Study on the characteristics and application of the $BaTa_2O_6$ films prepared by rf-magnetron sputtering technique
(RF-magnetron sputtering 방법으로 제조한 $BaTa_2O_6$ 박막의 특성과 응용에 관한 연구)
-
- Proceedings of the KIEE Conference
- /
- 1995.07c
- /
- pp.1133-1136
- /
- 1995