In this paper, an off-axis digital holographic microscopy compensated with self-hologram rotation is presented. The process is implemented via subtracting the unwrapped phase maps of the off-axis parabolic hologram and its rotation $180^{\circ}$ to eliminate the tilt induced by the angle between the spherical object wave O and the plane reference wave R. Merit of the proposed method is that it can be done without prior knowledge of physical parameters and hence can reconstruct a parabolic hologram of $1024{\times}768$ pixels within tens of milliseconds since it doesn't require a digital reference wave. The method is applied to characterize rough gold bumps and the obtained results were compared with those extracted from the conventional reconstruction method. The comparison showed that the proposed method can characterize rough surfaces with excellent contrast and in realtime. Merit of the proposed method is that it can be used for monitoring smaller biological cells and micro-fluidic devices.
In this paper, the simulation and optimization of SRH (Surface Relief Hologram) masks for printing LCD gate patterns using TIR (Total Internal Reflection) holographic lithography was investigated. A simulation and optimization algorithm based on SDTA (Scalar Diffraction Theory Analysis) method was developed. The accuracy of the algorithm was compared to that of the RCWA (Rigorous Coupled Wave Analysis) method for estimating the Fresnel diffraction pattern of Cr amplitude masks for the given system geometry. In addition, the results from the optimization algorithm were validated experimentally. It was found that one to the most important conditions for the fabrication of SRH masks is to avoid nonlinear shape distortions of the resulting grating. These distortions can be avoided by designing SRH masks with recorded gratings having small aspect ratios of width versus depth. The optimum gap size between the Cr and SRH masks was found using the optimization algorithm. A printed LCD gate pattern with a minimum line width of $1.5{\mu}m$ exposed using the optimized SRH mask was experimentally demonstrated.
We investigated the formation of 2-dimension hologram grating by means of selective etching characteristic and photo-expansion effect according to photo irradiation on amorphous As-Ge-Se-S thin film. By method of phase holography, we made the 2-dimensional hologram grating by each (S:P) and ($+45^{\circ}:-45^{\circ}$) polarized beam with DPSS laser(532nm) and He-Ne laser(632nm). A recording property was observed at each polarized beam through 2-dimensional hologram surface relief grating. Chalcogenide thin film was etched selectively by NaOH solution after the formation of 1-dimensional diffraction grating. And then etched sample was rotated 90 degree to fabricate 2 dimensional hologram grating. We found that it was observed the formation of 2-dimensional hologram grating by AFM(Atomic Force Microscopy).
내부전반사 홀로그래픽 노광 기술은 넓은 면적(6")을 아주 미세하게($0.35{\mu}m$) 노광할 수 있는 차세대 광 노광 기술로서 평가받고 있다. 기존의 광 노광 기술은 $1.5{\mu}m/6}$ 이상이 가능한 (LCD용 노광기)과 $0.2{\mu}m/1.5"$ 이하(반도체용 노광기)의 패턴을 노광할 수 있도록 양분되어 발전하여 왔다. 이에 반하여 내부전반사 홀로그래픽 노광 기술은 일괄 노광 면적은 6"로 유지하면서 $0.35{\mu}m$에서 $1.5{\mu}m$의 사이의 패턴을 구현할 수 있는 특별한 능력을 갖고 있다. 이는 기존 광 노광 방식에서 반드시 필요로 하는 결상 광학계를 사용하지 않고 홀로그램 마스크를 사용하기 때문이다. 본 논문에서는 내부전반사 홀로그래픽 노광 기술의 핵심기술인 홀로그램 마스크를 표면 부조 홀로그램 형태로 구현할 수 있는 핵심 인자가 무엇인지를 분석하여 최적화 하는 방법에 대해 논하고, 이를 이용하여 노광한 미세패턴에 대한 결과를 실험적으로 평가하였다.
When there are low signal to noise relationships or low coherences between measured pressure and a reference sensor, a pressure field measured and estimated by NAH (Nearfield Acoustic Holography) becomes noisy on the hologram and source planes. This paper proposes a method to obtain the high coherent de-noised pressure signals from low coherent noisy ones by combining a wavelet algorithm with NAH. The proposed method obtains the de-noised field from acoustic fields on a noise source plane reconstructed through backward propagation of NAH. Thus this method does not need high coherent pressure signals on the hologram surface while the conventional nearfield acoustic holography requires high-coherent signals. The proposed method was verified by numerical simulation using noisy signals, composed of original signals and imposed noises distributed on the hologram surface.
