Optimization of Electrochemical Etching Parameters in Porous Silicon Layer Transfer Process for Thin Film Solar Cell (초박형 태양전지 제작에 Porous Silicon Layer Transfer기술 적용을 위한 전기화학적 실리콘 에칭 조건 최적화에 관한 연구)
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- Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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- v.18 no.1
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- pp.23-27
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- 2011