• 제목/요약/키워드: TiN/Ti Multilayer

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SCM415 강의 코팅특성에 관한 연구 (A Study on the Coating Characteristics of SCM415 Steel)

  • 장정환;허철수;김해지;김남경;류성기
    • 한국기계가공학회지
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    • 제10권2호
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    • pp.117-123
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    • 2011
  • The purpose of this study is to show the friction and wear characteristics on the vapor deposited coating layers on the SCM415 steel. In this research, frictional wear characteristic of coating materials such as Ti-series, Cr-series & WC/C and TiAlN+WC/C multilayer coating was investigated under room temperature, normal air pressure and no lubricating condition. Therefore, this study carried out research on the friction coefficient, micro hardness(Hv), surface roughness and wear quantity on the vapor deposited coating layers on the SCM415 steel. As the wear experimental result, the excellence of TiAlN+WC/C multilayer coating has been proven by high micro-hardness, low friction coefficient and wear quantity.

Ti3O5/SiO2 다층박막를 이용한 협대역 칼라투과필터 제작 및 특성연구 (The Fabrication and Characteristic for Narrow-band Pass Color-filter Deposited by Ti3O5/SiO2 Multilayer)

  • 박문찬;고견채;이화자
    • 한국안광학회지
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    • 제16권4호
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    • pp.357-362
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    • 2011
  • 목적: $Ti_3O_5$$SiO_2$를 이용하여 중심파장이 500 nm에서 반치폭이 약 12 nm이고 투과율이 99%인 협대역 칼라투과필터를 제작하고, 이 칼라필터의 박막 특성을 연구하고자 한다. 방법: 두께 800 nm인 $Ti_3O_5$박막과 $SiO_2$박막의 투과율로부터 박막의 광학상수 n(굴절률)과 k(소멸계수)를 구하였고, Essential Macleod program을 이용하여 중심파장이 500 nm에서 반치폭이 약 12 nm이고 투과율이 99%인 협대역 칼라투과필터의 필터층과 AR 코팅층을 설계하였다. 또 한 electron beam evaporation 장치를 이용하여 $Ti_3O_5/SiO_2$ 다층막 칼라필터을 만든 후, 분광광도계를 이용하여 투과율을 측정하였고, SEM 사진에 의한 칼라필터의 단면으로부터 칼라필터의 박막두께와 층수를 알 수 있었고, XPS분석으로부터 박막 성분을 분석하였다. 결과: 칼라필터의 AR 코팅층의 최적조건은 6층으로 [air$|SiO_2(90)|Ti_3O_5(36)|SiO_2(5)|Ti_3O_5(73)|SiO_2(30)|Ti_3O_5(15)|$ glass]이며, 반치폭이 12 nm인 칼라필터의 필터층의 최적조건은 41층으로 [air$|SiO_2(20)|Ti_3O_5(64)|SiO_2(102)|Ti_3O_5(66)|SiO_2(112)|Ti_3O_5(74)|SiO_2(120)|Ti_3O_5(68)|SiO_2(123)|Ti_3O_5(80)|SiO_2(109)|Ti_3O_5(70)|SiO_2(105)|Ti_3O_5(62)|SiO_2(99)|Ti_3O_5(63)|SiO_2(98)|Ti_3O_5(51)|SiO_2(60)|Ti_3O_5(42)|SiO_2(113)|Ti_3O_5(88)|SiO_2(116)|Ti_3O_5(68)|SiO_2(89)|Ti_3O_5(49)|SiO_2(77)|Ti_3O_5(48)|SiO_2(84)|Ti_3O_5(51)|SiO_2(85)|Ti_3O_5(48)|SiO_2(59)|Ti_3O_5(34)|SiO_2(71)|Ti_3O_5(44)|SiO_2(65)|Ti_3O_5(45)|SiO_2(81)|Ti_3O_5(52)|SiO_2(88)|$ glass] 이었다. 위의 데이터를 이용하여 제작한 칼라필터는 SEM 사진에 의해 41층으로 확인되었으며, XPS 분석에 의해 $SiO_2$층이 맨 위층이며 $Ti_3O_5$층과 교번인 다층막으로 형성돼 있으며, $Ti_3O_5$박막 형성 시 TiO2 박막과 $Ti_3O_5$박막이 섞여 형성됨을 알 수 있었다. 결론: 41층의 $Ti_3O_5/SiO_2$ 다층박막을 이용하여 12 nm 반치폭을 갖으며 500 nm 중심파장에서 투과율은 99%인 협대역 칼라투과필터를 제작하였으며, 이 칼라필터는 $Ti_3O_5$박막 형성 시 TiO2 박막과 $Ti_3O_5$박막이 섞여 형성됨을 알 수 있었다.