Acoustic holography makes it possible to reconstruct the acoustic field based on the measurement of the pressure distribution on the hologram surface. Because of the merit that one can obtain an entire three-dimensional wave field from the data recorded on a two-dimensional surface, the holographic method has been widely studied. Being an experimental method, holography has an unavoidable error which is generate by sampling in space and frequency domain and finite aperture size. Its magnitude is dependent on the space and frequency domain and finite aperture size. Its magnitude is dependent on the shape of hologram surface, acoustic holography may be classified into four types of holography : rectangular type planeholography, circular type plane holography, cylindrical holography and spherical holography. In this paper, four types of holography are studied by modal summation method. Numerical simulation is performed using a monopole source with varying parameters to find out effects to the estimation error in each holography. Experiments of circular type plane holography and cylindrical holography explain strong relation between the shape of hologram surface and the acoustic field.
The specular hologram is one type of hologram, and it consists of many arcs. They are very easy to fabricate and can even be machined by hand and a compass. In this study, we designed two squares having different depths and consisting of many arcs, after which we machined the arcs using end-mill technology. The width of the machined arcs showed high repeatability. Moving tracks were observed on the bottom surface, and top burrs were noted. In spite of them, the phenomenon of the specular hologram was observed when an observer and a light source stood on the same side. The two squares seemed to have different depths when they were observed from the left and right directions. In this study, it was verified that a specular hologram can be manufactured by end-mill technology.
We propose a method to suppress the speckle noise and blur effects of the light field extracted from a hologram using a deep-learning technique. The light field can be extracted by bandpass filtering in the hologram's frequency domain. The extracted light field has reduced spatial resolution owing to the limited passband size of the bandpass filter and the blurring that occurs when the object is far from the hologram plane and also contains speckle noise caused by the random phase distribution of the three-dimensional object surface. These limitations degrade the reconstruction quality of the hologram resynthesized using the extracted light field. In the proposed method, a deep-learning model based on a generative adversarial network is designed to suppress speckle noise and blurring, resulting in improved quality of the light field extracted from the hologram. The model is trained using pairs of original two-dimensional images and their corresponding light-field data extracted from the complex field generated by the images. Validation of the proposed method is performed using light-field data extracted from holograms of objects with single and multiple depths and mesh-based computer-generated holograms.
Diamond turning machine으로 알루미늄을 가공하여 f/1.5, 구경 50mm인 포물명경을 제작하였다. 이진위상(binary phase) 홀로그램으로 포물면경 현상측정을 위한 computer generated hologram(CGH)을 encoding하였으며 staircase encodling 방법으로 간섭무늬 곡선의 직선근사를 하였다. 간섭무늬 데이터를 포스트스크립트(PostScript) 파일로 변환한 후 CGH 원도를 레이저 프린터로 확대 출력하고 축소 촬영하여 CGH를 제작하였다. 측정부(viewing arm)에 CGH가 위치하는 Twyman-Green 간섭계를 구성하여 포물면경의 표면형상을 측정하였다. 측정결과를 직접표면형상측정법 및 간섭계를 이용한 자동시준법의 측정 결과와 비교하고 오치를 분석하였다.
In this paper, a simple nondestructive technology is used to investigate unstained biological blood cells in three dimensions (3D). The technology employs a reflective phase-only spatial light modulator (SLM) for displaying the phase hologram of the object being tested, and a Fourier lens for its reconstruction. The phase hologram is generated via superposing a digital random phase on the 2D image of the object. The phase hologram is then displayed by the SLM with 256 grayscale levels, and reconstructed by a Fourier lens to present the object in 3D. Since noise is the main problem in this method, the windowed Fourier filtering (WFF) method is applied to suppress the noise of the reconstructed object. The quality of the reconstructed object is refined and the noise level suppressed by approximately 40%. The technique is applied to objects: the National Institute of Standards (NIS) logo, and a film of unstained peripheral blood. Experimental results show that the proposed technique can be used for rapid investigation of unstained biological blood cells in 3D for disease diagnosis. Moreover, it can be used for viewing unstained white blood cells, which is still challenging with an optical microscope, even at large magnification.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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