• 한국안광학회지
• /
• 제16권4호
• /
• pp.357-362
• /
• 2011

목적: $Ti_3O_5$와 $SiO_2$를 이용하여 중심파장이 500 nm에서 반치폭이 약 12 nm이고 투과율이 99%인 협대역 칼라투과필터를 제작하고, 이 칼라필터의 박막 특성을 연구하고자 한다. 방법: 두께 800 nm인 $Ti_3O_5$박막과 $SiO_2$박막의 투과율로부터 박막의 광학상수 n(굴절률)과 k(소멸계수)를 구하였고, Essential Macleod program을 이용하여 중심파장이 500 nm에서 반치폭이 약 12 nm이고 투과율이 99%인 협대역 칼라투과필터의 필터층과 AR 코팅층을 설계하였다. 또 한 electron beam evaporation 장치를 이용하여 $Ti_3O_5/SiO_2$ 다층막 칼라필터을 만든 후, 분광광도계를 이용하여 투과율을 측정하였고, SEM 사진에 의한 칼라필터의 단면으로부터 칼라필터의 박막두께와 층수를 알 수 있었고, XPS분석으로부터 박막 성분을 분석하였다. 결과: 칼라필터의 AR 코팅층의 최적조건은 6층으로 [air$|SiO_2(90)|Ti_3O_5(36)|SiO_2(5)|Ti_3O_5(73)|SiO_2(30)|Ti_3O_5(15)|$ glass]이며, 반치폭이 12 nm인 칼라필터의 필터층의 최적조건은 41층으로 [air$|SiO_2(20)|Ti_3O_5(64)|SiO_2(102)|Ti_3O_5(66)|SiO_2(112)|Ti_3O_5(74)|SiO_2(120)|Ti_3O_5(68)|SiO_2(123)|Ti_3O_5(80)|SiO_2(109)|Ti_3O_5(70)|SiO_2(105)|Ti_3O_5(62)|SiO_2(99)|Ti_3O_5(63)|SiO_2(98)|Ti_3O_5(51)|SiO_2(60)|Ti_3O_5(42)|SiO_2(113)|Ti_3O_5(88)|SiO_2(116)|Ti_3O_5(68)|SiO_2(89)|Ti_3O_5(49)|SiO_2(77)|Ti_3O_5(48)|SiO_2(84)|Ti_3O_5(51)|SiO_2(85)|Ti_3O_5(48)|SiO_2(59)|Ti_3O_5(34)|SiO_2(71)|Ti_3O_5(44)|SiO_2(65)|Ti_3O_5(45)|SiO_2(81)|Ti_3O_5(52)|SiO_2(88)|$ glass] 이었다. 위의 데이터를 이용하여 제작한 칼라필터는 SEM 사진에 의해 41층으로 확인되었으며, XPS 분석에 의해 $SiO_2$층이 맨 위층이며 $Ti_3O_5$층과 교번인 다층막으로 형성돼 있으며, $Ti_3O_5$박막 형성 시 TiO2 박막과 $Ti_3O_5$박막이 섞여 형성됨을 알 수 있었다. 결론: 41층의 $Ti_3O_5/SiO_2$ 다층박막을 이용하여 12 nm 반치폭을 갖으며 500 nm 중심파장에서 투과율은 99%인 협대역 칼라투과필터를 제작하였으며, 이 칼라필터는 $Ti_3O_5$박막 형성 시 TiO2 박막과 $Ti_3O_5$박막이 섞여 형성됨을 알 수 있었다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
• /
• 대한전기학회 2004년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
• /
• pp.194-196
• /
• 2004

$BaTiO_3/SrTiO_3$ heterolayered thick films on the $Al_2O_3$ substrate by screen printing method with stacking periodicity. The stacking periodicity of $BaTiO_3/SrTiO_3$ heterolayer structure was varied from $(BaTi_O_3)_1/(SrTiO_3)_1$ to $(BaTi_O_3)_3/(SrTiO_3)_3$. The total thickness of the $BaTiO_3/SrTiO_3$ films was about $120{\mu}m$. There was an interdiffusion at the interface of the $BaTiO_3$ and $SrTiO_3$ layers. The dielectric constant of $BaTiO_3/SrTiO_3$ heterolayered thick films was increased with decreasing stacking periodicity of the $BaTiO_3/SrTiO_3$. The dielectric constant of the ($(BaTi_O_3)_1/(SrTiO_3)_1$ herterolayered thick films was about 1780.

