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$SiO_2/Si_3N_4/SiO_2$$Si_3N_4/SiO_2/Si_3N_4$ 터널 장벽을 사용한 금속 실리사이드 나노입자 비휘발성 메모리소자의 열적 안정성에 관한 연구

  • 이동욱;김선필;한동석;이효준;김은규;유희욱;조원주
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.139-139
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    • 2010
  • 금속 실리사이드 나노입자는 열적 및 화학적 안정성이 뛰어나고, 절연막내에 일함수 차이에 따라 깊은 양자 우물구조가 형성되어 비휘발성 메모리 소자를 제작할 수 있다. 그러나 단일 $SiO_2$ 절연막을 사용하였을 경우 저장된 전하의 정보 저장능력 및 쓰기/지우기 시간을 향상시키는 데 물리적 두께에 따른 제한이 따른다. 본 연구에서는 터널장벽 엔지니어링을 통하여 물리적인 두께는 단일 $SiO_2$ 보다는 두꺼우나 쓰기/지우기 동작을 위하여 인가되는 전기장에 의하여 상대적으로 전자가 느끼는 상대적인 터널 절연막 두께를 감소시키는 방법으로 동작속도를 향상 시킨 $SiO_2/Si_3N_4/SiO_2$$Si_3N_4/SiO_2/Si_3N_4$ 터널 절연막을 사용한 금속 실리사이드 나노입자 비휘발성 메모리를 제조하였다. 제조방법은 우선 p-type 실리콘 웨이퍼 위에 100 nm 두께로 증착된 Poly-Si 층을 형성 한 이후 소스와 드레인 영역을 리소그래피 방법으로 형성시켜 트랜지스터의 채널을 형성한 이후 그 상부에 $SiO_2/Si_3N_4/SiO_2$ (2 nm/ 2 nm/ 3 nm) 및 $Si_3N_4/SiO_2/Si_3N_4$ (2 nm/ 3 nm/ 3 nm)를 화학적 증기 증착(chemical vapor deposition)방법으로 형성 시킨 이후, direct current magnetron sputtering 방법을 이용하여 2~5 nm 두께의 $WSi_2$$TiSi_2$ 박막을 증착하였으며, 나노입자 형성을 위하여 rapid thermal annealing(RTA) system을 이용하여 $800{\sim}1000^{\circ}C$에서 질소($N_2$) 분위기로 1~5분 동안 열처리를 하였다. 이후 radio frequency magnetron sputtering을 이용하여 $SiO_2$ control oxide layer를 30 nm로 증착한 후, RTA system을 이용하여 $900^{\circ}C$에서 30초 동안 $N_2$ 분위기에서 후 열처리를 하였다. 마지막으로 thermal evaporator system을 이용하여 Al 전극을 200 nm 증착한 이후 리소그래피와 식각 공정을 통하여 채널 폭/길이 $2{\sim}5{\mu}m$인 비휘발성 메모리 소자를 제작하였다. 제작된 비휘발성 메모리 소자는 HP 4156A semiconductor parameter analyzer와 Agilent 81101A pulse generator를 이용하여 전기적 특성을 확인 하였으며, 측정 온도를 $25^{\circ}C$, $85^{\circ}C$, $125^{\circ}C$로 변화시켜가며 제작된 비휘발성 메모리 소자의 열적 안정성에 관하여 연구하였다.

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압출성형공정을 이용한 삼 종자 후레이크 제조 (Manufacturing of Hemp Seed Flake by Using Extrusion Process)

  • 김철;구본재;류기형
    • 산업식품공학
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    • 제14권2호
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    • pp.99-105
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    • 2010
  • 경제적 잠재성이 큰 삼 종자의 식품소재로서의 활용을 모색하고자 삼 종자의 일반성분을 측정하였고 삼 종자 첨가 압출성형펠릿의 호화양상을 분석하기 위하여 페이스트 점도를 측정하였다. 또한 삼 종자 후레이크의 체적밀도, 색도, 압착강도, 수분용해지수와 수분흡착지수, 조직감 유지 시간(bowl life) 등의 품질특성을 조사하였다. 압출성형 공정조건은 배럴온도 90, 100, 110$^{\circ}C$, 수분함량 35%이었다. 삼 종자의 수분, 조단백질, 조지방, 조회분함량은 각각 5.67${\pm}$0.02, 25.93${\pm}$0.16, 28.21${\pm}$0.56, 7.70${\pm}$0.08%이었다. 압출성형 펠릿의 페이스트 점도 측정결과 삼 종자 펠릿의 제조에 적합한 압출성형 배럴온도는 100-110$^{\circ}C$인 것으로 판단되었다. 삼 종자 후레이크의 체적밀도는 0.24-0.43 g/mL 범위로 배럴온도가 증가함에 따라 감소하는 경향을 나타내었다. 명도와 압착강도는 삼 종자 첨가량이 증가함에 따라 크게 감소하는 경향을 나타내었다. 배럴온도가 90$^{\circ}C$에서 110$^{\circ}C$로 증가함에 따라 수분용해지수는 감소하는 경향을 나타내었고 수분흡착지수는 증가하는 경향을 나타내었다. 조직감 유지시간은 5.8-15.5분 범위로 삼 종자 첨가량의 증가에 따라 감소하였다. 관능검사 결과 전체적인 기호도는 삼 종자 첨가량 20%일 때 가장 높은 값을 나타내었다.

