• 제목/요약/키워드: UV-경화

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UV 나노임프린트 리소그래피의 Quartz 기판상의 Resin mold 제거를 위한 Hybrid 세정공정에 관한 연구

  • 조윤식;김민수;강봉균;김재관;이병규;박진구
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2012년도 춘계학술발표대회
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    • pp.81.1-81.1
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    • 2012
  • 나노임프린트 리소그라피(Nano-Imprint Lithography, NIL) 기술은 기판위의 resin을 나노구조물이 각인된 스탬프로 눌러서 나노구조물을 형성하는 기술로, 경제적이고 효과적으로 나노구조물을 제작할 수 있는 기술이다. 그중에서도 UV 기반의 나노임프린트(UV-NIL) 기술은 resin을 투명한 스탬프로 누른뒤 UV로 경화시켜 나노구조물을 형성하는 기술로써 고온, 고압($140{\sim}180^{\circ}C$, 10~30bar)이 필요한 가열식 나노임프린트 기술에 비해 상온, 상압($20^{\circ}C$, 1bar)에서도 구조물 형성이 가능하여 다층구조 형성에 적합하다. 연속적인 임프린팅 공정에 의해 resin이 quarz 스탬프에 잔류하여 패터닝에 결함을 유발하게 되므로 오염물을 제거하기 위한 세정공정이 필요하다. 하지만 UV에 의해 경화된 resin은 cross-linking을 형성하여 화학적인 내성이 증가하게 되므로 제거하기가 어렵다. 현재는 resin 제거를 위한 세정공정으로 SPM($H_2SO_4/H_2O_2$) 세정이 사용되고 있는데 세정시간이 길고 세정 후에 입자 또는 황 잔유물이 남으며 많은 유해용액 사용의 문제점이 있어 효과적으로 resin을 제거할 세정공정이 필요한 상황이다. 본 연구에서는 친환경적인 UV 세정 및 오존수 세정공정을 적용하여 경화된 resin을 제거하는 연구를 진행하였다. 실험샘플은 약 100nm 두께의 resin을 증착한 $1.5cm{\times}1.5cm$ $SiO_2$ 쿠폰 wafer를 사용하였으며, UV 및 오존수의 처리시간을 달리하여 resin 제거효율을 평가하였다. ATR-FTIR 장비를 사용하여 시간에 따른 resin의 두께를 측정한 결과, UV 세정으로 100nm 높이의 resin중에 80nm의 bulk resin이 단시간에 제거가 되었고 나머지 20nm의 resin thin film은 오존수 세정으로 쉽게 제거되는 것을 확인 하였다. 또한 표면에 남은 resin residue와 particle을 제거하기 위해서 SC-1 세정을 진행하였고 contact angle과 optical microscope 장비를 사용하여 resin이 모두 제거된 것을 확인하였다.

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UV/$O_3$ 조사에 의한 PET 직물의 편면 발수가공 (One-side water-repellent finish of PET fabrics using UV/$O_3$)

  • 김수진;장진호
    • 한국염색가공학회:학술대회논문집
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    • 한국염색가공학회 2011년도 제44차 학술발표회
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    • pp.50-50
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    • 2011
  • 발수가공은 섬유표면에 낮은 표면에너지 물질을 도포하여 섬유제품에 적심 저항성을 부여하는 것으로 일반적인 방법으로는 불소계 고분자 물질을 포함한 가공제액을 부여하고 열에너지원을 사용하여 섬유 표면에 경화하여 고착시키고 처리온도는 $150{\sim}170^{\circ}C$의 범위에서 수 분 처리하지만 처리시간을 증가하면 섬유에 황변을 일으킬 수 있고 직물의 한 면에만 발수성을 구현하기가 어렵다. 피부와 접촉하는 부위에서의 불필요한 발수성은 땀 흡수저하, 알러지 발생 우려 등 쾌적성 저하 요인이 될수 있어 스포츠, 레저 의류 분야에서는 섬유제품의 일면만을 발수처리 하는 가공이 필요되어진다. 편면 발수가공을 위한 선행기술로는 상하 중 하나의 롤러에만 발수제를 묻혀 섬유제품의 일면에만 발수가공을 하는 것과 분사기로 발수제를 섬유제품의 일면에 도포하는 것 등이 있다. 하지만 일면에 처리된 발수제가 반대면으로 침투하거나 균일한 발수처리가 되지 않는 등의 문제점이 있고 발수제의 농도증가 및 증점제를 사용하여 점도를 증가시켜야하기 때문에 발수처리의 균일성 및 내구성 있는 편면발수공정이 어려운 단점이 있다. 본 연구에서는 UV경화가 가능한 불소계 발수제와 물에 용해되는 광개시제가 첨가된 수용액을 PET직물에 패딩하고 UV로 경화하여 양면 모두 발수성을 부여한 후 UV조사로 표면개질하여 표면친수성을 증가시켜 양 면의 발수성을 조절하였다.