Glycine-Nitrate 법에 의한 BaTiO$_3$ 분말의 합성 및 그 특성(Part I) (Synthesis of the BaTiO$_3$ Powders by the Glyscine-Nitrate Process and Its Properties (Part I))

  • 박지애;김구대;이홍림;이동아
    • 한국세라믹학회지
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    • 제35권8호
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    • pp.857-863
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    • 1998
  • MLCC(Multilayer ceramic capacitor) 등의 전자 세라믹스 분야에서 폭넓게 이용되는 BaTiO3 분말 제조를 위해 GNP(Glycine-Nitrate process)법을 이용하였다. 일반적인 GNP법과는 달리 출발물질로 카보네이트와 알콕사이드를 도입했고, 연소반응의 산화제 및 출발물질의 용매로써 질산을 사용하였으며, 연소합성시의 연료인 글리신의 첨가량을 달리하여 분말을 합성하였다. 연소합성된 분말의 특성은 helium pycnometer, XRD, N2 흡착을 이용한 BET, 주사전자현미경 등으로 분석하였다. 제조된 전구체 분말은 100$0^{\circ}C$로 하소시에 단일상의 BaTiO3 상으로 전이되었으며, 조성이 1.2인 경우 24m2/g의 높은 비표면적 값을 나타내었다.

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Influence of Deposition Method on Refractive Index of SiO2 and TiO2 Thin Films for Anti-reflective Multilayers

  • Song, Myung-Keun;Yang, Woo-Seok;Kwon, Soon-Woo;Song, Yo-Seung;Cho, Nam-Ihn;Lee, Deuk-Yong
    • 한국세라믹학회지
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    • 제45권9호
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    • pp.524-530
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    • 2008
  • Anti-Reflective (AR) thin film coatings of $SiO_2$ (n= 1.48) and $TiO_2$ (n=2.17) were deposited by ion-beam assisted deposition (IBAD) with End-Hall ion source and conventional electron beam (e-beam) evaporation to investigate the effect of deposition method on the refractive indicies (n) of the fIlms. Green-light generation using a GaAs laser diode was achieved via excitation of the second harmonic. The latter resulted from the transmission of the fundamental guided-mode wave of 1064 nm through periodically poled $LiNbO_3$. Large differences in the refractive indicies of each of the layers in the multilayer coating may improve AR performance. IBAD of $SiO_2$ reduced its refractive index from 1.45 to 1.34 at 1064 nm. Conversely, e-beam evaporation of $TiO_2$ increased its refractive index from 1.80 to 2.11. In addition, no fluctuations in absorption at the wavelength of 1064 nm were found. The results suggest that films prepared by different deposition methods can increase the effectiveness of multilayer AR coatings.

TiO2/SiO2 다층 박막 평판 mirror의 광학적 반사 (Optical reflectance of TiO2/SiO2 multilayer coating flat mirrors)

  • 이찬구;이수대;정맹식
    • 한국안광학회지
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    • 제7권1호
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    • pp.75-78
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    • 2002
  • 파장범위 620~820nm에서 반사가 큰 $TiO_2/SiO_2$ 33층 박박 mirror를 설계하고 전자 빔 증착 방법으로 제작하였다. 다층박막은 BK7 유리 기판에 연속적으로 증착하였다. 고반사박막 설계는 중심파장 ${\lambda}_0$ 주변에 stopband가 만들어지는 것과 같은, 고굴절률을 가지는 층($n_H$)과 저굴절률을 가지는 층($n_L$)을 반복해서 하였다. 입사각 $40^{\circ}{\pm}7^{\circ}$인 투과도 측정 스펙트럼에서 전체적으로 파장범위 620~820nm에서 99.9%의 반사를 보였다. 파장이 700~740nm에서 투과도가 큰 피크를 보였다.

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A Study of Ohmic Contact on Au/Ti/Al/Ti-GaN Multilayer System

  • Kim, Cha-Yeon;Kwon, Hyun-Ja;Kim, Hyun-Ha;Lee, Jeong-Soo;Kim, Sung-Woo;Hong, Chang-Hee;Kim, Dae-Woo;Koo, Baik-Hong;Whang, Chung-Nam
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1997년도 제12회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.42-42
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    • 1997
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Statistical characterisation of end milling of AISI 52100 annealed bearing steel

  • Benghersallah, Mohieddine;Benchiheub, Slimane;Amirat, Abdelaziz
    • Advances in materials Research
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    • 제7권2호
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    • pp.137-148
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    • 2018
  • The present paper is a contribution in characterising end milling process of AISI 52100 ball bearing steel through statistical analyses of variance (ANOVA). The latter has been performed to identify the effect of the cutting parameters on the machined surface roughness and the cutting tool life. Wear measurements have been carried on multilayer coated carbide inserts and the respective surface roughness has been recorded. Taguchi's technique has been adapted to conduct the design experiments in terms of orthogonal arrays according to the cutting parameters (cutting speed, feed rate and depth of cut), the type of coating (TiN, TiCN, TiAlN) and lubricating condition. Regression analyses have conducted to the development of simplified empirical models that can be effectively used to predict surface roughness and tool wear in the present milling process.

