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Ti3O5/SiO2 다층박막를 이용한 협대역 칼라투과필터 제작 및 특성연구 (The Fabrication and Characteristic for Narrow-band Pass Color-filter Deposited by Ti3O5/SiO2 Multilayer)

  • 박문찬;고견채;이화자
    • 한국안광학회지
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    • 제16권4호
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    • pp.357-362
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    • 2011
  • 목적: $Ti_3O_5$$SiO_2$를 이용하여 중심파장이 500 nm에서 반치폭이 약 12 nm이고 투과율이 99%인 협대역 칼라투과필터를 제작하고, 이 칼라필터의 박막 특성을 연구하고자 한다. 방법: 두께 800 nm인 $Ti_3O_5$박막과 $SiO_2$박막의 투과율로부터 박막의 광학상수 n(굴절률)과 k(소멸계수)를 구하였고, Essential Macleod program을 이용하여 중심파장이 500 nm에서 반치폭이 약 12 nm이고 투과율이 99%인 협대역 칼라투과필터의 필터층과 AR 코팅층을 설계하였다. 또 한 electron beam evaporation 장치를 이용하여 $Ti_3O_5/SiO_2$ 다층막 칼라필터을 만든 후, 분광광도계를 이용하여 투과율을 측정하였고, SEM 사진에 의한 칼라필터의 단면으로부터 칼라필터의 박막두께와 층수를 알 수 있었고, XPS분석으로부터 박막 성분을 분석하였다. 결과: 칼라필터의 AR 코팅층의 최적조건은 6층으로 [air$|SiO_2(90)|Ti_3O_5(36)|SiO_2(5)|Ti_3O_5(73)|SiO_2(30)|Ti_3O_5(15)|$ glass]이며, 반치폭이 12 nm인 칼라필터의 필터층의 최적조건은 41층으로 [air$|SiO_2(20)|Ti_3O_5(64)|SiO_2(102)|Ti_3O_5(66)|SiO_2(112)|Ti_3O_5(74)|SiO_2(120)|Ti_3O_5(68)|SiO_2(123)|Ti_3O_5(80)|SiO_2(109)|Ti_3O_5(70)|SiO_2(105)|Ti_3O_5(62)|SiO_2(99)|Ti_3O_5(63)|SiO_2(98)|Ti_3O_5(51)|SiO_2(60)|Ti_3O_5(42)|SiO_2(113)|Ti_3O_5(88)|SiO_2(116)|Ti_3O_5(68)|SiO_2(89)|Ti_3O_5(49)|SiO_2(77)|Ti_3O_5(48)|SiO_2(84)|Ti_3O_5(51)|SiO_2(85)|Ti_3O_5(48)|SiO_2(59)|Ti_3O_5(34)|SiO_2(71)|Ti_3O_5(44)|SiO_2(65)|Ti_3O_5(45)|SiO_2(81)|Ti_3O_5(52)|SiO_2(88)|$ glass] 이었다. 위의 데이터를 이용하여 제작한 칼라필터는 SEM 사진에 의해 41층으로 확인되었으며, XPS 분석에 의해 $SiO_2$층이 맨 위층이며 $Ti_3O_5$층과 교번인 다층막으로 형성돼 있으며, $Ti_3O_5$박막 형성 시 TiO2 박막과 $Ti_3O_5$박막이 섞여 형성됨을 알 수 있었다. 결론: 41층의 $Ti_3O_5/SiO_2$ 다층박막을 이용하여 12 nm 반치폭을 갖으며 500 nm 중심파장에서 투과율은 99%인 협대역 칼라투과필터를 제작하였으며, 이 칼라필터는 $Ti_3O_5$박막 형성 시 TiO2 박막과 $Ti_3O_5$박막이 섞여 형성됨을 알 수 있었다.

