고주파 마그네트론 스퍼터링에 의한 $SrTiO_3$ 캐패시터 박막의 온도 의존성
(Temperature Dependence of the $SrTiO_3$ Capacitor Thin Films Deposited by RF Magnetron Sputtering)
-
- 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
- /
- 제48권6호
- /
- pp.429-435
- /
- 1999