한국표면공학회지 (Journal of the Korean institute of surface engineering)
- 제32권2호
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- Pages.165-171
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- 1999
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- 1225-8024(pISSN)
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- 2288-8403(eISSN)
CF$_4$ /O$_2$ 혼합기체 플라즈마를 이용한 이산화 우라늄의 표면식각반응
Surface Reaction of Uranium Dioxide with CF$_4$ /O$_2$ Mixture Gas Plasma
초록
The etching reaction of
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