태양전지 실리콘 웨이퍼의 표면결함 검출을 위한 구조적 하이브리드 조명시스템의 개발 및 최적 조건 선정 (Development of Structured Hybrid Illumination System and Optimum Illumination Condition Selection for Detection of Surface Defects on Silicon Wafer in Solar Cell)
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- 대한기계학회논문집A
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- 제36권5호
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- pp.505-512
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- 2012