수평형 CVD 장치에서 기판 위치에 따른 단일벽 탄소나노튜브의 합성 수율 및 직경 분포 고찰 (Investigation of Synthesis Yield and Diameter Distribution of Single-Walled Carbon Nanotubes Grown at Different Positions in a Horizontal CVD Chamber)
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- 한국표면공학회지
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- 제52권6호
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- pp.357-363
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- 2019