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PR페이지 - AMS, 고강도 LED UV 잇따라 보급

  • 임남숙
    • 프린팅코리아
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    • 제12권12호
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    • pp.96-97
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    • 2013
  • Air Motion Systems, Inc(대표 Stephen Metcalf)가 개발 공급하고 있는 LED UV램프가 새롬인쇄(대표 장순성)에 국내 1호로 도입됐다. AMS에서 공급하고 있는 LED-UV시스템은 기존의 UV 경화 장치가 전력 소모가 크고 오존이 발생하며 발열이 많아 사용상에 여러 가지 제약이 많았던 것을 획기적으로 개선한 것이 특징이다. AMS의 LED UV램프는 마이크로컨트롤스(대표 조병우)가 아시아 지역을, LH코퍼레이션이 국내를 담당하고 있다.

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액상 이소프렌 고무가 자외선 경화형 아크릴 점착제의 점착 특성에 미치는 영향 (Effect of Liquid Isoprene Rubber on the Adhesion Property of UV Curable Acrylic Pressure-Sensitive Adhesive)

  • 이지예;정경호
    • Elastomers and Composites
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    • 제49권3호
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    • pp.210-219
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    • 2014
  • 본 연구에서는 아크릴계 점착제를 합성한 후 이소프렌 액상고무를 블렌드하여 광기능성 시트에 적용될 점착제를 제조하였다. 아크릴 점착제의 모노머로는 butyl acrylate, acrylic acid, 2-ethylhexyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate를 사용하였고 용매로는 톨루엔을 사용하였다. 고무계 모노머로는 isoprene 액상고무(LIR-50)를 사용하였고, 아크릴 점착제와의 배합량을 0 ~ 50 wt%로 하여 실험을 진행하였다. 결과에 따르면 LIR-50의 함량이 증가할수록 아크릴계 점착제의 최대 단점이었던 전사현상이 감소하였다. 그 이유는 이소프렌 액상고무의 경우 아크릴 점착제와 달리 극성기가 존재하지 않기 때문에 피착재와 이차결합이 발생하지 않아 경시변화에 따른 전사현상이 감소한 것으로 사료된다. 점착제의 자외선 경화 시 광개시제의 함량이 증가함에 따라, UV에 노출되는 시간이 증가함에 따라 점착제의 경화도가 높아지기 때문에 점착력과 전사현상이 감소하였다. 반면 유지력의 경우는 경화도가 증가하여 분자구조가 망상구조를 이루며 점착제 내부응집력이 증가하기 때문에 유지력은 증가하였다.

자외선 경화형 폴리카보네이트계 폴리우레탄 메타아크릴레이트의 합성과 경화거동 : 폴리올 분자량, 광개시제 및 모노머 함량이 유연성과 물성에 미치는 영향 (Synthesis and Curing Behavior of UV-curable Polycarbonate-based Polyurethane Methacrylate : Effect of Polyol Molecular Weight, Contents of Photoinitiator and Monomers on the Flexibility and Properties)

  • 박은숙;황현득;박초희;이용희;문제익;김현중
    • 접착 및 계면
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    • 제12권2호
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    • pp.47-55
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    • 2011
  • 자외선 경화형 도료는 기계적 물성과 내화학성, 내마모성 등이 우수하고, 빠른 경화시간으로 경제성이 우수하며, 휘발성유기용제의 양을 줄일 수 있어 환경친화적이기 때문에 다양한 산업분야에서 널리 사용되고 있다. 이에 반해, 유연성이 떨어지는 도막을 형성하기 때문에 최근 활발히 연구되고 있는 선도장 후성형의 pre-coated metal용 도료로 사용하는 데 문제점을 지니고 있다. 본 연구에서는 polycarbonate diol, isophorone diisocyanate와 2-hydroxyethyl methacrylate를 이용해 polyurethane methacrylate를 합성하여 성형 시 필요한 유연성을 향상시켜 선도장 강판용 도료의 적용 가능성을 살펴보았다. 또한, 폴리올의 분자량, 광개시제의 함량, 모노머의 함량이 경화거동, 유연성, 도막물성에 미치는 영향을 평가하였다. Photo-DSC를 이용하여 광경화 거동을 살펴보았고, 진자경도, 인장강도, 점탄성을 측정하여 경화도막의 유연성 및 도막물성을 평가하였다.

UV.EB 잉크 리포트

  • 조갑준
    • 프린팅코리아
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    • 통권43호
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    • pp.144-147
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    • 2006
  • 인쇄업체들에게 고품질 인쇄와 빠른 작업전환을 제공하는 UV(Ultra Violet) 및 EB(Electron Beam) 경화 잉크는 꾸준하게 성장하고 있으며 향후에도 지속적인 기술발전 및 시장확대가 기대된다.

