Development of Bulge Testing System for Mechanical Properties Measurement of Thin Films : Elastic Modulus of Electrolytic Copper Film (박막의 기계적 물성 측정을 위한 벌지 시험 시스템 개발: 전해 동 박의 탄성 계수)
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- Proceedings of the KSME Conference
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- 2007.05a
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- pp.1807-1812
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- 2007