Shape error and its compensation in photoresist thermal reflow method used for the fabrication of microlens array mold (마이크로렌즈 어레이용 몰드 제작을 위한 Photoresist thermal reflow법에서 발생하는 형상 관련 오차 및 이에 대한 보정)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2012.10a
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- pp.323-324
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- 2012