• 한국광학회지
• /
• 제4권1호
• /
• pp.15-21
• /
• 1993

본 연구에서는 설계제작된 KrF 엑시머 레이저 스텝퍼는 광원인 KrF엑시머 레이저, 조명광학계, 축소트영광학계, 정밀구동 웨이퍼 스테이지, 정렬시스템 및 이들을 제어하기 위한 제어계로 구성되어 있다. 본 실험에서 사용한 KrFdprtlaj 레이저는 밴드폭 3pm, 반복주파수 200Hz, 평균축력 3W이고, 5:1 투영렌즈는 N.A. 0.42, 전체 필드영역 $\varphi$21.2mm, 왜곡수차 최대 60nm 이하이다. 또한 정밀구동 웨이퍼 스테이지의 재현성과 해상도는 각각 $\pm$0.08$\mu\textrm{m}$/200mm(3 sigma), 100mm 반경에서 0.05 $\mu\textrm{m}$이다. 자동 초점 시스템은 $\pm$50$\mu\textrm{m}$범위에서 0.1$\mu\textrm{m}$의 해상도를 나타냈으며, 자동수평시스템은 120 arcsec 범위에서 larcsec의 해상도를 나타냈다. OFF-AXIS 정렬방식에서는 0.2$\mu\textrm{m}$의 해상도를 가지며, 두빔의 간섭을 이용한 새로운 TTL 정렬은 0.1$\mu\textrm{m}$의 해상도를 나타냈다. 스텝퍼 패턴 실험결과 SAL603레지스트를 사용하였을 때 웨이퍼의 노광후 열처리 $105^{\circ}C$, 60초에서 0.3$\mu\textrm{m}$ Lines and Spaces(L/S)까지 해상되었으며, 0.34$\mu\textrm{m}$ L/S에서 1$\mu\textrm{m}$의 초점심도를 얻을 수 있었다. 마스크 패턴과 레지스트 패턴의 선형성은 0.4$\mu\textrm{m}$ L/S가지 유지 되었다. 또한 XP-89131레지스트의 경우 노광후 열처리 $110^{\circ}C$, 60초에서 0.34$\mu\textrm{m}$ L/S까지 해상됨을 알수 있었다.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
• /
• 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권2호
• /
• pp.1619-1621
• /
• 2007

Novel optical measurement systems and improved cell configurations for measuring of azimuthal anchoring energies were developed. The difference between the mechanical rubbing direction and the optical easy axis that caused errors in the previous azimuthal anchoring energy measurement was compensated. In addition, the measurement accuracy of the twist angle and therefore the azimuthal anchoring energy was greatly enhanced. As a result, we were able to obtain valid azimuthal anchoring energy values for different alignment layers.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
• /
• 한국정보디스플레이학회 2003년도 International Meeting on Information Display
• /
• pp.619-621
• /
• 2003

We have presented in the paper preliminary results on physical characteristic parameters of a photopolymer LPPF 301 CP. The weak azimuthal anchoring energy (${\sim}5.0{\times}10^{-6}J/m^2$) of a photopolymer was measured by using a simple optical method. High pretilt up to $30^{\circ}$ has been achieved in the photoaligned cell by irradiating an obliquely incident UV light.

• 한국전기전자재료학회논문지
• /
• 제14권7호
• /
• pp.600-605
• /
• 2001

The electro-optical (EO) performances for the twisted-nematic (TN)-liquid crystal display (LCD) photo-aligned with polarized UV exposure on various blending photopolymer surfaces were investigated. Excellent LC alignment and voltage-transmittance (V-T) characteristics for TN-LCD photo-aligned with polarized UV exposure of normal incidence on the blending photopolymer (polyimide (PI) +PM4Ch(poly(4-methacryloyloxy chalcone))) surface containing chalcone group can be achieved. The EO performances for the TN-LCD photo-aligned on the blending photopolymer can be improved due to the photosensitivity by long side chain of the photopolymer.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국전기전자재료학회 1998년도 춘계학술대회 논문집
• /
• pp.109-112
• /
• 1998

In this paper, we studied on electro-optical (EO) characteristics of photo-aligned twisted nematic (TN)-LCD. We obtained that uniform LC alignment in TN-LCD with linearly polarized ultraviolet (LPUV) light irradiation on polyimide (PI) surface increases according to increasing irradiation time for 10 to 60 min. The voltage-transmittance and response time characteristics of photo-aligned TN-LCD with UV light irradiation time of 60 min were almost same in comparison with conventional TN-LCD were observed. From the results, we suggest that photo-aligned TN-LCD with LPUV light irradiation on PI surface is useful in applying LCD as for rubbing-free treatment method.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국전기전자재료학회 1998년도 추계학술대회 논문집
• /
• pp.343-346
• /
• 1998

