An Effect of $O_2/Ar$ Ratio on the Characteristics of RF Magnetron Sputtered $BaTiO_3$ Thin Film
(RF Magnetron Sputtering법으로 $BaTiO_3$ 박막 증착시 $O_2/Ar$ 비가 박막의 특성에 미치는 영향)
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- Journal of the Korean Ceramic Society
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- v.31 no.8
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- pp.886-892
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- 1994