CF$_4$ /O$_2$ 혼합기체 플라즈마를 이용한 이산화 우라늄의 표면식각반응
(Surface Reaction of Uranium Dioxide with CF$_4$ /O$_2$ Mixture Gas Plasma)
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- 한국표면공학회지
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- 제32권2호
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- pp.165-171
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- 1999