• 한국통신학회논문지
• /
• 제18권8호
• /
• pp.1102-1107
• /
• 1993

CaO-TiO2 이성분계에서 40~50 mol% CaO 조성범위를 선택하여 CaTiO3과 CaTiO3-TiO2세라믹스의 마이크로파 유전특성을 조사하였다. CaTiO3 단일상 (50 mol% CaO조성)일 때 유전율(er) 178, 공진주파수 (fo)의 온도계수(r,)+1000ppm/C, 픔질계수인 Q값 2760(fo=2.7 GHz)으로 가장 큰 값을 나타내었다. CaTiO3와 TiO2상이 혼합상으로 있는 유전체에서는 CaO 함량이 감소함에 따라서 유전율과 공진주파수의 온도계수는 점차 감소하였으나 Q값과 밀도는 47 mol% CaO조성에서 가장 낮았다. 이것은 이상 혼합 세라믹에서 TiO2상의 감소로 인해 CaTiO3의 결정립 성장이 급속하게 일어남으로써 입계와 입내에 큰 기공이 존재하지 때문으로 생각된다.

• 한국세라믹학회지
• /
• 제35권11호
• /
• pp.1130-1140
• /
• 1998

Thin films of $Bi_4Ti_3O_{12}\;nBaTiO_3(n=1&2)$ were prepared using sols erived Ba-Bi-Ti complex alkoxides. The sols were spin-cast onto $Pt/Ti/SiO_2/Si$ substrates and followed by pyrolysis for 1 hr at $620^{\circ}C,\;700^{\circ}C\;and\;750^{\circ}C$ In the thin films a pyrochlore phase seemed to be formed at a lower temperature and then tran-formed to the layered perovskite phase as the heating temperature increased. In the thin films pyrolyzed at formed to the layered perovskte phase as the heating temperature increased. In the films pyrolyzed at $750^{\circ}C$ the amount of $Bi_4Ti_3O_{12}{\cdot}BaTiO_3$ reached to 94% while $Bi_4Ti_3O_{12}{\cdot}BaTiO_3$ was 77% in composition. This result shows that the formation of the layered pervoskite phase becomes difficult as the amount of complexing $BaTiO_3$ increases. The microstructures and the electrical properties of the thin films were gen-erally improved with the incease of the heating temperature. However the presence of the pyrochlore phase could not be removed effectively. Our study showed that the electrical properties of $Bi_4Ti_3O_{12}{\cdot}BaTiO_3$ were pronouncedly improved with complexing with BaTiO3 when compared to those of $Bi_4Ti_3O_{12}$ while the presence of the pyrochlore phase was detrimental to the those of $Bi_4Ti_3O_{12}{\cdot}2BaTiO_3$.

• 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
• /
• 제55권7호
• /
• pp.344-348
• /
• 2006

The effect of x on microwave dielectric properties of the $(1-x)Mg_4Ta_2O_9-x(TiO_2,\;CaTiO_3,\;SrTiO_3)$ ceramics for microwave components were investigated. All spcecimens prepared by the conventional mixed oxied method and sintered at $1450^{\circ}C$. Microwave dielectric properties of the $(1-x)Mg_4Ta_2O_9-xTiO_2$ ceramics were influenced by $MgTi_2O_5$ phase. Also the microwave dielectric properties of the $(1-x)Mg_4Ta_2O_9-x(TiO_2,\;CaTiO_3,\;SrTiO_3)$ ceramics were dominated with an addition of $CaTiO_3\;and\;SrTiO_3$. The dielectric constant $(\varepsilon_r)$, quality factor $(Q{\times}f_r)$ and temperature coefficient of the resonant frequency $(TCRF,\;\tau_f)$ of the $(1-x)Mg_4Ta_2O_9-x(TiO_2,\;CaTiO_3,\;SrTiO_3)$ ceramics were $12.96\sim70.98,\;5,132\sim186,410GHZ$ and $-35.82\sim+75.96ppm/^{\circ}C$, respectively, and depend on x and addition materials.

• 대한전기학회:학술대회논문집
• /
• 대한전기학회 2004년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
• /
• pp.58-60
• /
• 2004

The $BaTiO_3/SrTiO_3$ heterolayered thick films were fabricated on alumina substrate by screening printing method. The obtained films were sintered at $1400^{\circ}C$ with bottom electrode of Pt for 2 hours. The structural and electrical properties of $BaTiO_3/SrTiO_3$ heterolayered thick films were compared with pure $BaTiO_3$ and $SrTiO_3$ films. The (Ba,Sr)$TiO_3$ phase was appeared at the $BaTiO_3/SrTiO_3$ heterolayered thick films. The thickness of $BaTiO_3/SrTiO_3$ heterolayered thick film, obtained by one printing, was about $50{\mu}m$. The dielectric constant and dielectric loss of the $BaTiO_3/SrTiO_3$ heterolayered thick films were about 1964, 5.5% at 1KHz, respectively.