본답 초기해충의 생력방제를 위한 imidacloprid의 종자분의 효과 (Effect of rice seed dressing with imidacloprid WS on early occurring rice insect pests)

  • 최병렬;유재기;이상계;이정운
    • 농약과학회지
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    • 제2권1호
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    • pp.85-90
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    • 1998
  • 벼 본논초기에 발생하여 피해를 주는 해충을 효과적으로 방제하고자 몇가지 약제를 종자분의 및 육묘상처리를 하여 다음과 같은 결과를 얻었다. Imidacloprid의 종자분의처리구에서 애멸구 성충수는 3주당 1.6마리로 방제효과가 94% 이상이었으며, 벼물바구미 유충은 5주당 8.8마리로 95.5%의 방제효과를 보였다. 또한, imidacloprid 종자분의처리와 육묘상처리구에서 벼물바구미 성충의 밀도와 피해정도는 약제처리후 26일 까지도 무처리구의 1/10에 불과 하였다. 또한 imidacloprid WS의 종자분의 처리구에서는 벼줄기굴파리의 피해경율은 3%, 벼애잎굴파리의 피해엽율은 3.7%로 90%이상의 방제효과를 보였다. Imidacloprid WS을 추천약량으로 종자분의하였을 때 볍씨의 발아율은 처리 1일후에는 71%로 낮았지만 처리후 5일경에는 무처리의 발아율과 비슷한 수준을 보였다. Imidacloprid WS의 도체내 잔류량은 처리후 40일경에 뿌리와 잎에서 각각 0.11 ppm, 0.05 ppm이었으며, 벼물바구미와 벼멸구에 대하여 약효지속기간은 각각 약제처리 50일과 55일후까지 90%이상의 방제효과을 보였다. 논에서 약제처리방법별 살포되는 농약의 유효성 분량을 조사한 결과 imidacloprid 70% WS는 ha당 0.084 kg이 사용되었으며 2% GR은 0.3 kg이 투여되었다. 약제처리방법별로 종자분의처리는 약제살포시간이 ha당 1시간이 소요되었으나, 육묘상처리는 2.5시간, 수면처리는 3.6시간이 소요되어 종자분의처리가 다른 방제방법보다 $2.5{\sim}3.6$배의 방제소요시간이 절감되었다.

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지역 브랜드 쌀의 이화학적 특성 비교 (Comparison of Physicochemical Properties of Local Commercial Rice Brands)

  • 최옥자;장원용;송치영;이미영;심기훈
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제46권11호
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    • pp.1336-1342
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    • 2017
  • 본 연구는 시판되고 있는 경기도, 충청남도, 경상북도, 전라남도 등의 지역에서 시판되고 있는 브랜드 쌀 품종과 대형마트에서 판매하는 PB 제품의 이화학적 특성 및 호화 특성을 분석하여 비교 검토하였다. 쌀의 일반성분 분석에서 수분함량은 15.67~17.03%, 조단백 함량은 5.73~6.30%, 조지방 함량은 0.38~0.95% 그리고 조회분 함량은 0.23~0.56%로 나타났고, 전라남도 일미벼 품종과 경상북도 일품벼 품종의 수분 함량이 높았고, 경기도 고시히카리 품종과 전라남도 호평벼 품종의 조단백 함량이 낮았다. 쌀가루의 색도에서 L값은 96.76~97.27, a값은 -1.63~-0.63 그리고 b값은 2.00~2.60으로 나타났다. 쌀가루의 수분흡수지수는 1.21~1.39로 나타났고, 수분용해지수는 0.63~0.93%로 경기도 고시히카리 품종과 전라남도 일미벼 품종에서 낮게 나타났다. 쌀가루의 아밀로오스 함량은 14.63~20.86%로 경기도 고시히카리 품종과 전라남도 일미벼 품종에서 낮게 나타났다. 쌀가루의 X-선 회절도를 측정한 결과 모든 품종의 쌀가루는 A 도형을 나타냈다. 아밀로그램에 의한 쌀가루의 호화 특성 분석 결과, 호화개시온도는 $59.57{\sim}63.23^{\circ}C$, 최고점도는 569.00~718.67 B.U., 최고점도 시 온도는 $87.23{\sim}89.27^{\circ}C$, 최저점도는 264.67~295.00 B.U., $50^{\circ}C$로 냉각한 냉각점도는 418.33~563.33 B.U., 강하점도는 303.00~423.67 B.U. 그리고 치반점도는 212.67~265.33 B.U.로 나타났다. 시차열량주사계를 이용한 쌀가루의 호화엔탈피 측정 결과 호화개시온도는 $54.66{\sim}58.63^{\circ}C$, 호화정점온도는 $65.87{\sim}68.14^{\circ}C$, 호화종료온도는 $73.37{\sim}75.54^{\circ}C$ 그리고 호화엔탈피는 1.98~2.95 cal/g으로 나타났다. 내부치밀도와 호화 개시온도가 높고 수분흡수지수, 조단백 함량, 아밀로오스 함량 그리고 아밀로그램의 최종점도 및 치반점도가 낮으면 식미가 좋은 품종으로 봤을 때 경기도의 고시히카리 품종, 전라남도의 일미벼 품종 및 호평벼 품종 그리고 충청남도의 삼광벼 품종이 우수한 품종으로 나타났다.