어닐링 조건이 RF Magnetron sputtering을 이용하여 증착된 undoped ZnO 박막의 결정 및 광학특성에 미치는 영향 (The effect of annealing conditions on the structural and optical properties of undoped ZnO thin films prepared by RF Magnetron sputtering)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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- pp.423-423
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- 2007