A study of Reflectance of Textured Crystalline Si Surface Fabricated by using Preferential Aqueous Etching and Grinding Processes (그라인딩 공정과 선택적 습식 식각 공정을 이용한 단결정 실리콘 표면의 반사율에 관한 연구)
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- Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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- v.16 no.3
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- pp.61-65
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- 2009