비증발형 게터용 금속이나 합금의 표면은 대기중에서 얇은 산화층등으로 덮여있다. 이들이 제품 내에서 게터역할을 하기 위해서는 진공이나 불활성 분위 내에서 가열하여 표면 산화층을 제거하는 활성화공정이 필요하며 활성화온도는 장착 제품을 결정하는 중요한 인자가 된다. 게터의 기본적인 특성은 활성화 및 각종가스에 대한 흡수능으로 대별할 수 있다. 이중 게터의 흡수능에 대해서는 ASTM등에서 규정하고 있으나 활성화온도에 대해서는 아직 표준적인 방법이 제시되어 있지 못하다. 본 연구에서는 온도에 따른 도달압력 측정에 의해 게터의 활성화온도를 결정하는 비교적 간단한 방법을 제시하였다. 본 방법으로 측정한 TiZrV 합금의 활성화온도가 100℃～200℃ 범위에 있다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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