• 제목/요약/키워드: Vapor crystal growth

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Convection in the growth of zinc telluride single crystal by physical vapor transport

  • Kim, Geug-Tae
    • 한국결정성장학회지
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    • 제13권4호
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    • pp.187-198
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    • 2003
  • Zinc selenide (ZnSe) single crystals hold promise for many electro-optics, acousto-optic and green laser generation applications. This material is prepared in closed ampoules by the physical vapor transport (PVT) growth method based on the dissociative sublimation. We investigate the effects of diffusive-convection on the crystal growth rate of ZnSe with a low vapor pressure system in a horizontal configuration. Our results show that for the ratios of partial pressures, s=0.2 and 2.9, the growth rate increases with the Peclet number and the temperature differences between the source and crystal. As the ratio of partial pressures approaches the stoichiometric value of 2, the rate increases. The mass fluk based on one dimensional (1D model) flow for low vapor pressure system fall within the range of the predictions (2D model) obtained by solving the coupled set of conservation equations, which indicates the flow fields would be advective-diffusive. Therefore, the rate and the flow fields are independent of gravity acceleration levels.

PVT(Physical Vapor Transport) 법으로 AlN 결정 성장에서 결정립의 성장 거동에 관한 연구 (A study on the crystallite growth behavior in AlN crystal grown by PVT (Physical Vapor Transport) method)

  • 강승민
    • 한국결정성장학회지
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    • 제26권4호
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    • pp.135-138
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    • 2016
  • AlN 결정을 PVT(물리 기상 이동법, Physical Vapor Transport) 법으로 성장함에 있어 결정립의 성장 거동을 관찰하였다. 작은 AlN 결정립이 성장한 이후 결정립들은 이웃한 결정립과 합쳐지면서 성장하는 거동을 보였다. 이를 실체현미경을 이용하여 관찰한 결과를 보고하고자 한다.

ZnSe 단결정 성장과 결정결함 (Growth and defects of ZnSe crystal)

  • 이성국;박성수;김준홍;한재용;이상학
    • 한국결정성장학회지
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    • 제7권1호
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    • pp.76-80
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    • 1997
  • 직경 55 mm의 ZnSe 단결정을 수소분위기에서 seeded chemical vapor transport법에 의해 성장하였고, 성장 parameter들이 결정 결함에 미치는 영향을 조사하였다. Chemical etching에 의한 EPD 측정, X-ray rocking curve 측정, photolumlnescence 측정으로 성장된 단결정의 특성을 평가하였다.

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직경 3인치의 AlN 단결정 성장에 관한 연구 (A study on the growth of 3 inch grade AlN crystal)

  • 강승민
    • 한국결정성장학회지
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    • 제29권3호
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    • pp.140-142
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    • 2019
  • 자외선 LED용 기판소재로 응용가능한 AlN(질화알루미늄) 단결정을 물리기상이동법(Physical Vapor Transport Method)으로 성장하기 위해 성장 거동을 조사하였다. 다결정의 종자결정을 사용하였으며, 직경은 3인치급이었고, 120시간 동안 성장공정을 수행하여 길이 약 4 mm의 다결정상을 얻었다. 본 연구에서는 성장 조건과 대형의 도가니를 사용하였을 경우의 성장 거동에 대하여 고찰하여 보고자 하였다.

AlN 단결정 성장에 대한 반복 성장성에 관한 연구 (A study on the repeatability of large size of AlN single crystal growth)

  • 강승민
    • 한국결정성장학회지
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    • 제28권4호
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    • pp.148-151
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    • 2018
  • 물리기상이동법(Physical Vapor Transport(PVT) method)을 적용하여 질화알루미늄 단결정을 성장하였다. 자체적으로 성장하고 제조한 직경 33 mm 크기의 종자결정을 사용하여 직경 46 mm, 길이 7.6 mm 크기의 벌크단결정을 성장하였으며, 성장 온도는 $1950{\sim}2100^{\circ}C$, 성장 압력은 0.1~1 atm의 범위에서 조절하여 반복 성장을 통하여 성장한 결과를 보고하고자 한다.

6H-SiC 종자 결정을 사용하여 PVT법으로 성장된 AlN 결정 연구 (Crystal structure investigation of AlN crystal grown on 6H-SiC seed by a physical vapor transport method)

  • 신희원;이동훈;김황주;박미선;장연숙;이원재;김정곤;정성민;이명현;서원선
    • 한국결정성장학회지
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    • 제26권1호
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    • pp.49-52
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    • 2016
  • 본 연구에서는 AlN 결정 성장시 중요한 공정변수 중의 하나인 성장 압력과 온도 조건에 따라 다르게 성장되는 AlN 결정상의 결과에 대하여 고찰하였다. AlN 결정 성장은 6H-SiC 종자 결정을 사용하여 PVT(Physical Vapor Transport)법을 적용하여 성장시켰다. 성장 압력과 온도에 따라 AlN 결정의 특성이 변화하였고, Raman 분석을 통해 다양한 방향을 갖는 AlN 결정이 SiC 종자 결정 위에 성장되는 것을 확인하였다.

