$Si_3N_4$ 게이트 pH-ISFET의 표면 처리 효과
(Surface treatment effect of the $Si_3N_4$ gate pH-ISFET)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1987년도 전기.전자공학 학술대회 논문집(I)
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- pp.486-489
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- 1987