The generation of pretilt angle in nematic liquid crystal (NLC) and electro-optical (EO) characteristics of photo-aligned twisted nematic (TN)-LCD with oblique P-polarized ultraviolet (UV) light irradiation on the two kinds of the soluble polyimide (PI) surfaces containing trifluoromethyl moieties were investigated. The generated pretilt angle of NLC is about 2.5$^{\circ}$with P-polarized UV light irradiation of 20$^{\circ}$on PI-3 surface at 20 min.; However pretilt angle of about 0.5$^{\circ}$are observed on PI-1 and PI-2 surfaces. The generated pretilt angle of NLC on PI-3 surface may be attributed to the trifluoromethyl moieties attached to the lateral benzene rings. The voltage-transmittance and response time characteristics of photo-aligned TN-LCD with P-polarized UV light irradiation of 20$^{\circ}$on PI-1 surface at 20 min were almost same in comparison with the rubbing-aligned TN-LCD. However, the high threshold voltage and slow response are observed on PI-3 surface. Also, the decay time $\tau$$\sub$d/ of photo-aligned TN-LCD is attributed to the anchoring energy of NLC.

• 폴리머
• /
• 제35권4호
• /
• pp.350-355
• /
• 2011

고분자의 주사슬에 광반응을 할 수 있는 phenyldiacryloyl 그룹을 가지고, 곁사슬에 액정분자와 비슷한 메조겐인 biphenyl을 에테르 결합을 통해서 도입된 가용성 광반응성 폴리아미드를 합성하였다. 합성된 폴리아미드 고분자는 0.65 dL/g의 대수점도를 가지며, 일반적인 코팅 방법으로 여러 기질의 표면에 잘 도포되는 성질을 보였다. 광반응성 폴리아미드 고분자의 화학 구조는 $^1H$ NMR과 Fourier transform infrared(FTIR) spectroscopy를 이용해서 확인하였다. 합성된 고분자의 유리전이온도는 $150^{\circ}C$까지 관측되지 않았으며, 열분해 온도는 $280^{\circ}C$로 관측되어, 열안정성이 높음을 확인하였다. 합성된 폴리아미드 고분자 박막을 비편광된 자외선을 노광시켜 노광하는 에너지에 따른 변화를 조사했을 때, 좋은 광반응성을 보였다. 광반응성 폴리아미드를 이용하여 선편광된 자외선을 노광하여 제작한 액정 셀 내에서, 액정분자들은 노광된 선편광 자외선의 electric vector 방향의 수직으로 배향되는 것이 관측되었으며, 이러한 현상은 선편광 자외선의 노광량에는 무관함을 보였다. 액정 셀 내에서 액정분자들의 pretilt angle은 선편광된 자외선의 노광량에 따라 약간의 차이를 보이며 $0.2^{\circ}$에서 $0.5^{\circ}$사이의 값을 보였다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집
• /
• pp.951-954
• /
• 2001

We investigated the aligning capabilities for nematic liquid crystal (NLC) using a in-situ photodimerization method on various photopolymer surfaces. High Pretilt angle of the NLC can be measured by obliquely polarized UV exposure of 30$^{\circ}$on a photo-crosslinkable polyimide (PI) based polymer surface for 3 min. The pretilt angle of the NLC generated on the photopolymer surface using the in-situ photodimerization method was higher than that of a blending photopolymers (PI and cinnamate materials).

• 한국광학회지
• /
• 제16권1호
• /
• pp.79-84
• /
• 2005

정력 오차 허용 범위를 증가 시켜서 효과적인 수동정렬이 가능토록 하기 위한 단일 모드 대형 코어 폴리머 광도파로를 구현하였다. 대형 코어 광도파로는 TEC(thermally expanded core) 광섬유의 모드와 일치하는 큰 도파모드를 가진다. 이로 인해 광섬유와 도파로의 정렬오차로 인한 모드 결합 손실을 줄일 수 있게 된다. 코어와 클래딩의 굴절률 차이가 5 ${\times}$ $10^{-4}$ 인 폴리머 재료를 이용하여 25 ${\times}$ 25 $\mu\textrm{m}$$^2$ 크기의 정사각형 광도파로를 제작하였으며 도파모드 관측결과 단일모드로 동작함을 확인하였다. 이와 같이 두꺼운 형태의 광도파로 구조 제작을 위하여 자외선 경화를 이용한 인젝션 몰딩(injection molding) 공정을 사용하였다. 제작된 광도파로 소자를 TEC 광섬유와 정렬연결을 할 때 정렬오차가 4.5 $\mu\textrm{m}$ 까지 증가하더라도 삽입손실 증가는 0.5 dB 이하고 유지됨을 확인하였다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
• /
• 대한전기학회 1997년도 하계학술대회 논문집 C
• /
• pp.1247-1249
• /
• 1997

Langmuir-Blodgett(LB) method is one of the ways of fabricating organic ultra thin films. It is well known that It has the advantage to control the alignment and orientation of the molecules in the films. Metallo-phthalocyanines (MPcs) are sensitive to electron affinitive toxic gaseous molecules, such as $NO_2$, NO, $SO_2$. In this study, thin films of octa-dodecyloxy copper-phthalocyanine were prepared by LB method and characterized by using UV/Vis absorption spectroscopy and ellipsometry. Optimal transfer condition of LB films was investigated and preliminary results of current-voltage (I-V) characteristics of these films exposed to $NO_2$ gas as a function of film thickness.