Transfer Matrix를 사용하여 예측한 $TiO_2$/Ag/$TiO_2$ 박막의 광학적 성질 및 스퍼터 증착된 박막과의 특성 비교 (Prediction of the optical properties of $TiO_2$/Ag/$TiO_2$ films using transfer matrix and comparisions with real transmittance measured on the sputter-deposited films)

  • 김진일;김진현;김영환;오태성
    • 한국재료학회지
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    • 제5권1호
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    • pp.140-148
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    • 1995
  • Transfer matrix를 사용하여 $TiO_{2}$ 및 Ag 단일 박막과 $TiO_{2}/Ag/TiO_{2}$ 다층 박막의 두계에 따른 투과도 특성을 예측하였으며, 이를 실제 스퍼터 증착하여 제조한 박막의 광학 특성과 비교하였다. $TiO_{2}$ 및 Ag 박막에서는 복소굴절률을 사용하므로써 실제 증착박막에서 측정된 특성과 근접한 투과도 곡선의 예측이 가능하였다. $TiO_{2}/Ag/TiO_{2}$ 3층 박막의 광학 특성은 Ag의 $TiO_{2}$층으로의 확산 및 응집에 의해 transfer matrix로 예측한 투과도 특성과 전혀 다른 거동을 나타내었다. 그러나 4nm 및 6nm 두계의 Ti 박막을 확산방지층으로 증착한 Ti$O_{2}$/Ti/Ag/Ti/Ti$O_{2}$ 구조의 5층 박막에서는 transfer matrix를 사용하여 예측한 $TiO_{2}/Ag/TiO_{2}$ 3층 박막의 투과도 곡선과 유사한 광학 특성을 얻을 수 있었다.

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적층주기에 따른 $BaTiO_3/SrTiO_3$ 이종층 후막의 유전 특성 (The Dielectric Properties of $BaTiO_3/SrTiO_3$ Heterolayered Thick Films with Stacking Periodicity)

  • 이의복;최의선;이문기;류기원;이영희
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2004년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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    • pp.194-196
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    • 2004
  • $BaTiO_3/SrTiO_3$ heterolayered thick films on the $Al_2O_3$ substrate by screen printing method with stacking periodicity. The stacking periodicity of $BaTiO_3/SrTiO_3$ heterolayer structure was varied from $(BaTi_O_3)_1/(SrTiO_3)_1$ to $(BaTi_O_3)_3/(SrTiO_3)_3$. The total thickness of the $BaTiO_3/SrTiO_3$ films was about $120{\mu}m$. There was an interdiffusion at the interface of the $BaTiO_3$ and $SrTiO_3$ layers. The dielectric constant of $BaTiO_3/SrTiO_3$ heterolayered thick films was increased with decreasing stacking periodicity of the $BaTiO_3/SrTiO_3$. The dielectric constant of the ($(BaTi_O_3)_1/(SrTiO_3)_1$ herterolayered thick films was about 1780.

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CaTiO$_3$및 CaTiO$_3$-TiO$_2$세라믹스의 마이크로파 유전특성 (Microwave Dielectric Properties of CaTiO$_3$and CaTiO$_3$-TiO$_2$Ceramics)

  • 홍석경;윤중락;김경용
    • 한국통신학회논문지
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    • 제18권8호
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    • pp.1102-1107
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    • 1993
  • CaO-TiO2 이성분계에서 40~50 mol% CaO 조성범위를 선택하여 CaTiO3과 CaTiO3-TiO2세라믹스의 마이크로파 유전특성을 조사하였다. CaTiO3 단일상 (50 mol% CaO조성)일 때 유전율(er) 178, 공진주파수 (fo)의 온도계수(r,)+1000ppm/C, 픔질계수인 Q값 2760(fo=2.7 GHz)으로 가장 큰 값을 나타내었다. CaTiO3와 TiO2상이 혼합상으로 있는 유전체에서는 CaO 함량이 감소함에 따라서 유전율과 공진주파수의 온도계수는 점차 감소하였으나 Q값과 밀도는 47 mol% CaO조성에서 가장 낮았다. 이것은 이상 혼합 세라믹에서 TiO2상의 감소로 인해 CaTiO3의 결정립 성장이 급속하게 일어남으로써 입계와 입내에 큰 기공이 존재하지 때문으로 생각된다.