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알루미나 졸과 아크릴레이트 단량체를 이용한 UV경화형 유-무기 하이브리드 하드코팅 막 제조 (Preparation of UV-Curable Organic-Inorganic Hybrid Hard Coating Films Using Alumina Sols and Acrylate Monomers)

  • 황지현;송기창
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제49권3호
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    • pp.277-284
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    • 2011
  • 본 연구에서는 알루미나 졸과 아크릴레이트 단량체를 이용하여 UV 경화형 유-무기 하이브리드 하드코팅 용액을 제조하였다. Aluminum isopropoxide로부터 얻어진 알루미나 졸에 실란커플링제인 methacryloxypropyl trimethoxysilane(MPTMS)을 첨가하여 제조된 졸을 무기물 성분으로 사용하였다. 유기물 성분으로는 다양한 아크릴레이트 단량체인 pentaerythritol triacrylate(PETA), 1,6-hexanediol diacrylate(HDDA), dipentaerythritol hexaacrylate(DPEHA)를 혼합하여 사용하였다. 이후 무기물 성분과 유기물 성분을 혼합하여 유-무기 하이브리드 코팅 용액을 제조한 후, 이를 polycarbonate 기판 위에 스핀 코팅 후 UV 경화를 실시하여 도막을 형성하였다. 이때 무기물 성분 중의 MPTMS의 첨가량과 UV 경화 시간 변화가 코팅 막의 물성에 미치는 영향을 연구하였다. 그 결과 MPTMS가 0.20 mole 첨가 될 경우 코팅 막은 3H의 우수한 연필경도를 나타내었으며 haze값이 2%로 내마모성도 우수하였다.

마루바닥재용 자외선 경화형 에폭시 아크릴레이트 도료의 열안정성과 표면경도 (Thermal Stability and Surface Hardnes of UV-curable Epoxy Acrylate Coatings for Wooden Flooring)

  • 황현득;최재훈;문제익;김현중
    • Journal of the Korean Wood Science and Technology
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    • 제36권6호
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    • pp.121-129
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    • 2008
  • 고경도, 고광택, 고내마모성 및 고내산성 등의 물성이 요구되는 마루바닥재의 상도용 도료로는 물성이 우수하면서도 환경친화적인 자외선경화형 도료가 많이 사용되고 있다. 그 중에서도 특히 에폭시 아크릴레이트계의 올리고머는 높은 열안정성과 속경화 특성으로 인하여 목재내장재의 도료로써 많이 사용되고 있다. 본 연구에서는 아크릴레이트 관능기 수가 자외선 경화형 에폭시 아크릴레이트 도료의 열안정성 및 표면경도에 미치는 영향을 분석하고자 하였다. 조성분을 이루는 모노머, 올리고머, 광개시제 각각의 열분해 거동 및 아크릴레이트 관능기수가 달리 배합된 에폭시 아크릴레이트 도료의 열안정성을 열중량분석기(TGA)를 사용하여 평가하였으며, 열안정성과 물리적 물성과의 관계를 확인하기 위하여 진자경도계를 이용하여 표면경도를 측정하였다. 경화 전 후의 열분해 거동 및 표면경도를 비교한 결과, 자외선 경화 중에 발생하는 가교에 의해 도막의 열안정성이 부여되며, 관능기의 수가 많아짐에 따라 열안정성뿐만 아니라 표면경도도 향상됨을 확인하였다.

4,4'-Thiodibenzenethiol을 이용한 광경화형 에폭시 아크릴레이트 합성과 굴절률에 관한 연구 (Synthesis of UV Curable 4,4'-Thiodibenzenethiol-based Epoxy Acrylate and Their Refractive Index Behavior)

  • 백승석;이상원;황석호
    • 폴리머
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    • 제37권1호
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    • pp.121-126
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    • 2013
  • 4,4'-Thiodibenzenethiol을 기반으로 이관능 에폭시 수지인 4,4'-thiodibenzenethiol diglycidyl ether를 직접합성법으로 합성하였다. 합성된 에폭시 수지가 광경화가 가능하도록 acrylic acid와 반응시켜 광경화형 고굴절 이관능 에폭시 아크릴레이트인 4,4'-thiodibenzenethiol diglycidyl ether diacrylate를 합성하였으며 $^1H$ NMR과 FTIR을 이용하여 화학구조를 확인하였다. 이관능 에폭시 아크릴레이트와 함께 반응성 희석제인 2-phenoxythiol ethyl acrylate를 5, 10, 15, 20, 30 wt% 희석하여 점도와 굴절률과의 상관관계를 확인하였으며 광경화 후 경화필름의 굴절률 변화를 고찰 하였다. 반응성 희석제의 농도가 증가함에 따라 경화물의 경화도가 낮아졌으며, 경화도가 클수록 경화 후 굴절률은 높아지는 경향을 확인하였다.