• 한국세라믹학회지
• /
• 제23권6호
• /
• pp.45-51
• /
• 1986

$SrTiO_3$ reaction mechanism formed from $TiCl_4$ and $SrCl_2$ solution by direct-wet-process was studied. Through this study it is identified that crystalline $SrTiO_3$ is formed above pH 13.8 amorphous $SrTiO_3$ above pH7 and crystallization temperature of amorphous $SrTiO_3$ is at 37$0^{\circ}C$. the final products are composed of 60% crystalline $SrTiO_3$ and 40% amorphous $SrTiO_3$ The amorphous $SrTiO_3$ is identified with the IR absorption spectrum of Sr-Ti-O by FT-IR spectrometer. Under pH 7 gelationus metatitanate (H2TiO3) is formed from TiCl4 but above pH7 the activity by the formation of metatitnic acid ion $[TiO_3]^{2-}$ is so high that $SrTiO_3$is formed more easily through the reaction with $Sr^{2+}$.

• 자연과학논문집
• /
• 제8권1호
• /
• pp.61-69
• /
• 1995

$BaTiO_3$는 일반적으로 $BaCO_3$와 $TiO_2$의 고상반응으로 얻어지는데 BaO의 활성이 높고 이차상이 생성되므로 순수하게 합성하기가 어렵다. 순수한 $BaTiO_3$를 얻기 위해서 공침법, 가수분해법등이 연구되고 있으나 출발 원료가 비싸고 제조 공정상 문제로 고상반응으로 합성한 것과 별차이가 없다. 그래서 고상반응의 공정을 개선하는 연구가 다시 진행되고 있으며 본 연구에서도 $BaTiO_3$를 고상반응으로 합성할 때 물성에 좋지 않은 영향을 주는 이차상인 $Ba_2TiO_4$의 생성기구를 밝히고, 그것을 조절하려 했다. $BaTiO_3$의 이론조성중 Ba가 과잉인 영역에서는 $Ba_2TiO_4$가 $TiO_2$가 과잉인 영역에서는 $BaTiO_2O_5$와 $BaTiO_3O_7$이 소지의 팽창에 원인이 되었다. 환원에서 소결되는 $CeAIO_3$와 $BaTiO_3$계의 유전체는 공기중에서 $CeAIO_3$가 분해되고 이때 생성되는 $CeO_2$가 $BaTiO_3$의 전기적 물성에 큰 영향을 주었다.

• 한국세라믹학회지
• /
• 제24권5호
• /
• pp.484-490
• /
• 1987

Diffusion coupling experiment was done to study expansion of body and soild reaction in BaCO3-TiO2 system. Specimen of BaCO3 and TiO2 was formed with Pt-mark's method. Each specimen was fired at interval of 25℃ from 900℃ to 1000℃ for 2hrs. After that, specimen was fixed with resin and polished. Product layers of specimen were observed with SEM and EDS. The result were following; 1. Diffusion component is Ba2+, which diffuse toward TiO2. 2. Large crack between layer of BaCO3 and Ba2TiO4 was generated because of difference of thermal expansion coefficient. 3. Ba2TiO4 is formed to TiO2 body by the reaction of BaTiO3 and BaO and its structure is very porous. 4. BaTiO3 changes immediately to Ba2TiO4 by the reaction of BaO. But BaTiO3 which formed by the reaction of TiO2 and Ba2TiO4 exsists as layer because the diffusion distance of Ba2+ is far.

• 대한화학회지
• /
• 제38권4호
• /
• pp.309-318
• /
• 1994

La$_2O_3$-변형 BaTi$O_3$의 안정한 결함구조와 단일상 영역을 X-선 회절분석기와 주사전자현미경을 사용하여 연구하였다. La$_2O_3$-변형 BaTi$O_3$의 안정한 결함구조는 La$^{3+}$ 이온이 격자구조내의 Ba$^{3+}$ 이온을 치환하고 Ti빈자리가 전하 불균형을 보상하기 위한 결함으로 생성된 [($Ba^x_{Ba})_{1-2x}(La{\cdot}_{Ba})_{2x}][Ti^x_{Ti})_{1-x/2}(V""_{Ti})_{x/2}]O_3$이다. 안정한 결함구조가 형성되도록 BaTi$O_3$에 La$_2O_3{\cdot}3/2TiO_3$를 혼입할 때 단위격자는 약 3 mol%가 혼입될 때부터 정방정에서 입방정으로 변하였고, 고용한계는 약 14 mol%이었다. La2$O_3{\cdot}3/2TiO_2$를 고용한계 이상으로 혼입할 때는 이차상으로 La_4Ba_2Ti_5O){18}$가 생성되었다. La$_2O_3$-변형 BaTi$O_3$ 조성에서 BaO가 과량 존재하면 소결성이 나쁘지만, Ti$O_2$가 과량으로 존재하면 액상소결에 의하여 소결성이 좋아짐을 확인할 수 있다.