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$Bi_4Ti_3O_{12}{\cdot}nBaTiO_3(n=1&2)$ 박막에서 $Bi_4Ti_3O_{12}$ 에 대한 $BaTiO_3$의 복합효과 (The Complexing Effect of $BaTiO_3\;for\;Bi_4Ti_3O_{12}$ on Layered Perovskite $Bi_4Ti_3O_{12}{\cdot}nBaTiO_3(n=1&2)$ Thin Films)

  • 신정묵;고태경
    • 한국세라믹학회지
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    • 제35권11호
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    • pp.1130-1140
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    • 1998
  • Thin films of $Bi_4Ti_3O_{12}\;nBaTiO_3(n=1&2)$ were prepared using sols erived Ba-Bi-Ti complex alkoxides. The sols were spin-cast onto $Pt/Ti/SiO_2/Si$ substrates and followed by pyrolysis for 1 hr at $620^{\circ}C,\;700^{\circ}C\;and\;750^{\circ}C$ In the thin films a pyrochlore phase seemed to be formed at a lower temperature and then tran-formed to the layered perovskite phase as the heating temperature increased. In the thin films pyrolyzed at formed to the layered perovskte phase as the heating temperature increased. In the films pyrolyzed at $750^{\circ}C$ the amount of $Bi_4Ti_3O_{12}{\cdot}BaTiO_3$ reached to 94% while $Bi_4Ti_3O_{12}{\cdot}BaTiO_3$ was 77% in composition. This result shows that the formation of the layered pervoskite phase becomes difficult as the amount of complexing $BaTiO_3$ increases. The microstructures and the electrical properties of the thin films were gen-erally improved with the incease of the heating temperature. However the presence of the pyrochlore phase could not be removed effectively. Our study showed that the electrical properties of $Bi_4Ti_3O_{12}{\cdot}BaTiO_3$ were pronouncedly improved with complexing with BaTiO3 when compared to those of $Bi_4Ti_3O_{12}$ while the presence of the pyrochlore phase was detrimental to the those of $Bi_4Ti_3O_{12}{\cdot}2BaTiO_3$.

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$(1-x)Mg_4Ta_2O_9-x(TiO_2,\;CaTiO_3,\;SrTiO_3)$ 세라믹스의 마이크로파 유전 특성 (Microwave Dielectric Properties of the $(1-x)Mg_4Ta_2O_9-x(TiO_2,\;CaTiO_3,\;SrTiO_3)$ Ceramics)

  • 김재식;최의선;배선기;이영희
    • 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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    • 제55권7호
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    • pp.344-348
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    • 2006
  • The effect of x on microwave dielectric properties of the $(1-x)Mg_4Ta_2O_9-x(TiO_2,\;CaTiO_3,\;SrTiO_3)$ ceramics for microwave components were investigated. All spcecimens prepared by the conventional mixed oxied method and sintered at $1450^{\circ}C$. Microwave dielectric properties of the $(1-x)Mg_4Ta_2O_9-xTiO_2$ ceramics were influenced by $MgTi_2O_5$ phase. Also the microwave dielectric properties of the $(1-x)Mg_4Ta_2O_9-x(TiO_2,\;CaTiO_3,\;SrTiO_3)$ ceramics were dominated with an addition of $CaTiO_3\;and\;SrTiO_3$. The dielectric constant $(\varepsilon_r)$, quality factor $(Q{\times}f_r)$ and temperature coefficient of the resonant frequency $(TCRF,\;\tau_f)$ of the $(1-x)Mg_4Ta_2O_9-x(TiO_2,\;CaTiO_3,\;SrTiO_3)$ ceramics were $12.96\sim70.98,\;5,132\sim186,410GHZ$ and $-35.82\sim+75.96ppm/^{\circ}C$, respectively, and depend on x and addition materials.