HVPE(Hydride Vapor Phase Epitaxy) 법을 적용한 N2 양의 변화에 따른 AlN 단결정의 성장 거동에 관한 연구 (A study on the growth behavior of AlN single crystal according to the change of N2 in HVPE propcess)

  • 인경필;강승민
    • 한국결정성장학회지
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    • 제34권2호
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    • pp.61-65
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    • 2024
  • HVPE(Hydride vapor phase epitaxy) 공법은 기체상의 원료를 사용하여 박막 또는 단결정을 제조하는 공법이다. 화학적 기상증착법의 원리를 적용하여 난용융성 또는 고융점의 물질의 단결정을 성장할 수 있는 공법으로서, 질화갈륨(GaN) 단결정을 얻을 수 있는 공법 중 하나이다. 최근 동 공법을 이용하여 질화알루미늄(AlN) 단결정을 성장하고자 하는 연구가 많이 수행되어져 왔으나, 아직은 좋은 결과를 얻지 못하고 있다. 본 연구에서는 AlN 단결정을 HVPE 공법으로 성장하고자 하였다. 성장 공정에서 질소를 운송가스(Carrior gas)로 사용하였으며, 질소(N2)의 양의 변화에 따른 성장 결과를 고찰하여 보았다. 질소의 양이 증가함에 따른 성장 결정의 변화 양상을 확인할 수 있었다. 성장된 AlN 단결정의 형상을 광학 현미경을 사용하여 관찰하였고, 이중결정 X선 회절 분석(DCXRD, Double crystal X-ray diffractometry)을 이용하여, AlN 결정의 생성을 확인함과 동시에 성장된 단결정의 결정성도 알아보았다.

Mercurous bromide $(Hg_2Br_2)$ crystal growth by physical vapor transport and characterization

  • Kim, S.K.;S.Y. Son;K.S. Song;Park, J.G.;Kim, G.T.
    • 한국결정성장학회지
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    • 제12권6호
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    • pp.272-282
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    • 2002
  • Mercurous bromide ($Hg_{2}0Br_{2}$) crystals hold promise for many acousto-optic and opto-electronic applications. This material is prepared in closed ampoules by the physical vapor transport (PVT) growth method. Due to the temperature gradient between the source and the growing crystal region, the buoyancy-driven convection may occur. The effects of thermal convection on the crystal growth rate was investigated in this study in a horizontal configuration for conditions ranging from typical laboratory conditions to conditions achievable only in a low gravity environment. The results showed that the growth rate increases linearly with Grashof number, and for 0.2 $\leq$ Ar (transport length-to-height, L/H)$\leq$1.0 sharply for Ar=5 and $\Delta$T=30 K. We have also shown that the magnitude of convection decreases with the Ar. For gravity levels of less than $10^{-2}$g the non-uniformity of interfacial distribution is negligible.

Effects of impurity (N2) on thermo-solutal convection during the physical vapor transport processes of mercurous chloride

  • Kim, Geug-Tae;Kim, Young-Joo
    • 한국결정성장학회지
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    • 제20권3호
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    • pp.117-124
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    • 2010
  • For Ar=5, Pr=1.18, Le=0.15, Pe=2.89, Cv=1.06, $P_B$=20 Torr, the effects of impurity $(N_2)$ on thermally and solutally buoyancy-driven convection ($Gr_t=3.46{\times}10^4$ and $Gr_s=6.02{\times}10^5$, respectively) are theoretically investigated for further understanding and insight into an essence of thermo-solutal convection occurring in the vapor phase during the physical vapor transport. For $10K{\leq}{\Delta}T{\leq}50K$, the crystal growth rates are intimately related and linearly proportional to a temperature difference between the source and crystal region which is a driving force for thermally buoyancy-driven convection. Moreover, both the dimensionless Peclet number (Pe) and dimensional maximum velocity magnitudes are directly and linearly proportional to ${\Delta}T$. The growth rate is second order-exponentially decayed for $2{\leq}Ar{\leq}5$. This is related to a finding that the effects of side walls tend to stabilize the thermo-solutal convection in the growth reactor. Finally, the growth rate is found to be first order exponentially decayed for $10{\leq}P_B{\leq}200$ Torr.

Control the growth direction of carbon nanofibers under direct current bias voltage applied microwave plasma enhanced chemical vapor deposition system

  • Kim Sung-Hoon
    • 한국결정성장학회지
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    • 제15권5호
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    • pp.198-201
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    • 2005
  • Carbon nanofibers were formed on silicon substrate which was applied by negative direct current (DC) bias voltage using microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition method. Formation of carbon nanofibers were varied according to the variation of the applied bias voltage. At -250 V, we found that the growth direction of carbon nanofibers followed the applied direction of the bias voltage. Based on these results, we suggest one of the possible techniques to control the growth direction of the carbon nanofibers.