PAN-PZT계 세라믹스를 이용한 적층형압전변압기의 특성 (Characteristics of A Multilayer Piezoelectric Transformer Using PAN-PZT Ceramics)

  • 박타리;이동균;최지원;신용덕;김현재;고태국;윤석진
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2002년도 하계학술대회 논문집
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    • pp.143-146
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    • 2002
  • The characteristics of a multilayer piezoelectric transformer were investigated using 0.05Pb(A $l_{0.5}$N $b_{0.5}$) $O_3$-0.95Pb(Z $r_{0.52}$ $Ti_{0.48}$) $O_3$+0.9wt%N $b_2$ $O_{5}$+0.5wt%Mn $O_2$+0.04wt% $V_2$ $O_{5}$ ceramics. The multilayer piezoelectric trans formers were developed for voltage step-up. The multilayer ceramic technology was applied in piezoelectric transformer. The electrical characteristics of the piezoelectric transformer (33x8.5x1mm) has the efficiency of above 85%, step-up ratio of 70 under the 130 kΩ load, and driving frequency of 93.5kHz, respectively.ctively.y.y.

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잉크젯 프린팅을 이용한 low-e $TiO_2$-silver 투명박막형성 (Fabrication of $TiO_2$-silver transparent thin films low-e coated on glass substrate by ink-jet printing)

  • 윤초롱;오효진;이남희;;김병환;김선재
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.511-511
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    • 2007
  • Low-emissivity (low-e) coatings with visible transparency have attracted increased interest m reducing heat radiation loss through window panes from ecological and sustainable aspects. $TiO_2$-silver transparent thin films for low-e have good properties for UV and IR blocking as well as photocatalyst compared to that with commercial UV blocking films such as fluorine doped oxide (FTO), antimony doped tin oxide (ATO), etc. In this study, transparent $TiO_2$-silver thin films were prepared by successive ink-jet printing of commercial nano silver and $TiO_2$ sol. The $TiO_2$ sol, as ink for ink-jet printing, were synthesized by hydrothermal process in the autoclave externally pressurized with $N_2$ gas of 200 bar at $120^{\circ}C$ for 10 hrs. The synthesized $TiO_2$ sols were all formed with brookite phase and their particle size was several to 30 nm. At first nano sized silver sol was coated on glass substrate, after that $TiO_2$ sol was coated by ink-jet printing. With increasing coating thickness of $TiO_2$-silver multilayer by repeated ink-jet coating, the absorbance of UV region (under 400nm) and IR region (over 700nm) also increase reasonably, compared to that with commercial UV blocking films.

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WC-CO 인써트의 절삭 성능에 미치는 TiAIN계 나노 다층막 코팅의 영향 (Effect of TiAIN-based Nanoscale Multilayered Coating on the Cutting Performance of WC-Co Insert)

  • 임희열;박종극;김경배;최두진;백영준
    • 한국진공학회지
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    • 제15권1호
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    • pp.110-116
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    • 2006
  • 본 연구에서는 나노 두께를 갖는 두 층을 반복적으로 증착하여 나노 다층 구조를 갖는 질화 물이 코팅된 절삭공구의 기계적 성능과 절삭성능의 향상에 대해 고찰하였다. 이러한 질화물계 나노 다층막에 대한 재료는 격자상수와 결정구조에 따라 $Ti_{0.54}Al_{0.46}N-CrN$계와 $Ti_{0.84}Al_{0.16}N-NlN$계를 선택하여, UBM sputtering 증착법을 이용하여 초경(WC-Co) 인서트(insert)위에 증착하였다. 공정 변수들인 증착온도, 압력. 기판 바이어스 전압, 기판회전 속도 등을 조절하여 다른 주기 값을 갖는 일정한 두께의 다층막들을 증착 시켰고, 주기에 따른 초격자 형성, 경도 값과 절삭성능을 관찰하였다. 증착된 다층막들은 그 주기 값에 따라 경도 값이 다르게 나타났으며. 경도 값이 상대적으로 높았던 특정 주기의 다층막이 코팅된 절삭 공구의 경우, 기존의 상용화된 제품에 비해 frank wear로 비교한 절삭 성능이 $20\%$이상 향상됨을 관찰하였다