BaCO3-TiO2계의 고상반응에 관한 연구 (A Study on Solid Reaction of BaCO3-TiO2 System)

  • 이응상;황성연;임대영
    • 한국세라믹학회지
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    • 제24권5호
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    • pp.484-490
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    • 1987
  • Diffusion coupling experiment was done to study expansion of body and soild reaction in BaCO3-TiO2 system. Specimen of BaCO3 and TiO2 was formed with Pt-mark's method. Each specimen was fired at interval of 25℃ from 900℃ to 1000℃ for 2hrs. After that, specimen was fixed with resin and polished. Product layers of specimen were observed with SEM and EDS. The result were following; 1. Diffusion component is Ba2+, which diffuse toward TiO2. 2. Large crack between layer of BaCO3 and Ba2TiO4 was generated because of difference of thermal expansion coefficient. 3. Ba2TiO4 is formed to TiO2 body by the reaction of BaTiO3 and BaO and its structure is very porous. 4. BaTiO3 changes immediately to Ba2TiO4 by the reaction of BaO. But BaTiO3 which formed by the reaction of TiO2 and Ba2TiO4 exsists as layer because the diffusion distance of Ba2+ is far.

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BaO-Pr$_2$O$_3$-TiO$_2$계 및 BaO-(Nd,Pr)$_2$O$_3$-TiO$_2$계 마이크로파 유전체의 합성 및 특성에 관한 연구 (A Study of the Synthesis and the Properties on Microwave Dielectric Material of BaO-Pr$_2$O$_3$-TiO$_2$ and BaO-(Nd,Pr)$_2$O$_3$-TiO$_2$ System)

  • 이용석;이재원;성학제;김준수;이병하
    • 한국세라믹학회지
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    • 제35권8호
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    • pp.775-782
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    • 1998
  • This experiment is third study concerning BaO-{{{{ { { Pr}_{ 2} O}_{3 } }}-{{{{ { TiO}_{2 } }} (Ln=Sm, Nd, Pr, La..) system which is known to show a high dielectric constant and Q value in microwave dielectric materials. The process of cry-stallization and the microwave dielectric properties of the specimens sintered at 1220-140$0^{\circ}C$ for 2 hr was investigated in the BaO-(Na,{{{{ { { Pr})_{2 }O }_{3 } }}-{{{{ { TiO}_{2 } }} as well as BaO-{{{{ { { Pr}_{ 2} O}_{3 } }}-{{{{ { TiO}_{2 } }} system. The single phase BaPr2Ti5O14 and Ba(Nd,{{{{ { { Pr})_{2 }O }_{3 } }}Ti5O14 was finally formed from the Pr2Ti2O7 (Nd, Pr)2Ti2O7 as a secondary phase in the BaO-{{{{ { { Pr}_{ 2} O}_{3 } }}-{{{{ { TiO}_{2 } }} and BaO-(Nd, {{{{ { { Pr})_{2 }O }_{3 } }}-{{{{ { TiO}_{2 } }} system respectively The dielectric constant of the specimens sint-ered at 1280~131$0^{\circ}C$ showed the maximum value as 105(BaO-{{{{ { { Pr}_{ 2} O}_{3 } }}-{{{{ { TiO}_{2 } }} system) and 88 (BaO-(Nd,{{{{ { { Pr})_{2 }O }_{3 } }}-{{{{ { TiO}_{2 } }} system) and the Q values of them showed higher value than 1800 which are due to the maximum den-sity. However the dielectric properties of the specimens sintered at higher temperature than 131$0^{\circ}C$ were reduced due to the increases of pore which were resulted from the sudden grain growth.

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광전기촉매 공정과 전기/UV 공정을 이용한 염료의 색 제거

