome.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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