  • 박영식;김동석
    • 한국환경과학회:학술대회논문집
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    • 한국환경과학회 2008년도 추계학술발표회 발표논문집
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    • pp.452-457
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    • 2008
  • 분말 TiO$_2$를 코팅한 전극은 전기저항으로 인해 0.5 A 이상의 전류를 인가할 수 없었으며, 1 A를 적용하였을 때 60분의 반응시간 후 최종 RhB 농도를 측정한 결과 Ru/Ti 전극의 RhB 농도 감소 가장 큰 것으로 나타났고, Ru/Ti > Ti > SG-TiO$_2$ > Th-TiO$_2$로 나타났다. 전기분해 공정만 적용한 경우 RhB 농도 감소의 순서는 Ru/Ti = Ti > SG-TiO$_2$ > Th-TiO$_2$ 전극의 순서로 나타났다. UV만 적용한 경우 RhB 제거는 작았으며, Ti와 Ru/Ti 전극은 UV만 적용한 경우와 RhB 제거농도가 비슷하였는데 이는 전극 표면에서 광촉매 반응이 일어나지 않는다는 것을 의미한다. 반면 TiO$_2$를 전극 표면에 형성하거나 코팅한 전극은 UV만 적용한 경우보다 RhB 농도가 낮게 나타났고, TiO$_2$가 형성되거나 코팅된 전극은 P-TiO$_2$ > Th-TiO$_2$ > SG-TiO$_2$의 순서로 나타났으나 차이는 크지 않았다. 광전기촉매 공정에서 시너지 효과가 거의 없는 것은 전극 표면에 코팅되거나 형성된 TiO$_2$의 양이 적고 광촉매 반응에 의한 분해 정도가 낮아 전자-정공의 재결합 감소효과가 적기 때문인 것으로 사료되었다. Th-TiO$_2$와 SG-TiO$_2$ 전극의 경우 전해질로 Na$_2$SO$_4$를 사용한 경우의 RhB 농도가 NaCl을 사용한 경우보다 RhB 낮게 나타났으나, Ti와 Ru/Ti 전극의 경우는 반대 현상이 나타났다. 이와 같은 결과는 광촉매 반응이 높은 Th-TiO$_2$와 SG-TiO$_2$ 전극에서의 Cl$^-$의 광촉매 반응 저해현상이 높게 나타났기 때문이라고 사료되었다. 반면 DSA 전극인 Ti와 Ru/Ti 전극의 경우 광촉매 반응이 거의 나타나지 않기 때문에 주반응인 전기분해 반응에서의 촉진 반응이 지배적이기 때문에 Th-TiO$_2$와 SG-TiO$_2$ 전극과는 정 반대의 현상이 나타났다고 사료되었다. 전기/UV 공정에서는 최적 전류는 0.75 A, NaCl 투입량은 0.5 g/L로 나타났으며, 최적 UV램프 전력은 16 W인 것으로 나타났다.

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$BaTiO_3$ 분말합성조건 및 $CeAIO_3-BaTiO_3$계 유전체의 기초적 연구 (Preparation of $BaTiO_3$ powder in solid reaction and basic study on dielectrics of $CeAIO_3-BaTiO_3$system)

  • 임대영;김종옥;이채현;박원규
    • 자연과학논문집
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    • 제8권1호
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    • pp.61-69
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    • 1995
  • $BaTiO_3$는 일반적으로 $BaCO_3$$TiO_2$의 고상반응으로 얻어지는데 BaO의 활성이 높고 이차상이 생성되므로 순수하게 합성하기가 어렵다. 순수한 $BaTiO_3$를 얻기 위해서 공침법, 가수분해법등이 연구되고 있으나 출발 원료가 비싸고 제조 공정상 문제로 고상반응으로 합성한 것과 별차이가 없다. 그래서 고상반응의 공정을 개선하는 연구가 다시 진행되고 있으며 본 연구에서도 $BaTiO_3$를 고상반응으로 합성할 때 물성에 좋지 않은 영향을 주는 이차상인 $Ba_2TiO_4$의 생성기구를 밝히고, 그것을 조절하려 했다. $BaTiO_3$의 이론조성중 Ba가 과잉인 영역에서는 $Ba_2TiO_4$$TiO_2$가 과잉인 영역에서는 $BaTiO_2O_5$$BaTiO_3O_7$이 소지의 팽창에 원인이 되었다. 환원에서 소결되는 $CeAIO_3$$BaTiO_3$계의 유전체는 공기중에서 $CeAIO_3$가 분해되고 이때 생성되는 $CeO_2$$BaTiO_3$의 전기적 물성에 큰 영향을 주었다.

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